***不光是制造芯片用。一張平面(不論硅片還是什么材料)想刻出繁復(fù)的圖案,都可以用光刻——就像照相,圖像投在感光底片上,蝕掉一部分。半個多世紀(jì)前,美國人用這個原理“印刷”電路,從而有了大規(guī)模集成電路——芯片。為了節(jié)能和省硅料,芯片越做越小,逼得***越做越極端。線條細(xì)到一定程度,投影就模糊了。要清晰投影,線條粗細(xì)不能低于光波長的一半。頂尖***用波長13.5納米的極紫外光源,好刻10納米以下的線條。但穩(wěn)定的、大功率的極紫外光源很難造,一個得3000萬元人民幣。要求工作環(huán)境嚴(yán)苛,配合的光學(xué)和機(jī)械部件又極端精密,所以荷蘭的ASML公司獨家壟斷極紫外***,創(chuàng)造了“一臺賣一億美金”的神話。
一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。***,可以說是我國目前還需要進(jìn)行大力研發(fā)的核心科技之一。由于***涉及到的工藝過于復(fù)雜和高端,雖然我國一直在做出努力,但依然是很難與世界上的一流企業(yè)相比肩。***可以說得上是世界上最難以掌握的現(xiàn)代工業(yè)之一了,所以***也被稱為現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花。
***到底是什么首先我們來看看什么是***。***主要用于芯片的生產(chǎn),芯片在現(xiàn)代人生活中的作用恐怕沒有人不會不知道的。手機(jī)、電腦等等的電子設(shè)備,離開了芯片就是一堆破銅爛鐵,所以沒有了***,就制造不出芯片,沒有芯片,也就沒有手機(jī)和電腦。
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原文標(biāo)題:國產(chǎn)光刻機(jī)真的這么厲害嗎?這些光刻機(jī)知識您得知道
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