一、產(chǎn)線痛點(diǎn)：UTG 測(cè)厚的三大行業(yè)難題

某折疊屏玻璃加工廠的工藝產(chǎn)線旁，工程師正對(duì)著剛下線的一批 UTG 玻璃一籌莫展 —— 客戶明確要求產(chǎn)品厚度控制在 50±3μm，但現(xiàn)有檢測(cè)手段始終無(wú)法兼顧精度與無(wú)損要求。用接觸式測(cè)厚儀抽檢，30-100μm 的超薄玻璃因機(jī)械壓力一碰就產(chǎn)生微裂紋，最終破碎率居高不下；換普通激光測(cè)厚設(shè)備，玻璃 90% 以上的可見(jiàn)光透過(guò)率讓反射信號(hào)弱到幾乎無(wú)法捕捉，測(cè)量數(shù)據(jù)偏差遠(yuǎn)超公差范圍；即便勉強(qiáng)完成單點(diǎn)測(cè)量，大尺寸 UTG 的翹曲變形也讓數(shù)據(jù)無(wú)法反映整板真實(shí)厚度，這批價(jià)值 20 萬(wàn)的產(chǎn)品最終只能全檢報(bào)廢。

這一場(chǎng)景是折疊屏 UTG 玻璃加工行業(yè)的普遍現(xiàn)狀，核心痛點(diǎn)集中在三點(diǎn)：一是易碎不敢碰，30-100μm 的 UTG 脆性大，接觸式測(cè)量破碎率超 5%，直接造成產(chǎn)線物料損耗；二是透明測(cè)不準(zhǔn)，高透光特性讓傳統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備難以捕捉有效信號(hào)，精度偏差普遍在 ±5μm 以上；三是翹曲測(cè)不全，大尺寸 UTG 在減薄后易出現(xiàn)翹曲，單點(diǎn)測(cè)量無(wú)法覆蓋整板，厚度均勻性檢測(cè)成為空白，后續(xù)模組貼合易出現(xiàn)良率問(wèn)題。

二、技術(shù)適配：白光干涉測(cè)厚的原理與優(yōu)勢(shì)

UTG 玻璃的 30-100μm 超薄膜層特性、>90% 的可見(jiàn)光透過(guò)率，以及上下表面平整形成的良好光學(xué)界面，為白光干涉測(cè)厚技術(shù)提供了適配的應(yīng)用基礎(chǔ)。泓川科技 LTS 系列白光干涉測(cè)厚傳感器采用的核心測(cè)量原理，完美契合 UTG 的材質(zhì)與結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：400-700nm 寬波段的超高亮度彩色激光白光光源照射玻璃表面后，光在空氣 - 玻璃的上表面形成一次反射，同時(shí)部分光穿透玻璃，在玻璃 - 空氣（或玻璃 - 載體）的下表面形成二次反射，兩路反射光因光程差產(chǎn)生相位差，進(jìn)而形成與玻璃厚度嚴(yán)格對(duì)應(yīng)的干涉條紋，設(shè)備通過(guò)光譜分析解析條紋特征，即可計(jì)算出精準(zhǔn)的厚度值。

相較于傳統(tǒng)檢測(cè)技術(shù)，白光干涉測(cè)厚在 UTG 檢測(cè)中具備四大核心優(yōu)勢(shì)：一是非接觸測(cè)量，全程不接觸玻璃表面，從根源上消除破碎風(fēng)險(xiǎn)；二是適配透明材質(zhì)，利用玻璃的高透光特性形成雙界面反射，而非對(duì)抗這一特性，有效提升信號(hào)捕捉率；三是納米級(jí)高精度，實(shí)現(xiàn) 1nm 重復(fù)精度、±1μm 準(zhǔn)確度，滿足 UTG 亞微米級(jí)的公差要求；四是適配翹曲表面，可實(shí)現(xiàn)曲面無(wú)死角測(cè)量，不受玻璃輕微變形影響，且單點(diǎn)測(cè)量?jī)H需 0.1 秒，適配產(chǎn)線快速檢測(cè)需求。針對(duì)不同厚度的 UTG 產(chǎn)品，泓川 LTS 系列可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)量程匹配：LTS-50 量程 1~50μm，適配 30-50μm 的折疊屏核心區(qū) UTG；LTS-100 量程 2~100μm，適配 50-100μm 的非彎折區(qū) UTG。

三、產(chǎn)線落地：白光干涉測(cè)厚的方案設(shè)計(jì)與實(shí)施

結(jié)合 UTG 化學(xué)減薄（蝕刻）、物理研磨的工藝特點(diǎn)，白光干涉測(cè)厚技術(shù)可實(shí)現(xiàn)離線抽檢與在線監(jiān)控兩種工位設(shè)計(jì)，完全適配產(chǎn)線全流程檢測(cè)需求，且設(shè)備投入成本僅為進(jìn)口同類方案價(jià)格的一半左右。

方案 A：離線抽檢工位，配置 LTS-100 傳感器 + XYZ 掃描平臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)整板多點(diǎn)網(wǎng)格掃描，支持 49 點(diǎn) / 81 點(diǎn)兩種測(cè)量點(diǎn)分布，整板掃描耗時(shí)約 10 秒，能生成直觀的厚度 Mapping 圖，主要適用于首件工藝確認(rèn)、減薄工藝驗(yàn)證以及成品出貨檢驗(yàn)，從源頭把控產(chǎn)品厚度一致性。

方案 B：在線監(jiān)控工位，配置 LTS-100 傳感器 + 產(chǎn)線傳送帶 + 定點(diǎn)測(cè)量模組，選取玻璃中心點(diǎn) + 四角的 5 個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)位進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量，檢測(cè)效率與產(chǎn)線節(jié)拍匹配，5-8 秒 / 片，主要適用于化學(xué)減薄工藝的在線閉環(huán)控制，實(shí)時(shí)反饋減薄過(guò)程中的厚度變化。

為適配 UTG 的檢測(cè)需求，產(chǎn)線需設(shè)置針對(duì)性的工藝參數(shù)，具體如下：

標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)量流程為：將 UTG 玻璃放置于真空吸附平臺(tái)（有效防止玻璃翹曲）→傳感器根據(jù)預(yù)設(shè)路徑移動(dòng)至測(cè)量點(diǎn)位→白光干涉完成單點(diǎn)厚度測(cè)量（0.1 秒 / 點(diǎn)）→系統(tǒng)自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)并與標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)比，判定是否合格→生成整板厚度分布熱力圖→所有數(shù)據(jù)上傳 MES 系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)全流程質(zhì)量追溯。合格判定標(biāo)準(zhǔn)需貼合終端需求：目標(biāo)厚度根據(jù)產(chǎn)品規(guī)格設(shè)定（如 50μm），公差范圍控制在 ±3μm 內(nèi)，整片玻璃最大最小厚度差 < 5μm，考慮到邊緣減薄工藝的特殊性，邊緣 3mm 區(qū)域單獨(dú)進(jìn)行厚度判定。

四、實(shí)測(cè)效果：產(chǎn)線指標(biāo)的全方位提升

某 UTG 加工廠引入泓川 LTS 系列白光干涉測(cè)厚方案后，完成了從傳統(tǒng)接觸式測(cè)厚到非接觸高精度測(cè)厚的全面改造，產(chǎn)線檢測(cè)指標(biāo)實(shí)現(xiàn)質(zhì)的飛躍，具體改造前后對(duì)比見(jiàn)下表：

改造后產(chǎn)線的質(zhì)量核心指標(biāo)同步提升：UTG 厚度 CPK 值從 0.9 提升至 1.6，完全滿足批量生產(chǎn)的過(guò)程能力要求；因厚度偏差導(dǎo)致的客戶投訴率下降 90%；化學(xué)減薄工藝的整體良率從 85% 提升至 96%，減少了過(guò)減薄、減薄不足帶來(lái)的返工損耗；產(chǎn)線整體返工成本降低 80%，大幅提升了生產(chǎn)效益。

傳統(tǒng) UTG 檢測(cè)方法的行業(yè)局限也在此次改造中得到充分體現(xiàn)，具體如下：

五、工藝價(jià)值：推動(dòng) UTG 減薄工藝的精準(zhǔn)化升級(jí)

白光干涉測(cè)厚技術(shù)不僅解決了 UTG 檢測(cè)的行業(yè)痛點(diǎn)，更從數(shù)據(jù)層面為 UTG 減薄工藝的優(yōu)化提供了支撐，實(shí)現(xiàn)了檢測(cè) - 工藝 - 優(yōu)化的閉環(huán)，成為產(chǎn)線工藝升級(jí)的核心抓手。

在實(shí)時(shí)監(jiān)控反饋方面，在線工位的厚度數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)傳輸至減薄機(jī)控制系統(tǒng)，根據(jù)厚度變化自動(dòng)調(diào)整蝕刻時(shí)間、蝕刻液噴淋速率或物理研磨壓力，有效減少過(guò)減薄、減薄不足的問(wèn)題，讓減薄工藝從 “經(jīng)驗(yàn)控制” 轉(zhuǎn)向 “數(shù)據(jù)控制”。在工藝窗口優(yōu)化方面，通過(guò)厚度 Mapping 圖的熱力分布，可精準(zhǔn)分析整板厚度不均的原因，進(jìn)而優(yōu)化減薄液的濃度分布、研磨盤的壓力分布，提升整板厚度均勻性，解決 UTG 翹曲與厚度偏差的聯(lián)動(dòng)問(wèn)題。

在首件快速確認(rèn)方面，首件產(chǎn)品 10 秒即可完成全板 81 點(diǎn)掃描，快速驗(yàn)證新批次、新工藝參數(shù)的合理性，將首件調(diào)試時(shí)間縮短 80%，減少調(diào)試過(guò)程中的廢品產(chǎn)生。在數(shù)據(jù)追溯分析方面，每片 UTG 玻璃的厚度數(shù)據(jù)、檢測(cè)時(shí)間、操作人員等信息均完整保存于 MES 系統(tǒng)，支持產(chǎn)品批次的全流程質(zhì)量追溯，同時(shí)通過(guò)海量厚度數(shù)據(jù)的分析，可挖掘工藝參數(shù)與厚度偏差的關(guān)聯(lián)規(guī)律，為后續(xù)工藝改進(jìn)提供數(shù)據(jù)支撐。

六、行業(yè)延伸：UTG 檢測(cè)的技術(shù)拓展與未來(lái)趨勢(shì)

隨著折疊屏手機(jī)滲透率的持續(xù)提升，UTG 玻璃的應(yīng)用場(chǎng)景正從消費(fèi)電子向車載、工業(yè)、醫(yī)療等領(lǐng)域延伸，白光干涉測(cè)厚技術(shù)也隨之實(shí)現(xiàn)多場(chǎng)景適配，不同應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)需求與方案價(jià)值如下：折疊屏手機(jī)蓋板要求 30-50μm 厚度、±3μm 公差，白光干涉的高精度可確保玻璃折疊壽命與顯示效果；車載顯示曲面玻璃要求 50-100μm 厚度且支持曲面測(cè)量，技術(shù)的曲面適配性可保證車載玻璃的光學(xué)性能；柔性傳感器基材要求 20-50μm 厚度與高平整度，納米級(jí)精度可為精密電路制作提供基礎(chǔ)；醫(yī)療柔性器械對(duì)檢測(cè)的高精度與生物相容性有嚴(yán)苛要求，非接觸測(cè)量可避免玻璃污染，滿足醫(yī)療行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

從技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)來(lái)看，白光干涉測(cè)厚技術(shù)將圍繞 UTG 產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求持續(xù)升級(jí)：一是更薄玻璃測(cè)量，針對(duì)行業(yè)未來(lái) < 30μm 的 UTG 超薄化需求，通過(guò)優(yōu)化光源波段、提升信號(hào)解析算法，突破超薄膜層的測(cè)量瓶頸；二是在線 100% 全檢，采用多傳感器并行測(cè)量方案，與高速傳送帶深度集成，結(jié)合 AI 算法實(shí)現(xiàn)厚度缺陷的自動(dòng)識(shí)別，滿足大規(guī)模量產(chǎn)的檢測(cè)需求；三是智能化升級(jí)，實(shí)現(xiàn)厚度檢測(cè)數(shù)據(jù)與減薄工藝的深度閉環(huán)，結(jié)合 AI 預(yù)測(cè)性維護(hù)、數(shù)字孿生工藝仿真，讓 UTG 生產(chǎn)從 “過(guò)程檢測(cè)” 轉(zhuǎn)向 “預(yù)測(cè)性控制”。

市場(chǎng)層面，預(yù)計(jì) 2025 年全球 UTG 市場(chǎng)規(guī)模將超 50 億元，隨著 UTG 產(chǎn)品向更薄、更大、更柔方向發(fā)展，對(duì)高精度測(cè)厚設(shè)備的需求將同步快速增長(zhǎng)，白光干涉測(cè)厚技術(shù)憑借其非接觸、高精度、高適配性的核心優(yōu)勢(shì)，將成為 UTG 檢測(cè)領(lǐng)域的主流方案，推動(dòng)折疊屏產(chǎn)業(yè)鏈的精準(zhǔn)化、規(guī)?；l(fā)展。

行業(yè)討論問(wèn)題：在 UTG 向 20μm 以下超薄化、大尺寸化發(fā)展的過(guò)程中，白光干涉測(cè)厚技術(shù)應(yīng)如何優(yōu)化光源設(shè)計(jì)與信號(hào)處理算法，以同時(shí)滿足超薄膜層的測(cè)量精度與大尺寸整板的檢測(cè)效率要求？

審核編輯 黃宇