隨著國(guó)內(nèi)大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，近兩年來(lái)不斷有晶圓制造、材料等重大項(xiàng)目密集上馬，唯獨(dú)設(shè)備業(yè)鮮有消息，不過(guò)近日傳來(lái)喜訊，中科九微半導(dǎo)體設(shè)備智能制造項(xiàng)目在四川南充啟動(dòng)。

11月19日，中科九微科技有限公司半導(dǎo)體設(shè)備智能制造項(xiàng)目舉行奠基儀式，宣布項(xiàng)目正式開(kāi)工。項(xiàng)目于今年9月在西博會(huì)上簽約，重點(diǎn)針對(duì)半導(dǎo)體裝備和核心部件的需求，打造一條集研發(fā)、設(shè)計(jì)、精密制造、營(yíng)銷(xiāo)和服務(wù)一體化的產(chǎn)業(yè)鏈。

該項(xiàng)目總投資28億元，占地約290畝，將研發(fā)、生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓片生長(zhǎng)設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備的核心部件和各種傳感器、控制電源等產(chǎn)品，并配建專家人才公寓、職工宿舍，預(yù)計(jì)2019年竣工投入使用，項(xiàng)目建成達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年銷(xiāo)售收入約50億元。

中科九微成立于今年9月7日，由九川科技集團(tuán)、中國(guó)科學(xué)院微電子所等共同設(shè)立，是中國(guó)科學(xué)院微電子所和九川科技集團(tuán)合作的重點(diǎn)項(xiàng)目，其中中國(guó)科學(xué)院微電子所占股20%。

九川科技集團(tuán)是一家以生產(chǎn)高低壓成套、輸配電設(shè)備、超高壓變壓器、機(jī)床電器、電工建筑電器、元器件、電線電纜和數(shù)控機(jī)床等為主的大型現(xiàn)代化制造業(yè)集團(tuán)企業(yè)，而中國(guó)科學(xué)院微電子所則為半導(dǎo)體業(yè)界所熟知。

中國(guó)科學(xué)院微電子所前身為成立于1958年的原中國(guó)科學(xué)院109廠，后與中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、計(jì)算技術(shù)研究所有關(guān)研制大規(guī)模集成電路部分合并，國(guó)內(nèi)微電子領(lǐng)域?qū)W科方向布局最完整的綜合研究與開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)、國(guó)家科技重大專項(xiàng)集成電路裝備及工藝前瞻性研發(fā)牽頭組織單位等。

多年來(lái)，中國(guó)科學(xué)院微電子所在設(shè)備研發(fā)領(lǐng)域積累了不少經(jīng)驗(yàn)和IP，為中國(guó)設(shè)備公司提供支持，2017年開(kāi)發(fā)了系列原子層沉積設(shè)備8個(gè)系列，推廣應(yīng)用到近50家科研機(jī)構(gòu)及企業(yè)。

九川科技集團(tuán)擁有設(shè)備制造基礎(chǔ)，如今與中國(guó)科學(xué)院微電子攜手合作，將有望推進(jìn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。