在半導(dǎo)體檢測(cè)的應(yīng)用中，由于有高精度的需求，筒鏡+高倍物鏡是一種常見的搭配，但在使用過程中，也有很多人向我們?cè)儐柗N種問題。今天這篇文章里，我們會(huì)解釋一些基本的應(yīng)用注意點(diǎn)，希望可以為大家提供一些參考。

01關(guān)于組合倍率

很多人在接了筒鏡物鏡后，發(fā)現(xiàn)組合的倍率并不是10x或20x等標(biāo)注的倍率，而是有些許偏差。實(shí)際上，組合倍率和物鏡，筒鏡的焦距有關(guān)，簡(jiǎn)單說，按照下面的公式計(jì)算：

組合倍率=筒鏡焦距÷物鏡焦距

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由于大部分物鏡和筒鏡之間是無窮遠(yuǎn)光路（平行），從上圖可以看出，兩個(gè)相似三角形像高與物高的比例（倍率），是等于兩者焦距的比例。

例如Moritex筒鏡SOD-200-40M58的焦距是f'=200mm，搭配Moritex 10x物鏡（焦距20mm），其組合倍率就是200÷20=10x。

而搭配另一品牌的10x物鏡（焦距18mm），其倍率就變成了200÷18=11.11x。因此，并不存在絕對(duì)的“1x”或者幾倍的筒鏡，一般只有具體的品牌搭配自家的物鏡時(shí)，才會(huì)有類似的說法。

同時(shí)，物鏡外殼有時(shí)會(huì)標(biāo)注f200mm之類的字樣，也并不是說物鏡本身焦距200mm，而是意味著需要搭配焦距為200mm的筒鏡，才能實(shí)現(xiàn)標(biāo)注的倍率。

同理，Moritex另一款筒鏡SOD-180-32M58的焦距是f'=180mm，搭配f20mm的物鏡組合倍率就變成了9x。在選型配合時(shí)，需要注意物鏡和筒鏡焦距的選擇。

02關(guān)于支持的像面（周邊是否變暗）

有些人在使用時(shí)，考慮自己加對(duì)焦模塊，會(huì)在物鏡和筒鏡之間加裝了可變隔圈的機(jī)構(gòu)，這樣其實(shí)會(huì)導(dǎo)致支持的像面減小。

實(shí)際上，像面大小、筒鏡物鏡間距、以及筒鏡物鏡直徑之間滿足以下的關(guān)系：

d=(φ2-φ1)x f2/φ'

其中，d是物鏡與筒鏡的間隔，φ1是物鏡出瞳直徑，φ2是筒鏡有效直徑，f2是筒鏡焦距，φ'是實(shí)際的無漸暈像面大?。ㄖ睆剑?。

由此可見，物鏡筒鏡確定后，其間隔越大，像面的漸暈越明顯，甚至可能出現(xiàn)更大黑角。

通常，物鏡外殼會(huì)標(biāo)注FN數(shù)（即field number），這代表了該物鏡可以支持的最大像面大小。

關(guān)于此類應(yīng)用，今天先跟大家介紹這些最基本，但容易被誤解的兩點(diǎn)，今后遇到更多的問題我們會(huì)繼續(xù)跟大家介紹。