禪宗有看山看水的參禪三重境，講的是人對客觀事物的認(rèn)識由淺及深乃至徹底明悟的過程。今天就由中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀為大家?guī)黻P(guān)于超精密加工后的微結(jié)構(gòu)的探索與發(fā)現(xiàn)，帶領(lǐng)大家踏上一場“參禪三重境”的視覺之旅。

一重境：看山是山，看水是水。我們選取了一張經(jīng)由VCUT微刻刀加工過的塑料薄片，初看下面的這張塑料片，想必讀者一看再看，也無法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“這只是一張普通的塑料片”是各位讀者所能得到的初步認(rèn)識，此乃一重境。

二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辯，那么將這張普通的塑料片放到顯微鏡下一探究竟。一面布滿了點狀顆粒，另一面則被條狀溝槽所填滿，構(gòu)成了塑料片表面的微觀世界，但只知其平面外形卻不知其三維形態(tài)，知其一不知其二，可謂二重境。

三重境：看山仍是山，看水仍是水。為一窺真容，使用中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀對這張塑料片上下表面進(jìn)行掃描，點顆粒和溝槽輪廓一覽無余。

點顆粒是凸點，而溝槽則是弧形波，進(jìn)一步使用儀器的輪廓分析功能對凸點和弧形波進(jìn)行測量，得到它們的尺寸數(shù)據(jù)。

單個凸點截面直徑約42μm、高3.8um、夾角160°，分布周期97μm；單個弧形波高約1.6μm、寬約35μm，周期35μm。掌握了全部的輪廓數(shù)據(jù)，對這有著微結(jié)構(gòu)的塑料片，我們有了全面而精確的認(rèn)識，稱得上“看山還是山，看水還是水”。

超精密加工，是在傳統(tǒng)精密加工上的升級，代表著先進(jìn)制造業(yè)的發(fā)展方向，也代表著一個國家制造業(yè)的最高水準(zhǔn)，超精密的加工水準(zhǔn)必須匹配超高性能的檢測儀器，而以白光干涉為原理研制而成中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，就像一雙能夠明察秋毫的眼鏡，幫助我們在超精密加工的微觀世界里，具備“看山還是山，看水還是水”的本領(lǐng)。