荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備大廠ASML日前表示，該公司2018年將出貨20套極紫外光(EUV)光刻機，該數(shù)量預(yù)期在2019年將增加到30套以上。

ASML是在最近發(fā)布的第二季財報中做出以上預(yù)估數(shù)字，該公司也透露其整體EUV工具銷售業(yè)績優(yōu)于預(yù)期，達到約32億美元；ASML執(zhí)行長Peter Wennink表示，「毛利率比我們的預(yù)期略高，反映了我們的深紫外光(DUV)與應(yīng)用業(yè)務(wù)的強勁表現(xiàn)，以及EUV獲利進展。

ASML在第二季出貨4套EUV系統(tǒng)，比先前預(yù)測的多了1套；Wennink表示這是因為邏輯元件客戶準(zhǔn)備要在今年稍晚量產(chǎn)下一代產(chǎn)品。被視為5納米以下先進半導(dǎo)體制程重要推手的EUV技術(shù)終于在遲到數(shù)年后邁入量產(chǎn)階段，包括三星(Samsung)、英特爾(Intel)與臺積電 (TSMC)都打算在明年采用EUV進行量產(chǎn)；不過EUV技術(shù)仍存在與光源、良率等方面的挑戰(zhàn)。

而ASML表示，該公司現(xiàn)在已經(jīng)證實能在NXE:3400B系列EUV系統(tǒng)的出貨上，達到超過85%的4周交貨期，并正在執(zhí)行數(shù)個專案以期在2019年達到超過90%的如期交貨。

Wennik還指出，ASML的DUV微影業(yè)務(wù)持續(xù)發(fā)展蓬勃，主要來自于記憶體市場需求；他表示該市場至少在今年與2019年仍然需要大量的微影系統(tǒng)。

而ASML在2018上半年業(yè)績表現(xiàn)亮眼，預(yù)期下半年也將維持成長力道，獲利方面的成長可望延續(xù)至第三季、第四季。

展望第三季，ASML預(yù)期銷售額在27億至28億歐元之間(約為31.5億美元~32.6億美元)。