2025年8月4日，清研電子董事長(zhǎng)王臣、副總經(jīng)理李鑫受邀出席東莞半導(dǎo)體制造頭部企業(yè)干法基超容電能質(zhì)量治理裝置投產(chǎn)儀式，該裝置能夠?qū)崿F(xiàn)3秒內(nèi)斷電條件下，設(shè)備依然安全、穩(wěn)定發(fā)揮性能，有效解決了電能質(zhì)量治理系統(tǒng)晃電問(wèn)題，充分體現(xiàn)了清研電子干法極片的性能優(yōu)勢(shì)。

在半導(dǎo)體制造中，晃電是電能質(zhì)量治理的常見(jiàn)難題。它會(huì)導(dǎo)致晶圓報(bào)廢、設(shè)備突然宕機(jī)、控制系統(tǒng)失靈、維護(hù)成本飆升、生產(chǎn)中斷等問(wèn)題，且無(wú)法滿足SEMI F47行業(yè)抗擾度標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)此，本系統(tǒng)采用的晃電治理措施如下：預(yù)防階段，采用雙回路供電、動(dòng)態(tài)電壓恢復(fù)器（DVR）和干法超容儲(chǔ)能實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)補(bǔ)償；應(yīng)對(duì)環(huán)節(jié)，干法超容儲(chǔ)能保障關(guān)鍵負(fù)載供電，借助智能減載系統(tǒng)保供核心設(shè)備；恢復(fù)時(shí)期，通過(guò)數(shù)據(jù)備份和自愈控制讓生產(chǎn)快速?gòu)?fù)原。

晃電（電壓暫降）的危害

1、晃電會(huì)引起敏感控制器誤動(dòng)作（引起跳閘）,造成包括計(jì)算機(jī)系統(tǒng)失靈、自動(dòng)化裝置停頓或誤動(dòng)作、變頻調(diào)速器停頓等故障；引起接觸器脫扣或低壓保護(hù)啟動(dòng)，造成電動(dòng)機(jī)、電梯等停頓；引起高溫光源（碘鎢燈）熄滅，造成公共場(chǎng)所失去照明等。

2、晃電對(duì)諸多行業(yè)都會(huì)造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失，如半導(dǎo)體產(chǎn)品硅片損壞及浪費(fèi)，汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的產(chǎn)品報(bào)廢，顯示器產(chǎn)品報(bào)廢，流水生產(chǎn)線的中斷或紊亂等等。

3、晃電不僅造成經(jīng)濟(jì)損失，還可能造成人員傷亡和重大安全生產(chǎn)事故。例如，醫(yī)院中用計(jì)算機(jī)控制的腦外科、心血管外科、眼科手術(shù)等，發(fā)生電壓跌落造成設(shè)備不能正常工作，以致產(chǎn)生嚴(yán)重后果；

4、在石油化工行業(yè)，由于晃電（電壓暫降）引發(fā)控制系統(tǒng)誤動(dòng)作，造成壓力流量的短時(shí)間失控危險(xiǎn)等等。

晃電治理的綜合效益

1、通過(guò)對(duì)電壓暫降、暫升的治理，防止設(shè)備故障停機(jī)損失，避免原材料浪費(fèi)和生產(chǎn)設(shè)備的損壞。

2、避免設(shè)備使用劣質(zhì)電力，降低工廠維護(hù)成本，保證產(chǎn)品質(zhì)量。

3、避免因電壓暫降造成數(shù)據(jù)和控制系統(tǒng)紊亂而導(dǎo)致的事故。

4、為用戶節(jié)省維護(hù)及更換電池費(fèi)用，同時(shí)免除廢舊電池的處置問(wèn)題，避免對(duì)環(huán)境造成污染。

5、無(wú)諧波注入電網(wǎng)，無(wú)需傳統(tǒng)UPS所需附加的濾波設(shè)備投資。

干法基超級(jí)電容器在晃電治理中的工作原理

電網(wǎng)電壓正常時(shí)：電網(wǎng)電壓正常范圍內(nèi)時(shí)，DVR裝置處于電網(wǎng)供電模式，電網(wǎng)直接給負(fù)載供電，同時(shí) DVR變換器從輸出側(cè)獲取能量給干法基超級(jí)電容充電；

電網(wǎng)出現(xiàn)晃電（電壓暫降）時(shí)：電網(wǎng)電壓暫降時(shí)， DVR裝置處于供電模式，干法基超級(jí)電容的能量經(jīng) DVR變換器轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)電壓源給負(fù)載供電。

其中，基于干法基超級(jí)電容器在應(yīng)對(duì)晃電問(wèn)題上高可靠性、高穩(wěn)定性及高信賴行的優(yōu)勢(shì)。清研電子創(chuàng)新研發(fā)的干法基超級(jí)電容器，具備毫秒級(jí)充放電速度、響應(yīng)速度小于5ms、突破100萬(wàn)次的循環(huán)壽命、較傳統(tǒng)蓄電池提升50~100倍功率密度等優(yōu)點(diǎn)。經(jīng)測(cè)試，該裝置能在3~5秒晃電條件下實(shí)現(xiàn)瞬間急速供電，且使用壽命長(zhǎng)久，更換成本及維護(hù)工作量大幅降低，是晃電治理的優(yōu)質(zhì)之選。這一突破標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體配套電力保障領(lǐng)域取得關(guān)鍵技術(shù)自主權(quán)。

此次清研電子與東莞半導(dǎo)體制造頭部企業(yè)達(dá)成合作，不僅是干法基超級(jí)電容器在電能質(zhì)量治理場(chǎng)景的首次規(guī)模化落地，更成為清研電子從技術(shù)領(lǐng)先躍升為產(chǎn)業(yè)標(biāo)桿的分水嶺。依托合作單位開發(fā)的嚴(yán)苛的品控體系與全球交付網(wǎng)絡(luò)，清研電子的干法工藝得以在真實(shí)工況中完成“最后1公里”驗(yàn)證，由此實(shí)現(xiàn)了由干法技術(shù)研發(fā)到系統(tǒng)級(jí)商業(yè)閉環(huán)的關(guān)鍵一躍，也為后續(xù)10 GW級(jí)的擴(kuò)產(chǎn)和下一代120 Wh/kg高比能量型超級(jí)電容器技術(shù)迭代提供了可復(fù)制的產(chǎn)業(yè)范式。

本系統(tǒng)可廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，AI數(shù)據(jù)中心，醫(yī)療中心等對(duì)電能質(zhì)量高要求的供電系統(tǒng)中。