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SiC碳化硅MOSFET功率半導(dǎo)體熱設(shè)計(jì)深度分析報(bào)告

楊茜 ? 來(lái)源:jf_33411244 ? 作者:jf_33411244 ? 2025-09-15 23:42 ? 次閱讀
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1. 引言:功率半導(dǎo)體熱管理的重要性與SiC技術(shù)的崛起

1.1 功率器件熱管理在電力電子中的核心地位

在現(xiàn)代電力電子系統(tǒng)中,功率半導(dǎo)體器件的熱管理已超越單純的可靠性考量,成為決定系統(tǒng)性能、效率和小型化水平的核心設(shè)計(jì)要素。有效的熱管理能夠確保器件的結(jié)溫(TJ?)維持在安全工作范圍內(nèi),防止因過(guò)熱導(dǎo)致的性能下降甚至永久性損壞。同時(shí),降低器件工作結(jié)溫能夠顯著提升其運(yùn)行效率。例如,在碳化硅(SiC)技術(shù)中,由于其卓越的特性,能夠減少熱管理對(duì)散熱片的需求,甚至完全省去,從而直接降低了系統(tǒng)的尺寸、重量和成本,為實(shí)現(xiàn)更高的功率密度提供了可能 。因此,熱管理不僅是被動(dòng)地保護(hù)器件,更是通過(guò)優(yōu)化散熱來(lái)主動(dòng)提升系統(tǒng)性能的關(guān)鍵設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)。

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1.2 硅(Si)基功率半導(dǎo)體的熱阻發(fā)展簡(jiǎn)史

硅(Si)基功率半導(dǎo)體的熱管理發(fā)展史,是隨著器件結(jié)構(gòu)不斷演進(jìn)以應(yīng)對(duì)更高功率密度挑戰(zhàn)的歷史。早期的功率MOSFET技術(shù),如雙擴(kuò)散MOSFET(DMOS),由日本的研究人員在20世紀(jì)70年代提出,并逐步應(yīng)用于音頻功率放大器等領(lǐng)域 。隨后,器件制造商如日立(Hitachi)在1977年至1983年間成為L(zhǎng)DMOS的獨(dú)家制造商,其產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于各種放大器通信系統(tǒng)中 。隨著對(duì)性能要求的提高,超結(jié)(Superjunction)MOSFET概念的提出,通過(guò)在P型和N型層之間交替堆疊,部分緩解了硅器件高擊穿電壓與導(dǎo)通電阻之間的矛盾,從而改善了功率損耗和熱性能 。然而,硅材料自身的熱導(dǎo)率較低,限制了其在極端高頻和高功率應(yīng)用中的性能提升空間,最終成為行業(yè)發(fā)展的瓶頸。

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1.3 寬禁帶半導(dǎo)體SiC的顛覆性影響

碳化硅(SiC)作為第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料,以其優(yōu)異的物理特性從根本上解決了硅器件的熱學(xué)和電學(xué)瓶頸,為功率半導(dǎo)體領(lǐng)域帶來(lái)了革命性的變革 。SiC的禁帶寬度是硅的3倍,熱導(dǎo)率是硅的3至5倍,擊穿電場(chǎng)強(qiáng)度是硅的8至10倍 。這些特性使得SiC器件不僅能承受更高的工作電壓,還能在更高的頻率和溫度下工作,同時(shí)顯著提高了散熱效率 。這種材料的根本性?xún)?yōu)勢(shì),使得SiC功率器件在新能源汽車(chē)、光伏儲(chǔ)能、高頻變流器等大功率應(yīng)用中表現(xiàn)出卓越的性能和效率 。

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下表量化對(duì)比了硅與碳化硅在關(guān)鍵熱學(xué)和電學(xué)性能上的差異,清晰地展示了SiC材料為何能從根本上改變熱設(shè)計(jì)格局。

特性參數(shù) 硅 (Si) 碳化硅 (SiC) 相對(duì)優(yōu)勢(shì)
禁帶寬度 (eV) 1.12 3.26 SiC是Si的3倍
熱導(dǎo)率 (W/mK) ~1.5 ~4.9 SiC是Si的3-5倍
擊穿電場(chǎng) (MV/cm) 0.3 >2.5 SiC是Si的8-10倍
最高工作溫度 (°C) <150 >175 SiC更高

2. SiC功率器件的熱設(shè)計(jì)基礎(chǔ)與熱阻分析

2.1 熱傳導(dǎo)基本原理與熱阻(Rth?)定義

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熱阻(Thermal Resistance,Rth?)是量化熱量傳遞難易程度的物理量,是熱設(shè)計(jì)分析的基石。根據(jù)傅里葉熱傳導(dǎo)定律,熱流率(P)與溫度梯度(ΔT)和材料熱導(dǎo)率(λ)成正比。熱阻則被定義為穩(wěn)態(tài)下溫度差(ΔT)與熱流率(P)的比值,其單位通常為K/W或°C/W。對(duì)于一個(gè)具有橫截面積(A)和長(zhǎng)度(L)的物體,其熱阻可以通過(guò)以下公式計(jì)算:Rth?=L/(λ×A)。這個(gè)公式表明,熱阻與熱流路徑的長(zhǎng)度成正比,與熱導(dǎo)率和橫截面積成反比 。因此,在熱設(shè)計(jì)中,目標(biāo)是尋找高熱導(dǎo)率、大面積和短路徑的材料與結(jié)構(gòu),以實(shí)現(xiàn)低熱阻和高效散熱。

2.2 SiC功率器件中的熱阻串聯(lián)與并聯(lián)

熱阻的串聯(lián)

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功率模塊中,熱量從產(chǎn)生源(芯片結(jié))到最終消散(環(huán)境)是一個(gè)多層、多界面的連續(xù)傳導(dǎo)過(guò)程。這個(gè)熱傳導(dǎo)路徑可以被建模為熱阻的串聯(lián)。例如,一個(gè)典型的功率模塊散熱通路包括:芯片結(jié)到芯片粘結(jié)層、芯片粘結(jié)層到陶瓷基板、陶瓷基板到銅基板、銅基板到導(dǎo)熱界面材料(TIM),再通過(guò)散熱器最終傳導(dǎo)到環(huán)境中 。在熱阻串聯(lián)關(guān)系中,總熱阻是各部分熱阻的簡(jiǎn)單相加:

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Rth(total)?=Rth1?+Rth2?+...+Rthn? 。這表明整個(gè)熱通路中熱阻最大的那一部分將成為散熱的瓶頸。對(duì)于SiC器件,由于芯片本身熱導(dǎo)率極高,熱量可以快速離開(kāi),但芯片粘結(jié)層(如銀燒結(jié)層)和導(dǎo)熱界面材料(TIM)如果設(shè)計(jì)不當(dāng),可能會(huì)成為熱量積聚的關(guān)鍵瓶頸,導(dǎo)致結(jié)溫與外殼溫度之間出現(xiàn)過(guò)大的溫差。因此,封裝材料和工藝的熱性能優(yōu)化至關(guān)重要。

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熱阻的并聯(lián)

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當(dāng)多個(gè)熱傳導(dǎo)路徑同時(shí)存在時(shí),熱阻之間呈現(xiàn)并聯(lián)關(guān)系。這在現(xiàn)代大功率模塊中尤為常見(jiàn),其中多個(gè)功率芯片并聯(lián)以實(shí)現(xiàn)高電流容量。在多芯片并聯(lián)封裝中,每個(gè)芯片都提供了自己的散熱路徑,這些路徑在宏觀上可以視為并聯(lián)。并聯(lián)熱阻的計(jì)算方式與電阻并聯(lián)類(lèi)似:總熱阻的倒數(shù)等于各個(gè)并阻的倒數(shù)之和,即1/Rth(total)?=1/Rth1?+1/Rth2?+...+1/Rthn? 。這意味著并聯(lián)散熱路徑可以顯著降低整體熱阻。例如,一份產(chǎn)品數(shù)據(jù)手冊(cè)顯示,一個(gè)由3片300A芯片并聯(lián)而成的900A IGBT模塊,其總熱阻約為單個(gè)芯片熱阻的三分之一 。這解釋了為何高電流功率模塊,如BMF540R12KA3,其每開(kāi)關(guān)熱阻( Rth(j?c)?)為0.07 K/W,遠(yuǎn)低于低電流模塊BMF60R12RB3的0.70 K/W 。

2.3 SiC功率器件的封裝與熱通路化

SiC器件熱性能的充分發(fā)揮,嚴(yán)重依賴(lài)于其封裝技術(shù)和材料的選擇。

封裝材料: 現(xiàn)代SiC功率模塊采用先進(jìn)的材料來(lái)優(yōu)化熱傳導(dǎo)。例如,銅基板被廣泛應(yīng)用,因?yàn)樗哂懈邿釋?dǎo)率,能夠?qū)⑿酒a(chǎn)生的熱量均勻地?cái)U(kuò)散到更大的面積,從而降低熱流密度,實(shí)現(xiàn)更高效的散熱 。此外,氮化硅(Si3N4)陶瓷基板作為一種高性能的絕緣材料,因其優(yōu)異的熱導(dǎo)率、高硬度和熱穩(wěn)定性,已逐步取代傳統(tǒng)的氧化鋁(Al2O3)基板 。氮化硅基板能夠承受更大的熱機(jī)械應(yīng)力,從而提高了模塊在高溫運(yùn)行下的可靠性 。

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封裝工藝: 創(chuàng)新的封裝工藝也對(duì)熱性能的提升起到了關(guān)鍵作用。銀燒結(jié)(Silver Sintering)技術(shù)通過(guò)在低溫下將銀漿燒結(jié)成高密度、高導(dǎo)熱的鍵合層,顯著降低了芯片與基板之間的熱阻。這在某些SiC MOSFET產(chǎn)品(如B3M010C075Z和B3M013C120Z)的數(shù)據(jù)手冊(cè)中被明確提及,作為其熱阻(Rth(j?c)?)得以改善的關(guān)鍵特性 。

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下表概括了BASiC半導(dǎo)體部分SiC功率器件的熱阻參數(shù),并突出其封裝技術(shù)亮點(diǎn),這些數(shù)據(jù)直觀地印證了上述熱設(shè)計(jì)原理在實(shí)際產(chǎn)品中的應(yīng)用。

模塊型號(hào) 電壓 (VDSS?) 額定電流 (ID?) 封裝類(lèi)型 熱阻 (Rth(j?c)?) (per switch) 封裝技術(shù)亮點(diǎn) 來(lái)源
BMF60R12RB3 1200V 60A 34mm Half Bridge 0.70 K/W 銅基板, Si3?N4?基板
BMF80R12RA3 1200V 80A 34mm Half Bridge 0.54 K/W 銅基板, Al2?O3?基板
BMF120R12RB3 1200V 120A 34mm Half Bridge 0.37 K/W 銅基板, Al2?O3?基板
BMF160R12RA3 1200V 160A 34mm Half Bridge 0.29 K/W 銅基板, Al2?O3?基板
BMF240R12E2G3 1200V 240A Pcore E2B 0.09 K/W Si3?N4?基板, Press-FIT, NTC
BMF360R12KA3 1200V 360A 62mm Half Bridge 0.11 K/W 銅基板, Si3?N4?基板
BMF540R12KA3 1200V 540A 62mm Half Bridge 0.07 K/W 銅基板, Si3?N4?基板

3. 瞬態(tài)熱特性分析:從瞬態(tài)熱阻到結(jié)構(gòu)函數(shù)

3.1 瞬態(tài)熱阻(Zth?)的物理意義與應(yīng)用

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瞬態(tài)熱阻(Zth?)是描述功率器件在短時(shí)脈沖功率下的熱響應(yīng),與穩(wěn)態(tài)熱阻(Rth?)有著本質(zhì)區(qū)別。穩(wěn)態(tài)熱阻是一個(gè)恒定值,反映的是熱量在達(dá)到平衡狀態(tài)后,從結(jié)到環(huán)境的整體傳導(dǎo)能力 。而瞬態(tài)熱阻則是一個(gè)動(dòng)態(tài)函數(shù),是脈沖持續(xù)時(shí)間和占空比的函數(shù) 。在極短的脈沖時(shí)間內(nèi),熱量主要被芯片及其緊鄰的封裝層吸收,尚未擴(kuò)散至整個(gè)封裝和散熱器,因此此時(shí)的瞬態(tài)熱阻遠(yuǎn)小于穩(wěn)態(tài)熱阻 。隨著脈沖時(shí)間延長(zhǎng),熱量逐漸向外擴(kuò)散,瞬態(tài)熱阻曲線也隨之上升,并最終在足夠長(zhǎng)的時(shí)間后趨近于穩(wěn)態(tài)熱阻值 。

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這種動(dòng)態(tài)特性對(duì)于SiC器件的熱設(shè)計(jì)至關(guān)重要。SiC器件因其高速開(kāi)關(guān)能力,常工作于高頻模式,其功率損耗是脈沖式的,而非連續(xù)的。在這種情況下,結(jié)溫會(huì)在每個(gè)開(kāi)關(guān)周期內(nèi)迅速升降,而無(wú)法達(dá)到穩(wěn)態(tài)。因此,使用單一的穩(wěn)態(tài)熱阻值來(lái)預(yù)測(cè)結(jié)溫會(huì)過(guò)于保守,且不準(zhǔn)確。通過(guò)瞬態(tài)熱阻曲線,設(shè)計(jì)人員可以根據(jù)實(shí)際的脈沖寬度和占空比,精確地預(yù)測(cè)結(jié)溫的峰值,從而實(shí)現(xiàn)更高效、更精確的熱設(shè)計(jì),避免不必要的過(guò)設(shè)計(jì) 。

3.2 利用瞬態(tài)熱阻計(jì)算二極管浪涌電流

瞬態(tài)熱阻曲線的一個(gè)重要應(yīng)用是用于計(jì)算二極管在短時(shí)過(guò)載情況下的浪涌電流能力。例如,對(duì)于B3D80120H2 SiC肖特基二極管,其數(shù)據(jù)手冊(cè)提供了瞬態(tài)熱阻曲線圖 。結(jié)合這個(gè)曲線和器件的絕對(duì)最大額定值,可以計(jì)算其浪涌電流能力 。

計(jì)算步驟如下:

確定最大結(jié)溫: 從數(shù)據(jù)手冊(cè)中獲取器件的最高工作結(jié)溫(Tj(max)?),該二極管為175°C 。

讀取瞬態(tài)熱阻: 在瞬態(tài)熱阻曲線(如數(shù)據(jù)手冊(cè)Figure 8)中,找到特定脈沖寬度(例如10ms)下的熱阻值(Zth?)。

計(jì)算最大峰值功率: 假設(shè)器件外殼溫度為T(mén)C?,可使用公式$P_{peak} = (T_{j(max)} - T_C) / Z_{th}$計(jì)算出允許的最大峰值功率。

轉(zhuǎn)換浪涌電流: 將峰值功率轉(zhuǎn)換為浪涌電流(IFSM?)。對(duì)于半正弦波脈沖,I2t值可以根據(jù)公式I2×t=(IFSM?/2?)2×0.01來(lái)計(jì)算 。這與數(shù)據(jù)手冊(cè)中給出的 I2t值(2048 A2S)和非重復(fù)性正向浪涌電流(640A)相對(duì)應(yīng) 。

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3.3 SiC功率模塊的熱容

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熱容(Thermal Capacitance)是理解瞬態(tài)熱行為的另一個(gè)核心物理量。它代表了材料在溫度每升高1°C時(shí)所能吸收和存儲(chǔ)的熱量。在熱等效電路模型中,熱容類(lèi)似于電容,具有“儲(chǔ)能”的作用 。在瞬態(tài)加熱的初期,功率損耗產(chǎn)生的熱量首先被器件芯片及其緊鄰封裝層的熱容吸收,熱量尚未有效擴(kuò)散到整個(gè)封裝和散熱器 。這解釋了為什么短脈沖不會(huì)導(dǎo)致結(jié)溫瞬間達(dá)到高穩(wěn)態(tài)值。只有當(dāng)脈沖持續(xù)時(shí)間足夠長(zhǎng),熱量才開(kāi)始向外層(具有更大熱容和熱阻)擴(kuò)散,此時(shí)熱阻的影響才變得更為顯著 。因此,瞬態(tài)熱阻曲線的形狀,本質(zhì)上是對(duì)封裝內(nèi)部各層熱阻和熱容網(wǎng)絡(luò)(RC網(wǎng)絡(luò))動(dòng)態(tài)響應(yīng)的可視化 。

3.4 結(jié)構(gòu)函數(shù):熱通路的可視化工具

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結(jié)構(gòu)函數(shù)(Structure Function)是一種強(qiáng)大的熱分析工具,它通過(guò)對(duì)瞬態(tài)熱測(cè)量結(jié)果進(jìn)行數(shù)學(xué)變換,將其轉(zhuǎn)化為熱阻與熱容的關(guān)系曲線,從而實(shí)現(xiàn)熱傳導(dǎo)路徑的“可視化” 。與單一的穩(wěn)態(tài)熱阻值不同,結(jié)構(gòu)函數(shù)能夠非破壞性地診斷封裝內(nèi)部每一層的熱特性,類(lèi)似于對(duì)熱通路進(jìn)行CT掃描 。

物理意義: 結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線能夠清晰地描繪熱量從芯片結(jié)到環(huán)境的傳導(dǎo)路徑。曲線中斜率較小的區(qū)域表示該區(qū)域具有低熱導(dǎo)率或較小的橫截面積,這通常對(duì)應(yīng)于芯片粘結(jié)層或鍵合線等熱阻較高的界面 。相反,斜率陡峭的區(qū)域則代表高熱導(dǎo)率或大截面積的材料,如SiC芯片本身或銅基板 。微分結(jié)構(gòu)函數(shù)可以更清晰地界定不同材料層之間的界面,其峰值對(duì)應(yīng)于高熱導(dǎo)率區(qū)域,而谷值對(duì)應(yīng)于低熱導(dǎo)率區(qū)域 。

應(yīng)用價(jià)值: 結(jié)構(gòu)函數(shù)為功率器件的熱設(shè)計(jì)和可靠性評(píng)估提供了前所未有的細(xì)節(jié)信息。設(shè)計(jì)人員可以通過(guò)分析結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線,識(shí)別出封裝內(nèi)部的熱瓶頸,例如芯片粘結(jié)層中的空洞,并據(jù)此優(yōu)化封裝結(jié)構(gòu),從而提高器件的整體散熱能力和可靠性 。這是一種比傳統(tǒng)穩(wěn)態(tài)熱阻分析更為先進(jìn)和精確的診斷方法。

4. SiC功率模塊的溫度定義、測(cè)量方法與實(shí)際應(yīng)用

4.1 功率模塊的溫度定義與測(cè)試方法

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在SiC功率半導(dǎo)體熱設(shè)計(jì)中,有幾個(gè)關(guān)鍵的溫度參數(shù)需要精確定義和測(cè)量:

結(jié)溫(TJ?): 指的是芯片內(nèi)部有源區(qū)的溫度。這是熱設(shè)計(jì)中最關(guān)鍵的參數(shù),因?yàn)樗苯雨P(guān)系到器件的性能、壽命和可靠性。結(jié)溫通常無(wú)法通過(guò)物理接觸直接測(cè)量,只能通過(guò)間接方法估算。

殼溫(TC?): 指的是功率模塊外殼上指定點(diǎn)的溫度,通常是與散熱器接觸的底板中心點(diǎn)。在數(shù)據(jù)手冊(cè)中,殼溫常作為參考溫度來(lái)定義器件的額定電流和功耗 。

散熱器溫度(TH?): 指的是散熱器上指定點(diǎn)的溫度。它通常用于計(jì)算熱量從模塊外殼到環(huán)境的熱阻。

4.2 結(jié)溫測(cè)量方法詳解:JEDEC JESD51-14 TDI標(biāo)準(zhǔn)

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結(jié)溫的準(zhǔn)確測(cè)量對(duì)于SiC器件的熱設(shè)計(jì)至關(guān)重要。目前最常用的方法是利用器件自身的電參數(shù)作為溫敏參數(shù)(Temperature Sensitive Parameter, TSP)來(lái)間接測(cè)量。這一方法通常遵循JEDEC JESD51-14 TDI(Transient Dual Interface Test Method)標(biāo)準(zhǔn) 。

測(cè)量原理: 測(cè)量基于一個(gè)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的溫敏參數(shù),例如MOSFET體二極管的正向壓降(VF?)。當(dāng)流過(guò)體二極管的電流恒定時(shí),其正向壓降會(huì)隨結(jié)溫的升高而線性下降。通過(guò)預(yù)先校準(zhǔn)VF?與TJ?之間的關(guān)系(即K系數(shù)),就可以通過(guò)測(cè)量VF?的變化來(lái)反推出結(jié)溫的變化 。

測(cè)量流程: 該方法的核心是“瞬態(tài)冷卻曲線”的獲取。首先,對(duì)被測(cè)器件(DUT)施加一個(gè)高功率加熱電流,使其結(jié)溫達(dá)到穩(wěn)態(tài)。然后,迅速關(guān)斷加熱電流,并切換到極小的測(cè)量電流模式。在此冷卻過(guò)程中,持續(xù)記錄溫敏參數(shù)(如VF?)隨時(shí)間的變化,從而得到瞬態(tài)冷卻曲線 。

加熱模式選擇: 對(duì)于SiC MOSFET的加熱,有兩種主要模式可供選擇:“體二極管模式”(Body-Diode Mode)和“MOS飽和模式”(MOS Saturation Mode) 。體二極管模式通過(guò)向體二極管施加加熱電流來(lái)產(chǎn)生熱量。然而,在多芯片并聯(lián)的SiC模塊中,由于各個(gè)芯片的體二極管特性可能存在微小差異,可能導(dǎo)致電流分配不均,從而影響測(cè)量準(zhǔn)確性 。因此,對(duì)于并聯(lián)SiC MOSFET模塊,通常推薦使用MOS飽和模式。該模式通過(guò)向MOSFET通道施加加熱電流來(lái)產(chǎn)生熱量,這更接近器件的實(shí)際工作情況,能夠更好地避免電流不平衡問(wèn)題 。

4.3 熱系數(shù)Ψth(j-top)的原理與應(yīng)用

熱系數(shù)Ψth(j-top)是一個(gè)用于將結(jié)溫與封裝頂部溫度關(guān)聯(lián)起來(lái)的參數(shù),它與傳統(tǒng)的熱阻(Rth)有所不同 。傳統(tǒng)的熱阻( Rth(j?c)?)假定所有熱量都從器件底部傳導(dǎo)到散熱器,而Ψth(j-top)則將結(jié)溫與封裝頂面的可測(cè)溫度聯(lián)系起來(lái)。這對(duì)于采用頂部散熱(Top-side cooled, TSC)封裝的器件尤其重要,因?yàn)轫敳可嵩诟吖β拭芏群托⌒突瘧?yīng)用中正變得越來(lái)越普遍 。

使用Ψth(j-top)的好處在于,它可以結(jié)合熱成像儀等非接觸式測(cè)量工具,通過(guò)測(cè)量封裝表面的溫度來(lái)估算結(jié)溫。其計(jì)算公式通常為:TJ?=P×Ψth(j?top)?+Ttop?,其中P是器件功耗,$T_{top}$是封裝頂部溫度。這種方法為設(shè)計(jì)人員提供了一種靈活且非侵入性的結(jié)溫估算手段,特別是在無(wú)法直接接觸器件底部的情況下。然而,這種估算需要謹(jǐn)慎,因?yàn)樗雎粤藷崃吭诜庋b內(nèi)部三維擴(kuò)散的復(fù)雜性,且對(duì)封裝頂面溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性(如發(fā)射率校準(zhǔn))有較高要求。

4.4 熱成像儀測(cè)溫概述與校準(zhǔn)

熱成像儀是一種強(qiáng)大的熱點(diǎn)可視化工具,它通過(guò)捕獲物體表面發(fā)出的紅外輻射來(lái)生成溫度分布圖像 。然而,熱成像儀測(cè)量的僅是物體表面的溫度,而不是芯片的結(jié)溫。在熱設(shè)計(jì)中,熱成像儀常用于識(shí)別封裝、PCB或散熱器上的熱點(diǎn),但其讀數(shù)必須結(jié)合對(duì)封裝內(nèi)部熱阻的理解進(jìn)行解讀 。

為了確保熱成像儀測(cè)量的準(zhǔn)確性,正確的校準(zhǔn)至關(guān)重要。最關(guān)鍵的參數(shù)是材料的“發(fā)射率”(Emissivity) 。發(fā)射率是一個(gè)介于0和1之間的值,描述了物體發(fā)射熱輻射的能力。如果沒(méi)有正確設(shè)置發(fā)射率,熱成像儀的讀數(shù)將不準(zhǔn)確。常用的校準(zhǔn)方法包括:

使用已知發(fā)射率的材料(如電工膠帶,發(fā)射率接近0.95)作為參考,并通過(guò)調(diào)整發(fā)射率來(lái)使讀數(shù)與參考點(diǎn)溫度匹配 。

對(duì)被測(cè)物體表面涂覆一層發(fā)射率接近1.0的暗黑色油漆 。

在物體上鉆一個(gè)深孔,模擬黑體輻射,并以此作為校準(zhǔn)的參考點(diǎn) 。

需要注意的是,即使經(jīng)過(guò)校準(zhǔn),熱成像儀測(cè)量的也只是表面溫度(Ttop?),而熱設(shè)計(jì)中最關(guān)鍵的結(jié)溫(TJ?)通常要高得多。兩者之間的溫差取決于封裝內(nèi)部的熱阻。因此,熱成像儀的讀數(shù)必須結(jié)合熱系數(shù)Ψth(j-top)或熱阻參數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償,才能用于估算結(jié)溫,否則可能會(huì)低估實(shí)際的結(jié)溫,帶來(lái)潛在的可靠性風(fēng)險(xiǎn) 。

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5. SiC模塊熱設(shè)計(jì)的進(jìn)階考量

5.1 功率端子的熱性能與優(yōu)化

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在SiC功率模塊中,鍵合線不僅僅是電流傳導(dǎo)路徑,也是熱傳導(dǎo)路徑的一部分。其熱學(xué)特性對(duì)模塊的整體性能和可靠性具有重要影響 。在多芯片并聯(lián)封裝中,鍵合線將芯片連接到封裝引腳,其等效電阻會(huì)產(chǎn)生焦耳熱 。如果鍵合線數(shù)量不足或電流分配不均,部分鍵合線可能會(huì)因過(guò)熱而形成熱點(diǎn),甚至發(fā)生熔斷,從而導(dǎo)致功率回路斷開(kāi) 。研究表明,相同功率等級(jí)和封裝下,SiC模塊的鍵合線溫度可能比硅模塊高出約40°C 。這表明鍵合線是SiC模塊中的一個(gè)熱薄弱點(diǎn)。為了解決這一問(wèn)題,先進(jìn)的封裝技術(shù)正在探索使用銀燒結(jié)或壓接連接等技術(shù)來(lái)取代傳統(tǒng)鍵合線,以消除這一熱瓶頸,提高模塊的長(zhǎng)期可靠性 。

5.2 模塊內(nèi)部的熱擴(kuò)散路徑與材料選擇

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SiC功率模塊的內(nèi)部熱擴(kuò)散是一個(gè)復(fù)雜的三維熱傳導(dǎo)過(guò)程,其效率受到材料熱導(dǎo)率和幾何結(jié)構(gòu)的影響。熱量從芯片結(jié)產(chǎn)生后,通過(guò)熱傳導(dǎo)的方式逐層擴(kuò)散至封裝外殼 。這一過(guò)程遵循傅里葉導(dǎo)熱定律 。因此,優(yōu)化熱擴(kuò)散路徑和選擇高熱導(dǎo)率的材料至關(guān)重要。模塊中使用的氮化硅陶瓷基板和銅基板,正是為了在確保電氣絕緣的同時(shí),提供高效的熱傳導(dǎo)路徑,以最大限度地將熱量從芯片內(nèi)部傳導(dǎo)到外部散熱器 。這些材料和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)協(xié)同工作,共同構(gòu)成了SiC功率模塊熱設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)。

深圳市傾佳電子有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“傾佳電子”)是聚焦新能源與電力電子變革的核心推動(dòng)者:
傾佳電子成立于2018年,總部位于深圳福田區(qū),定位于功率半導(dǎo)體與新能源汽車(chē)連接器的專(zhuān)業(yè)分銷(xiāo)商,業(yè)務(wù)聚焦三大方向:
新能源:覆蓋光伏、儲(chǔ)能、充電基礎(chǔ)設(shè)施;
交通電動(dòng)化:服務(wù)新能源汽車(chē)三電系統(tǒng)(電控、電池、電機(jī))及高壓平臺(tái)升級(jí);
數(shù)字化轉(zhuǎn)型:支持AI算力電源、數(shù)據(jù)中心等新型電力電子應(yīng)用。
公司以“推動(dòng)國(guó)產(chǎn)SiC替代進(jìn)口、加速能源低碳轉(zhuǎn)型”為使命,響應(yīng)國(guó)家“雙碳”政策(碳達(dá)峰、碳中和),致力于降低電力電子系統(tǒng)能耗。
需求SiC碳化硅MOSFET單管及功率模塊,配套驅(qū)動(dòng)板及驅(qū)動(dòng)IC,請(qǐng)搜索傾佳電子楊茜

6. 結(jié)論與未來(lái)展望

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傾佳電子全面深入地分析了功率半導(dǎo)體熱管理的發(fā)展歷程和SiC技術(shù)背景下的熱設(shè)計(jì)基礎(chǔ)。從熱阻的串聯(lián)與并聯(lián)等基本概念,到瞬態(tài)熱阻、熱容和結(jié)構(gòu)函數(shù)等高級(jí)分析工具,再到結(jié)溫測(cè)量和熱成像等實(shí)際應(yīng)用方法,詳細(xì)闡述了SiC功率器件熱設(shè)計(jì)的核心理論與實(shí)踐。

SiC技術(shù)的崛起,以其優(yōu)越的物理特性,為電力電子領(lǐng)域帶來(lái)了前所未有的性能提升。但與此同時(shí),其高功率密度和高開(kāi)關(guān)頻率也對(duì)封裝和熱管理提出了更嚴(yán)苛的挑戰(zhàn)。未來(lái)的熱設(shè)計(jì)將不再滿(mǎn)足于傳統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)熱阻分析,而必須轉(zhuǎn)向更全面的瞬態(tài)熱和結(jié)構(gòu)函數(shù)分析,以實(shí)現(xiàn)對(duì)器件內(nèi)部熱特性的精準(zhǔn)掌控。通過(guò)采用銀燒結(jié)、氮化硅基板、頂部散熱等先進(jìn)封裝技術(shù),熱設(shè)計(jì)人員將能夠突破現(xiàn)有熱瓶頸,進(jìn)一步釋放SiC器件的潛力,實(shí)現(xiàn)更小、更輕、更高效的電力電子系統(tǒng)。

審核編輯 黃宇

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