本篇內(nèi)容聊一下半導體靜態(tài)參數(shù)測試，LADCT2000 半導體分立器件直流參數(shù)測試設備-半導體測試儀 是技術團隊結合半導體功率器件測試的多 年經(jīng)驗，以及眾多國內(nèi)外測試系統(tǒng)產(chǎn)品的熟悉了解后，完全自主開發(fā)設計的全新一代“ 晶體管高精度直流參數(shù)測試系統(tǒng)”。軟件及硬件均由團隊自主完成。這就決定了這款產(chǎn)品的功能性和可靠性能夠得到持續(xù)完善和不斷的提升，核心技術可控，設備可靠性值得廣泛客戶信賴。具備常規(guī)靜態(tài)參數(shù)（標配）+高速光耦開關時間動態(tài)參數(shù)模塊+二極管反恢選配模塊+IV曲線掃描選配模塊。

脈沖信號源輸出方面，高壓源配置2000V，高流源標配 200A，柵極電壓 40V，柵極電流100mA，分辨率最高至 1.5uV / 1.5pA，精度最高可至 0.1%。 程控軟件基于 Lab VIEW 平臺編寫，填充式菜單界面。采用帶有開爾文感應結構的測試插座， 自動補償由于系統(tǒng)內(nèi)部及測試電纜長度引起的任何壓降，保證測試結果準確可靠。產(chǎn)品可測試 Si, SiC, GaN 材料的 IGBTs, DIODEs, MOSFETs, BJTs, SCRs 等 7 大類 26 分類的電子元器件。涵蓋電子產(chǎn)品中幾乎所有的常見器件。無論電壓電流源還是功能配置都有著極強的擴展性。

產(chǎn)品為桌面放置的臺式機結構，由測試主機和程控電腦兩大部分組成。外掛各類夾具和適配器，還能夠通過 Prober 接 口、Handler 接口可選（16Bin）連接分選機和機械手建立工作站，實現(xiàn)快速批量化測試。通過軟件設置可依照被測器件的參數(shù)等級進行自動分類存放。能夠極好的應對“來料檢驗 ”“失效分析 ”“選型配對 ”“量產(chǎn)測試 ”等不同場景。產(chǎn)品的可靠性和測試數(shù)據(jù)的重復性以及測試效率都有著非常優(yōu)秀的表現(xiàn)。創(chuàng)新的“ 點控式夾具 ”讓操作人員在夾具上實現(xiàn)一點即測。操作更簡單效率更高。測試數(shù)據(jù)可保存為 EXCEL文檔。

二、技術方案

(1) 測試范圍 (部分特殊器件需配置對應適配器，測試范圍廣泛，配置靈活)

夾具工裝及適配器選型 對應的被測元件
常規(guī)夾具
適用于1~16
針對不同封裝外觀提供對應的開爾文接線測試座
(1) 二極管
(2) 穩(wěn)壓二極管 ZD
(3) 瞬態(tài)二極管（普通夾具）
(4) 三端肖特基（雙組二極管）
(5) 整流橋堆
(6) 三相整流橋堆
(7) 三極管
(8) 雙向可控硅
(9) 單向可控硅
(10) MOSFET
(11) 雙 MOSFET
(12) JFET
(13) IGBT
(14) 三端開關功率驅動器
(15) 高邊功率開關
(16) 壓敏電阻

綜合適配器加DUT轉接頭可直接兼容
17-24
部分增加適配板適用于 17~24
內(nèi)置不同器件工作條件的電路，以便對相應器件的功能和直流參數(shù)進行全面測試
(17) 三端穩(wěn)壓器
(18) 四端穩(wěn)壓
(19) 開關穩(wěn)壓集成器
(20) 光耦（各類光耦）
(21) 基準 IC（TL431）
(22) 電壓復位 IC
(23) 固態(tài)繼電器
(24) 達林頓陣列

(2)產(chǎn)品配置選型

測試主機和電腦

? DC2000V（2000V，2.5KV,3KV 的高壓源） ? DC200A（100A,200A,300A,500A,1000A 的高流源

(3)測試種類及測試參數(shù) (部分器件需配置對應適配器)
常規(guī)靜態(tài)參數(shù)（標配）+光耦開關時間動態(tài)參數(shù)模塊+二極管反恢選配模塊

(1) 二極管類: 二極管 Diode
Kelvin，Vrrm，Irrm，Vf，△Vf，△Vrrm；
(2) 二極管類:穩(wěn)壓二極管 ZD(zenerDiode)
Kelvin，Vz，lr，Vf，△Vf，△Vz，Roz，lzm，Cka；
(3) 二極管類:穩(wěn)壓二極管 ZD(zenerDiode)
Kelvin、Vz、lr、Vf、△Vf、△Vz、Roz、lzm、Cka；
(4) 二極管類: 三端肖特基二極管SBD(schottkyBarrierDiode)
Kelvin 、Type_ident 、Pin_test 、Vrrm、Irrm、Vf、△Vf、V_Vrrm、I_Irrm、△Vrrm；
(5) 二極管類:瞬態(tài)二極管 TVS
Kelvin 、Vrrm 、Irrm、Vf、△Vf、△Vrrm 、Cka ；
(6) 二極管類:整流橋堆
Kelvin 、Vrrm、Irrm、Ir_ac、Vf、△Vf、△Vrrm 、Cka；
(7) 二極管類:三相整流橋堆
Kelvin 、Vrrm 、Irrm、Ir_ac、Vf、△Vf、△Vrrm、Cka；
(8) 三極管類:三極管
Kelvin 、Type_ident、Pin_chk 、V(br)cbo 、V(br)ceo 、V(br)ebo 、Icbo、lceo、Iebo、 Hfe、Vce(sat)、Vbe(sat)、Vbe、lcm、Vsd；
(9) 三極管類:雙向可控硅
Kelvin、Type_ident、Qs_chk、Pin_test、Igt、Vgt、Vtm、Vdrm、Vrrm、Vdrm rrm、Irrm、 Idrm、 Irrm_drm、Ih、IL；
(10)三極管類: 單向可控硅
Kelvin、 Type_ident、 Qs_chk、 Pin test、 lgt、 Vgt、 Vtm、 Vdrm Vrrm、 IH、IL；
(11) 三極管類: MOSFET
Kelvin 、Type_ident、Pin_test、VGS(th) 、V(BR)Dss 、Rds(on) 、Bvds_rz、△Bvds、Gfs、 Ig ss、ldss 、Idss zero 、Vds(on)、 Vsd、Ciss、Coss、Crss、Bvg s ；
(12)三極管類:雙MOSFET
Kelvin、 Pin_chk、Ic_fx_chk、 Type_ident、 Vgs1(th)、 VGs2(th)、 VBR)Dss1、 VBR)Dss2 、 Rds1(on)、 Rds2(on)、 Bvds1 rz、 Bvds2_rz、 Gfs1、Gfs2、lg ss1、lg ss2、Idss1、 Idss2、Vsd1、Vsd2、Ciss、Coss、Crss；
(13)三極管類: JFET
Kelvin、VGS(off )、V(BR)Dss、Rds(on)、Bvds_rz、Gfs、lg ss、Idss(off)、Idss(on)、vds(on)
、
Vsd；
(14)三極管類: IGBT
Kelvin、VGE(th)、V(BR)CES、Vce(on)、Gfe、lges、 lces、Vf、Ciss、Coss、Crss；
(15)三極管類: 三端開關功率驅動器
Kelvin、Vbb(AZ)、 Von (CL)、 Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt；
(16)三極管類: 七端半橋驅動器
Kelvin、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt；
(17)三極管類:高邊功率開關
Kelvin、Vbb(AZ)、Von (CL)、Rson、Ibb(off)、ll(Iim)、Coss、Fun_pin_volt；
(18)保護類:壓敏電阻
Kelvin、Vrrm、 Vdrm、Irrm、Idrm、Cka;
(19)穩(wěn)壓集成類:三端穩(wěn)壓器
Kelvin 、Vout 、Reg_Line、Reg_Load、IB、IB_I、Roz、 VD、ISC；
(20)穩(wěn)壓集成類 基準 IC(TL431)
Kelvin、Vref、△Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka；
(21)穩(wěn)壓集成類: 四端穩(wěn)壓
Kelvin、Vout、Reg_Line、Reg_Load、IB、IB_I、、VD、Isc;
(21)光耦類: 4 腳光耦、6腳光耦、8腳光耦、16腳光耦（光耦選配模塊可以測試各類動態(tài)開關參數(shù)）
Kelvin、Pin_chk、Vf、Ir、Bvceo、Bveco、Iceo、Ctr、Vce(sat)；



曲線掃描模塊功能如下：

二極管：
IF vs.VF
IR vs.VR
三極管：
IC_VS_VCE
HFE_VS_IC
BVCE_VS_IC
BVEBO_VS_IE

ICBO_VS_VCBO

ICEO_VS_VCE

IEBO_VS_VEB

VCE_(SAT)_VS_IB

VBE_(SAT)_VS_IC

VBE_(ON)_VS_IC

MOS管：
ID_VS_VDS
ID_VS_VGS
IS_VS_VSD
RDS_VS_VGS
RDS_VS_ID
IDSS_VS_VDS
BVDS_VS_IDS
IGBT：
IC_VS_VCE
IC_VS_VGE
ICES_VS_VCE
IF_VS_VF
VSAT_VS_VGE
BVCE_VS_IC
(5) 參數(shù)指標

1. 電流/電壓源 VIS 自帶 VI測量單元

1). 加壓(FV)

量程 分辨率 精度
±40V 625uV ±0.1% 設定值±3mV
±20V 320uV ±0.1% 設定值±3mV
±10V 160uV ±0.1% 設定值±3mV
±5V 80uV ±0.1% 設定值±2mV
±2V 32uV ±0.1% 設定值±2mV
2).加流(FI):

量程 分辨率 精度
±200A 31.25mA ±0.5% 設定值±250mA
±100A 15.625mA±0.5% 設定值±125mA
±40A 625uA ±0.5% 設定值±30mA
±4A 62.5uA ±0.2% 設定值±2mA
±400mA 6.25uA ±0.1% 設定值±500uA
±40mA 625nA ±0.1% 設定值±50uA
±4mA 62.5nA ±0.1% 設定值±5uA
±400uA 6.25nA ±0.1% 設定值±500nA
±40uA 625pA ±0.1% 設定值±50nA
說明：電流大于 1.5A 自動轉為脈沖方式輸出，脈寬范圍 300us-1000us 可調
3). 電流測量(MI)

量程 分辨率 精度
±200A 7.8mA ± 1% 讀數(shù)值±250mA
±100A 3.9mA ±0.5% 讀數(shù)值±125mA
±40A 1.22mA ±1% 讀數(shù)值±20mA
±4A 122uA ±0.5% 讀數(shù)值±2mA
±400mA 12.2uA ±0.5% 讀數(shù)值±200uA
±40mA 1.22uA ±0.5% 讀數(shù)值±20uA
±4mA 122nA ±0.5% 讀數(shù)值±2uA
±400uA 12.2nA ±0.5% 讀數(shù)值±200nA
±40uA 1.22nA ±1% 讀數(shù)值±20nA

4). 電壓測量

量程 分辨率 精度
±2000V 30.5mV ±0.5% 讀數(shù)值±200mV
±1000V 15.3mV ±0.2% 讀數(shù)值±20mV
±40V 1.22mV ±1% 讀數(shù)值±20mV
±20V 122uV ±0.5% 讀數(shù)值±2mV
±10V 12.2uV ±0.5% 讀數(shù)值±200uV
±5V 1.22uV ±0.5% 讀數(shù)值±20uV

2. 數(shù)據(jù)采集部分 VM

16 位 ADC，1M/S 采樣速率
1). 電壓測量w

量程 分辨率 精度
±2000V 30.5mV ±0.5% 讀數(shù)值±200mV
±1000V 15.3mV ±0.2% 讀數(shù)值±20mV
±100V 1.53mV ±0.1% 讀數(shù)值±10mV
±10V 153uV ±0.1% 讀數(shù)值±5mV
±1V 15.3uV ±0.1% 讀數(shù)值±2mV
±0.1V 1.53uV ±0.2% 讀數(shù)值±2mV
2). 漏電流測量MI)

量程 分辨率 精度
±100mA 1.53uA ±0.2% 讀數(shù)值±100uA
±10mA 153nA ±0.1% 讀數(shù)值±3uA
±1mA 15.3nA ±0.1% 讀數(shù)值±300nA
±100uA 1.53nA ±0.1% 讀數(shù)值±100nA
±10uA 153pA ±0.1% 讀數(shù)值±20nA
±1uA 15.3pA ±0.5% 讀數(shù)值±5nA
±100nA 1.53pA ±0.5% 讀數(shù)值±0.5nA
3). 電容容量測量(MC)

量程 分辨率 精度
6nF 10PF ±5% 讀數(shù)值±50PF
60nF 100PF ±5% 讀數(shù)值±100PF

3. 高壓源 HVS(基本)16位 DAC

1).加壓(FV)

量程 分辨率 精度
2000V/10mA 30.5mV ±0.5% 設定值±500mV
200V/10mA 30.5mV ±0.2% 設定值±50mV
40V/50mA 30.5mV ±0.1% 設定值±5mV

2).加流(FI):

量程 分辨率 精度
10mA 3.81uA ±0.5% 設定值±10uA
2mA 381nA ±0.5% 設定值±2uA
200uA 38.1nA ±0.5% 設定值±200nA
20uA 3.81nA ±0.5% 設定值±20nA
2uA 381pA ±0.5% 設定值±2nA

正確使用測試設備，能夠提升生產(chǎn)測試效率，提升客戶產(chǎn)品的市場競爭力。

審核編輯 黃宇