近日，山東省發(fā)展和改革委員會(huì)公布了2025年新認(rèn)定的山東省工程研究中心名單，青島華芯晶電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華芯晶電”）牽頭申報(bào)的“化合物半導(dǎo)體單晶襯底制備技術(shù)山東省工程研究中心”成功入選。這一榮譽(yù)不僅是對(duì)華芯晶電在半導(dǎo)體材料研發(fā)領(lǐng)域長(zhǎng)期耕耘的高度認(rèn)可，更為公司在推動(dòng)化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展、提升自主創(chuàng)新能力方面注入了強(qiáng)大動(dòng)力。

華芯晶電成立于2011年，坐落于青島市高新區(qū)，是國內(nèi)較早投身半導(dǎo)體化合物研究與生產(chǎn)的企業(yè)之一。公司長(zhǎng)期專注于半導(dǎo)體晶圓襯底的晶體生長(zhǎng)與加工環(huán)節(jié)，在藍(lán)寶石、磷化銦、氧化鎵等半導(dǎo)體襯底材料領(lǐng)域已形成了較為完善的產(chǎn)業(yè)布局。其核心產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、新能源、5G通訊、毫米波雷達(dá)、人工智能、新型顯示等眾多戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，為相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供了重要支撐。

作為半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)材料，半導(dǎo)體襯底晶片起著物理支撐、導(dǎo)熱及導(dǎo)電等關(guān)鍵作用。長(zhǎng)期以來，國內(nèi)在高端半導(dǎo)體襯底晶片領(lǐng)域面臨技術(shù)瓶頸，產(chǎn)品嚴(yán)重依賴進(jìn)口。華芯晶電憑借持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新與研發(fā)投入，成功打破了這一局面。例如，在磷化銦襯底材料的制備上，華芯晶電創(chuàng)新性地優(yōu)化了晶體生長(zhǎng)工藝，有效解決了傳統(tǒng)工藝中生長(zhǎng)難度大、位錯(cuò)密度高、易產(chǎn)生孿晶等問題，制備出的磷化銦單晶具有更高的品質(zhì)和更強(qiáng)的穩(wěn)定性，填補(bǔ)了國內(nèi)相關(guān)技術(shù)空白。在藍(lán)寶石襯底方面，華芯晶電已熟練掌握大公斤級(jí)藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)技術(shù)，成為國內(nèi)芯片制造上游藍(lán)寶石襯底材料的主力供應(yīng)商，產(chǎn)品在多個(gè)行業(yè)的下游供應(yīng)鏈中得到廣泛應(yīng)用。此外，華芯晶電在第四代半導(dǎo)體化合物氧化鎵單晶襯底的研發(fā)上也取得了重要進(jìn)展，通過對(duì)晶體生長(zhǎng)、低密度缺陷控制、高效元素?fù)诫s等關(guān)鍵技術(shù)的攻關(guān)，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國際水平，目前已完成小試并逐步推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

此次獲批的“化合物半導(dǎo)體單晶襯底制備技術(shù)山東省工程研究中心”，由華芯晶電與同濟(jì)大學(xué)聯(lián)合共建。中心現(xiàn)有固定研發(fā)人員150人，通過自主開發(fā)、產(chǎn)學(xué)研合作、企業(yè)間技術(shù)合作等多元化的創(chuàng)新模式，已累計(jì)開展技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目70余項(xiàng)，其中國家級(jí)、省級(jí)等在研項(xiàng)目超過30項(xiàng)。中心還在知識(shí)產(chǎn)權(quán)方面取得了豐碩成果，獲得專利200余項(xiàng)，并參與了3項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)的制定，榮獲20余項(xiàng)榮譽(yù)獎(jiǎng)項(xiàng)。這些成績(jī)充分彰顯了中心在化合物半導(dǎo)體單晶襯底制備技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位和強(qiáng)大實(shí)力。

根據(jù)規(guī)劃，該工程研究中心未來將致力于攻克一批制約產(chǎn)業(yè)向高端化發(fā)展的核心關(guān)鍵技術(shù)，進(jìn)一步加強(qiáng)與國內(nèi)高校、科研院所的產(chǎn)學(xué)研深度合作。通過整合各方資源，中心將加速先進(jìn)技術(shù)成果在戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)中的轉(zhuǎn)化應(yīng)用，同時(shí)密切關(guān)注國家未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向，提前布局前沿技術(shù)研究。在產(chǎn)業(yè)協(xié)同方面，華芯晶電將依托該工程研究中心，積極發(fā)揮行業(yè)引領(lǐng)作用，強(qiáng)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)間的協(xié)作與聯(lián)動(dòng)。通過持續(xù)研發(fā)和優(yōu)化新型化合物半導(dǎo)體襯底材料，借助中試工藝優(yōu)化和下游應(yīng)用驗(yàn)證，推動(dòng)先進(jìn)產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)與規(guī)?；瘧?yīng)用，全面提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的整體創(chuàng)新能力和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，為保障我國半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵材料的自主可控和安全穩(wěn)定供應(yīng)貢獻(xiàn)力量。

華芯晶電獲批山東省工程研究中心，是其發(fā)展歷程中的重要里程碑，也為山東省乃至全國的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展注入了新活力。隨著中心各項(xiàng)工作的穩(wěn)步推進(jìn)，有望在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域取得更多突破性成果，推動(dòng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高水平邁進(jìn)，在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局中占據(jù)更加有利的地位。

來源：半導(dǎo)體芯科技


審核編輯 黃宇