據(jù)業(yè)內(nèi)最新消息，全球最大的芯片機(jī)器制造商、荷蘭的AMSL證實，中國向荷蘭訂購一臺最新型的使用EUV（極紫外線）技術(shù)的芯片制造機(jī)器光刻機(jī)，訂貨單位是中芯國際（SMIC）。這也幾乎花掉了中芯國際2017年的所有利潤，該公司去年的凈利潤為1.264億美元。

不過在大家了解到 EUV 設(shè)備有多重要之后，就知道這筆錢花的有多值了。

EUV 作為現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機(jī)，是唯一能夠生產(chǎn) 7nm 以下制程的設(shè)備，因為它發(fā)射的光線波長僅為現(xiàn)有設(shè)備的十五分之一，能夠蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路，所以 EUV 也被成為“突破摩爾定律的救星”。從2019年半導(dǎo)體芯片進(jìn)入 7nm 時代開始（現(xiàn)在我們處于 10nm 時代），EUV 光刻機(jī)是絕對的戰(zhàn)略性設(shè)備，沒有它就會寸步難行。

在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點之后，制造難度越來越大，傳統(tǒng)的193nm紫外光刻機(jī)也難以為繼，EUV極紫外光刻機(jī)成為突破制程工藝的關(guān)鍵。

光刻機(jī)曾經(jīng)也是日本佳能、尼康公司的重要產(chǎn)品，不過現(xiàn)在的高端光刻機(jī)已經(jīng)被ASML壟斷，在EUV光刻機(jī)上更是獨一份。日經(jīng)新聞亞洲版今天報道稱，中芯國際（SMIC）已經(jīng)向ASML公司訂購了一臺EUV光刻機(jī)，單價1.2億美元，預(yù)計在2019年初交付。

此前英特爾、三星、臺積電以及GF都向ASML下了EUV訂單，其中臺積電訂購了大約10臺，三星訂購了大約6臺，英特爾今年會引入3臺EUV光刻機(jī)，GF也下了訂單，不過日經(jīng)新聞沒提到具體數(shù)量。

中國公司能買先進(jìn)的光刻機(jī)？很多人聽到這個消息可能不太相信，因為網(wǎng)上一直有傳聞稱中國公司因為瓦森那協(xié)定的關(guān)系一直被禁止采購先進(jìn)光刻機(jī)。對于這個問題，網(wǎng)上有很多爭議也有很多解答了，日經(jīng)新聞報道的中芯國際采購EUV光刻機(jī)其實也不是新聞了。

去年臺媒電子時報采訪過中ASML中國區(qū)總經(jīng)理金泳璇，后者辟謠稱ASML光刻機(jī)并沒有禁運問題，該公司對所有客戶都一視同仁，不存在有錢買不到的問題。他還透露了已經(jīng)有中國客戶洽談購買EUV光刻機(jī)，如果訂單確認(rèn)的話，那么最快在2019年就會有EUV光刻機(jī)進(jìn)入中國晶圓廠，ASML對此表示樂觀。

兩邊對比的話，這家中國公司就是中芯國際，雖然該公司的14nm工藝要到2019年初才能量產(chǎn)，不過國內(nèi)有需求EUV光刻機(jī)的幾乎只有他們了，2017年中芯國際表示他們已經(jīng)在預(yù)研7nm工藝了，訂購一臺EUV光刻機(jī)做研究也是很正常的。