目前，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已步入規(guī)?；l(fā)展階段，據(jù)權(quán)威統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2020年到2025年，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模從8848億增長(zhǎng)至1.68萬(wàn)億，預(yù)計(jì)2026年可突破至1.9萬(wàn)億。在規(guī)模增長(zhǎng)的同時(shí)，結(jié)構(gòu)也隨之優(yōu)化，向設(shè)計(jì)和制造等高附加值環(huán)節(jié)升級(jí)，因而半導(dǎo)體研發(fā)、生產(chǎn)工藝中的精密測(cè)試設(shè)備需求也隨之呈現(xiàn)大幅增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的持續(xù)擴(kuò)大，國(guó)家對(duì)各類(lèi)半導(dǎo)體器件的電性能參數(shù)測(cè)試項(xiàng)目，做出了明確要求，推出了相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。

中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展推動(dòng)了高精度電性能參數(shù)的測(cè)試需求。源表SMU作為關(guān)鍵測(cè)試設(shè)備，可同時(shí)輸出和測(cè)量電壓電流，并進(jìn)行電阻和功率的測(cè)量。

現(xiàn)階段半導(dǎo)體性能參數(shù)測(cè)試，對(duì)以下方面提出了要求：

艾諾儀器憑借在測(cè)量領(lǐng)域持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新與研發(fā)積淀，面向半導(dǎo)體行業(yè)高精度測(cè)試需求，全新推出脈沖源表一體機(jī)ANPMU系列，該產(chǎn)品集成脈沖發(fā)生與精密測(cè)量功能，以高集成度設(shè)計(jì)滿足先進(jìn)制程的測(cè)試挑戰(zhàn)。采用開(kāi)關(guān)電源與線性功放技術(shù)組合，可四象限運(yùn)行，輸出噪聲低、精度高、響應(yīng)快，滿足多數(shù)場(chǎng)景的測(cè)試需求。

產(chǎn)品具有高功率瞬時(shí)脈沖能力，采樣可選擇積分AD測(cè)量和數(shù)字AD測(cè)量，分別滿足高精度和高速測(cè)量需求；具有豐富的波形編輯功能，支持掃描、脈沖、流程圖、腳本編輯功能；五寸彩色屏幕，支持觸摸、滑動(dòng)、縮放，可以顯示測(cè)試曲線。

艾諾公司新推出的高精度脈沖源表一體機(jī)ANPMU系列，是專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造的高精度、高分辨力、多功能源測(cè)設(shè)備。憑借卓越的技術(shù)性能，成為半導(dǎo)體研發(fā)、驗(yàn)證與量產(chǎn)環(huán)節(jié)的核心測(cè)試工具。該設(shè)備創(chuàng)新采用開(kāi)關(guān)電源與線性功放技術(shù)組合，可實(shí)現(xiàn)四象限運(yùn)行，既能夠輸出穩(wěn)定能量，也可吸收負(fù)載反饋能量，輸出噪聲極低、測(cè)試精度出眾且響應(yīng)速度快捷，高效適配半導(dǎo)體器件對(duì)測(cè)試穩(wěn)定性和時(shí)效性的嚴(yán)苛要求。ANPMU系列產(chǎn)品以突破性技術(shù)方案高效解決行業(yè)測(cè)試瓶頸，憑借過(guò)硬質(zhì)量，贏得國(guó)內(nèi)外廠商的高度認(rèn)可，成為行業(yè)內(nèi)的優(yōu)質(zhì)之選。