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淺談三維原子探針的跨領(lǐng)域應(yīng)用

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:老千和他的朋友 ? 2026-01-20 15:33 ? 次閱讀
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文章來源:老千和他的朋友

原文作者:孫千

本文主要講述三維原子探針的跨領(lǐng)域應(yīng)用。

原子探針斷層掃描(APT,也叫三維原子探針)是一種三維分析技術(shù),能看清原子級的成分分布,空間分辨率達到亞納米,成分靈敏度是ppm級。它提供的三維成分數(shù)據(jù),和透射電子顯微鏡(TEM)的高空間分辨率二維圖像、二次離子質(zhì)譜(SIMS)等技術(shù)能互補,能發(fā)現(xiàn)工程材料里的析出物、晶界、位錯這些微觀結(jié)構(gòu)——這些結(jié)構(gòu)大多有局部成分變化,尺寸也在APT能分析的范圍內(nèi)?,F(xiàn)在它的應(yīng)用已經(jīng)覆蓋了多個領(lǐng)域。

材料科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用

1固溶體研究

研究固溶體時,用足夠大的三維數(shù)據(jù),再加上統(tǒng)計分析,能看清楚固溶體里溶質(zhì)原子怎么排列,不同原子之間怎么相互作用。在非平衡態(tài)的固溶體里,常會看到有些原子之間的距離,比隨機分布時更近。目前,APT已經(jīng)廣泛用來研究金屬里固溶體分解的早期階段,還有半導(dǎo)體里摻雜劑的分布,有時候會和SIMS一起用,得到更全面的信息。理論上APT能探測短程有序,但結(jié)果會受探測效率和空間分辨率的影響,具體要看溶質(zhì)的濃度。

2析出相分析

析出相分析是APT的核心應(yīng)用之一。從亞穩(wěn)態(tài)固溶體里析出第二相,是改善材料性能的常用辦法。APT能給出析出物的精確成分,還能研究晶界或相界附近的成分梯度,幫著理解析出物怎么生長、怎么遷移。要注意的是,基體和析出物的場蒸發(fā)特性不一樣,可能會影響測量的尺寸和成分,數(shù)據(jù)分析時得考慮到這一點;另外,成分梯度也可能是因為數(shù)據(jù)處理時的粗分箱或體素化造成的,解釋數(shù)據(jù)時要格外小心。

3)晶界與界面表征

在晶界與界面表征上,APT的三維特性很有優(yōu)勢。晶界和界面是連接材料性能和微觀結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵,它們的影響通常看成分,而成分又和晶體學(xué)特性相關(guān)。特定元素會向晶界和界面偏析,這是常見現(xiàn)象,由系統(tǒng)自由能最小化驅(qū)動,這種偏析可能對材料性能有好處,也可能有壞處——比如晶界會影響電子傳輸,對多晶光伏材料或薄膜界面的性能很重要。用APT做靶向分析,能通過原子分數(shù)或界面超額量,定量看出偏析的程度。圖a和b展示了太陽能電池材料的情況,鈉在晶界偏析能鈍化有害電荷缺陷;圖c和d是金屬間化合物,孿晶界的形成會局部改變成分,進而調(diào)整磁疇結(jié)構(gòu),讓材料有好的磁性能。

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除此之外,還能通過二維映射看出特定表面的偏析程度,再和晶界類型聯(lián)系起來。研究發(fā)現(xiàn),就算是單一的高角度晶界,偏析行為也有明顯的空間差異;晶界還可能發(fā)生類相變,叫complexion轉(zhuǎn)變,它的發(fā)生條件和常規(guī)相變不一樣,利用這些過程定制合金性能是現(xiàn)在的研究熱點。APT和TEM結(jié)合,已經(jīng)識別出了多種complexion轉(zhuǎn)變,比如偏析誘導(dǎo)小面化轉(zhuǎn)變和類調(diào)幅分解波動。

4位錯、堆垛層錯和孿晶研究

在位錯、堆垛層錯和孿晶研究中,APT有不少突破性發(fā)現(xiàn)。位錯是晶體材料里容納應(yīng)變的線性缺陷,它周圍通常會有過量的特定溶質(zhì)原子,這叫科垂爾氣團,這些溶質(zhì)原子會影響位錯的遷移率,進而改變材料的力學(xué)行為。APT第一次直接觀察到科垂爾氣團,最初是在鋼里的碳,后來在FeAl里的硼、硅里的砷等很多系統(tǒng)中也發(fā)現(xiàn)了(圖f展示了含偏析的位錯)。

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位錯還可能形成環(huán),在特定邊緣或小面處有偏析;APT的三維特性能沿著位錯線映射偏析分布,有時候叫“線超額量”,研究發(fā)現(xiàn)缺陷線上的偏析會有變化,這是因為局部晶體學(xué)環(huán)境不一樣。另外,APT還證實了“線性complexion”的存在,就是在線性缺陷內(nèi)部,有化學(xué)和結(jié)構(gòu)都獨特的區(qū)域,同時也用來研究堆垛層錯、反相疇界、(納米)孿晶和孿晶界等其他結(jié)構(gòu)缺陷。

5微觀結(jié)構(gòu)退化過程分析

理解導(dǎo)致材料性能退化、進而限制服役壽命的微觀結(jié)構(gòu)演化,是APT的重要應(yīng)用之一。核發(fā)電用的材料就是典型例子,放射性材料處理起來很麻煩,多個國家已經(jīng)建立了專用設(shè)施,比如聚焦離子束(FIB)和原子探針,相關(guān)研究包括在役或候選材料中第二相的形成、工程部件里的焊縫、管道和燃料包殼的氧化與腐蝕,還有燃料和廢料相關(guān)研究,核心挑戰(zhàn)是探測氦、氫這些極輕的元素。

除了核材料,氫的空間分辨表征是長期的前沿課題。氫會讓很多材料變脆,發(fā)生災(zāi)難性失效,但它也是清潔能源存儲和無碳排放交通領(lǐng)域的研究重點,它在材料結(jié)構(gòu)里的分布很難確定。

雖然APT能輕松探測到氫,但沒法區(qū)分氫是來自樣品本身,還是真空腔體內(nèi)的殘留氫——同位素標記法解決了這個問題,就是把樣品摻雜氘作為氫的標記物,已經(jīng)成功探測到了氫的俘獲位點,但定量分析還有挑戰(zhàn),要看分析條件。為了減少氫擴散,樣品從摻雜到分析都要保持低溫;近年來,低溫樣品轉(zhuǎn)移技術(shù)有了發(fā)展,推動了APT在氫研究中的應(yīng)用,研究表明氫能被俘獲在晶界、相界和位錯處,而且已經(jīng)能分析氫化物及其生長機制。

地球科學(xué)領(lǐng)域的拓展應(yīng)用

在地球科學(xué)領(lǐng)域,APT早期主要用來研究金屬隕石和變質(zhì)磁鐵礦晶體,后來用到地質(zhì)年代學(xué)中,慢慢受到關(guān)注。現(xiàn)在,地質(zhì)材料的APT研究已經(jīng)覆蓋了地質(zhì)年代學(xué)、地外材料、經(jīng)濟地質(zhì)學(xué)、化學(xué)地質(zhì)學(xué)、巖石學(xué)、礦物學(xué)等多個領(lǐng)域。

1)地質(zhì)年代學(xué)研究

地質(zhì)年代學(xué)中,通過分析鋯石、獨居石、榍石、斜鋯石等副礦物中鈾、鉛等放射性同位素的納米尺度分布,研究變形和變質(zhì)事件導(dǎo)致的放射性同位素擴散及局部同位素比值變化。擴散的原子會形成納米尺度的聚類,表征這些聚類能確定地質(zhì)事件的時間,增進對母-子體同位素遷移機制的理解,為地殼形成和演化提供關(guān)鍵信息。

2)地外與地球替代材料研究

在地外和地球替代材料研究中,分析月球土壤樣品、隕石中的副礦物,比如鈦鐵礦、鋯石、斜鋯石、納米金剛石、難熔金屬塊,能確定行星事件的時間,理解行星地殼的形成。目前已經(jīng)實現(xiàn)了月球瞬時熱事件時間的確定、空間風(fēng)化產(chǎn)物成分和結(jié)構(gòu)的表征、原行星盤早期太陽系材料遷移過程的約束,還有隕石天體物理起源的確定。

3)經(jīng)濟地質(zhì)學(xué)研究

經(jīng)濟地質(zhì)學(xué)中,研究黃鐵礦、毒砂等礦石礦物中貴金屬和賤金屬的摻入和遷移機制,表征宿主礦物中金屬的賦存狀態(tài),為理解流體-巖石相互作用和晶體生長動力學(xué)(形成有經(jīng)濟價值的礦床)提供關(guān)鍵信息,在多種類型礦床的共生關(guān)系研究中取得了重大進展。

另外,跨學(xué)科研究還包括微量元素、流體與晶體缺陷的相互作用及其對礦物物理性質(zhì)的影響;理解長石等相的形成、氣相礦物沉積、玻璃腐蝕和巖漿不混溶等基礎(chǔ)過程;評估礦物表面溶解/沉淀機制;研究變形、變質(zhì)和交代作用過程中的元素擴散,進而揭示界面反應(yīng)、礦物共生和出溶過程。這些見解只有通過APT才能獲得,它兼具高元素靈敏度和亞納米空間分辨率的三維成像能力,這是核心優(yōu)勢。

跨學(xué)科應(yīng)用探索

1)表面與催化材料研究

除了塊體材料,APT在表面與催化材料領(lǐng)域的應(yīng)用也有不錯的效果。表面研究中,可再生能源領(lǐng)域的催化劑和電催化劑很受關(guān)注,大多數(shù)器件采用納米顆粒來提高比表面積和催化活性,要優(yōu)化它們的性能,就得理解表面、近表面及內(nèi)部缺陷與界面相交處的原子級微觀結(jié)構(gòu)。

長期以來,APT及相關(guān)技術(shù)基于“針狀樣品末端的近球形帽類似于單個納米顆?!钡募僭O(shè),應(yīng)用于表面科學(xué)和催化研究;通過改進樣品制備策略,保護催化活性表面免受離子或電子束損傷,APT有望提供沸石、金屬有機框架、納米多孔金屬等微孔和納米多孔材料的元素分布信息,同時也已經(jīng)用來研究薄膜催化劑表面在析氧反應(yīng)不同階段形成的中間物種。

2)生物和有機材料研究

有機物質(zhì)的APT研究是新興領(lǐng)域,目前最顯著的成果集中在生物礦物研究,這類固體材料大多是無機相,容易通過APT分析。后續(xù)研究通過APT數(shù)據(jù),揭示了牙釉質(zhì)中鎂、氟等重要元素的納米尺度分布,增進了對海洋生物貝殼、磷灰石、骨骼、生物碳酸鹽等納米結(jié)構(gòu)的理解。

軟材料的分析難度更大,在高真空環(huán)境中可能不穩(wěn)定,但已經(jīng)有研究報道了碳基分子、聚合物以及直接在金屬樣品上形成的自組裝單分子層的分析,雖然獲得了有關(guān)有機物場蒸發(fā)行為的有趣結(jié)果,但還需要更多研究來理解其分析復(fù)雜性。

軟生物材料通常含有水分,目前已經(jīng)實現(xiàn)了干燥蛋白質(zhì)的沉積、FIB成像和APT分析,包括DNA、鐵蛋白、淀粉樣原纖維。維持蛋白質(zhì)原始水合狀態(tài)的方法有冷凍干燥、樹脂固定和冷凍,但冷凍干燥會去除水分,顯著改變原始結(jié)構(gòu);固定法可能作為替代方案,但會在分子水平上改變樣品,破壞離子物種的分布。

還有一種類似固定法的策略,利用溶膠-凝膠法將單個抗體蛋白嵌入非晶態(tài)二氧化硅基體中,隨后進行標準FIB提取,分子周圍的水合殼層會完全被二氧化硅取代,三維重建中的特征形狀與蛋白質(zhì)數(shù)據(jù)庫中的晶體結(jié)構(gòu)高度一致。

近期有綜述總結(jié)了APT樣品制備和轉(zhuǎn)移的低溫技術(shù)進展,這些技術(shù)有望實現(xiàn)低溫保存,但要維持蛋白質(zhì)周圍的水合殼層,明確APT在生物科學(xué)中的應(yīng)用價值,還需要進一步發(fā)展。

(3)礦物-微生物相互作用研究

在礦物-微生物領(lǐng)域,核心應(yīng)用集中在三大方向。

一是解析生物礦化微觀機制,既能捕捉牙齒(如石鱉牙齒有機纖維與Na?/Mg2?的選擇性結(jié)合、人類牙釉質(zhì)中富鎂無定形磷酸鈣的分布及溶解機制)、骨骼(如膠原纖維與礦物的空間排列、微量元素對礦化的調(diào)控)、碳酸鈣基生物礦物(如有孔蟲外殼有機模板的元素組成、貽貝殼方解石的有機-無機界面特征)等生物礦物的形成過程,又能明確微生物代謝產(chǎn)物與礦物離子的耦合關(guān)系。

二是識別微生物殘存的納米-原子尺度信號,通過檢測磷灰石中納米級C-N耦合信號(如牙形石化石中C-N總濃度超40%的納米顆粒)、趨磁細菌(MTB)生成磁鐵礦的獨特C-N信號,精準區(qū)分生物礦物與無機礦物,為地質(zhì)歷史中微生物活動痕跡的識別提供關(guān)鍵依據(jù)。

三是支撐生物材料優(yōu)化研究,既能分析生物活性玻璃(如含Sr玻璃的離子釋放行為及優(yōu)化實驗條件)、磷酸鈣基陶瓷(如不同端元磷灰石的指紋型鑒別、電沉積涂層的前驅(qū)相轉(zhuǎn)化)、玻璃陶瓷與復(fù)合材料的成分-結(jié)構(gòu)關(guān)系,又能揭示合成材料與微生物/生物組織的界面反應(yīng),助力仿生礦化材料研發(fā)。

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原文標題:三維原子探針(APT)的跨領(lǐng)域應(yīng)用

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