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半導體!美帝白慌了!國產(chǎn)光刻機還沒來!

xPRC_icunion ? 來源:工程師曾暄茗 ? 2018-12-22 09:56 ? 次閱讀
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歷史會記住2018年12月1日。

小編介紹過,這一天對于華為和中國的5G產(chǎn)業(yè)可能會產(chǎn)生深遠影響。

其實這一天,還發(fā)生了一件事,可能會在未來一年影響一個行業(yè)。

12月1日,世界最大***廠家荷蘭ASML(阿斯麥)的“最佳供應商”Prodrive(浦卓科技)著火了。

ASML向外公告,2019年年初的設(shè)備供應可能得延后。

按照計劃,ASML在明年初會向中國最大的芯片制造廠家中芯國際(00981.HK)供應一臺目前世界上最先進的EUV***。

這臺***是中芯國際2017年花了1.2億美元買的,要知道中芯國際2017年全年的凈利潤也不過1.2億美元。

中芯國際剛剛在14nm制程上取得了突破,如果EUV***順利進廠,不能說短期內(nèi)就上天了,但至少有助于提升良率。

偏偏這時候來一場火。

但愿不會影響到ASML對中芯國際的供貨。

Prodrive著火的事兒跟華為mwz被捕、張教授自殺都是在12月1日發(fā)生、12月3日被曝光。

有時候世界就是這么神奇。

而就在Prodrive著火的前兩天,也就是11月29日,中科院光電研究所研發(fā)的新式***通過驗收。

這一下刷屏了!

不明真相的群眾怒贊中國已經(jīng)擁有了世界超一流水準的***!

大躍進時期敲鑼打鼓的景象躍然紙上。

其實,中科院的這臺***距離制造芯片還有好幾個十萬八千里,我們要看到進步,但不宜妄自吹噓。

搞不好就是吹得太厲害,嚇尿了外國人,才放火去燒了ASML的供應商,間接限制我們。

這種無腦的報道,最終傷害的是國內(nèi)半導體從業(yè)者。

中微半導體的創(chuàng)始人尹志堯博士曾表態(tài):

“那些人不懂半導體,把產(chǎn)業(yè)上升到政治高度,夸大宣傳讓中微半導體非常被動?!?/p>

他們聳人聽聞地講尹博士回國,美國人慌了。

這讓中微很頭痛。

今天,不吹不黑,小編為大家梳理一番中國半導體設(shè)備領(lǐng)域的情況,是坑你別跳,是機會你別錯過。

1

根據(jù)SEMI(國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會)的數(shù)據(jù),2017年全球半導體設(shè)備銷售收入566.2億美元。

根據(jù)Gartner的數(shù)據(jù),2017年全球半導體行業(yè)收入4197億美元,也就是說半導體設(shè)備約占半導體總市場的13.5%。

(不同機構(gòu)給出的市場規(guī)模數(shù)據(jù)不一致,但相差一般不大,數(shù)據(jù)偏差不影響定性)

其中,中國半導體設(shè)備銷售收入為82.3億美元,約占全球市場的14.54%。

SEMI在12月12日,還給出了年終預測,預計2018年半導體設(shè)備全球銷售額達到620.9億美元,同比增長9.66%,中國半導體設(shè)備將達到128.2億美元,大漲55.77%。

上半年,中國內(nèi)地還超越***,成為僅次于韓國的第二大半導體設(shè)備市場。

小編注意到,在2018年7月初,SEMI做的年中預測認為2018年全球半導體設(shè)備市場為627.3億美元,中國市場為118.1億美元。

顯然,中國市場表現(xiàn)要優(yōu)于早先預期,而全球市場的表現(xiàn),則弱于早前預期。

對比過去幾年中國和其他地區(qū)半導體設(shè)備市場的表現(xiàn),可以發(fā)現(xiàn),中國市場多年來保持穩(wěn)步上升。

曾經(jīng)的半導體設(shè)備第一市場,中國***,這兩年表現(xiàn)不佳;目前的半導體設(shè)備第一市場,韓國,大起大落;其他地區(qū)與中國差距很大。

根據(jù)SEMI最新的數(shù)據(jù)統(tǒng)計,第三季度,中國暫時超過韓國成為全球第一大半導體設(shè)備市場,我們不確定年底花落誰家。

芯片的制造是一個極為復雜的工程,用的設(shè)備也非常多。

其中,芯片加工制造設(shè)備是大頭,2018年將達到502億美元,同比增長10.2%,占比80.85%;

接下來是測試設(shè)備,2018年將達到54億美元,同比增長15.6%,占比8.7%;

然后是封裝設(shè)備,2018年將達到40億美元,同比增長1.9%,占比6.44%;

最后是硅片加工制造、掩膜相關(guān)的設(shè)備以及其他設(shè)備,2018年將達到25億美元,同比增長0.9%,占比4.03%。

在芯片制造設(shè)備中,又主要分為***、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕機等幾類。

IC Insights預計2018年全球集成電路產(chǎn)業(yè)的資本開支將首次超過1000億美元,達到1020億美元,預計同比增長9.32%。

中國將達到110億美元,約占全球的10.78%,超過日本和歐洲之和。

SEMI數(shù)據(jù),過去兩年間全球新建了17座12寸晶圓廠,其中10 座位于大陸;2017年到2020 年,預計全球新增半導體生產(chǎn)線62 條,其中26條位于大陸,占比42%。

2

我們現(xiàn)在知道了,半導體設(shè)備是個很大的市場,中國的市場表現(xiàn)更是冠絕全球,那么中國公司的表現(xiàn)如何呢?

不咋地。

2016年,國內(nèi)前十大半導體設(shè)備企業(yè)總收入約47.57億人民幣,占國內(nèi)設(shè)備市場份額11.71%,占全球市場份額不到2%。

即便是國內(nèi)銷售規(guī)模最大的中電科電子裝備集團有限公司,2016年在國內(nèi)市場的占有率不過2.28%。

世界最大的半導體設(shè)備公司美國應用材料2017年的收入是145.37億美元,咱們國家所有半導體設(shè)備公司加起來不及它的零頭。

半導體設(shè)備在各個細分領(lǐng)域,前三家企業(yè)都幾乎占據(jù)90%以上的市場份額。

一家國內(nèi)企業(yè)能在國內(nèi)市場占有率達到0.5%就算很優(yōu)秀的企業(yè)了。

僅有的份額還大多集中在低端、國外巨頭玩剩下的領(lǐng)域,要么就是在泛集成電路領(lǐng)域,比如光伏、LED領(lǐng)域。

咱們的半導體跟人家比確實差。

2018年12月11-13日,上海張江邊上的上海新國際博覽中心剛剛舉辦完了首屆全球IC企業(yè)家大會暨第十六屆中國國際半導體博覽會。

會上,紫光集團的一位高管也很委婉地說我們在存儲芯片領(lǐng)域的國產(chǎn)化率比較低,有多低呢?

基本是零。

但是,關(guān)鍵來了,有差距才會有突破,也才會有更大的機會!

紫光32層的3D-閃存芯片不也突破了嗎!我們不也有自己的U盤和內(nèi)存條了嗎!

光腳的不怕穿鞋的,就是干!

我們在半導體設(shè)備的一些細分領(lǐng)域并非一無是處,現(xiàn)在就捋一捋重點企業(yè)。有些不是上市公司,但有助于我們理解行業(yè)概況。

3

一、中電科電子裝備集團有限公司

簡稱中電科電子裝備。這家公司的母公司是中國電子科技集團公司(簡稱中電科),是由中電科旗下的三家國家級研究所2所、45所、48所組成。

中電科是中國十大軍工集團之一,也是國內(nèi)唯一覆蓋電子信息技術(shù)全領(lǐng)域的大型科技集團。

他有家大名鼎鼎的孫公司,叫海康威視(002415)。

他旗下還有其他7家上市公司:

國??萍迹?00562)、杰賽科技(002544)、太極股份(002368)、衛(wèi)士通(002268)、四創(chuàng)電子(600990)、華東電腦(600850)、鳳凰光學(600071)。

2018年8月1日,美國商務部正式以國家安全和外交利益為由,將44家中國企業(yè)(8個實體和36個附屬機構(gòu))列入出口管制實體清單。

中電科旗下共有4家研究所和28家附屬機構(gòu)被美帝限制出口。

這足以說明他的牛逼。

中電科上了美帝黑名單,也間接給海康威視等股票帶來了利空。

也因為有這樣的母公司,中電科電子裝備表現(xiàn)很強悍,很長一段時間他是國內(nèi)半導體設(shè)備的扛把子,產(chǎn)品以全面著稱。

從前道的離子注入機、拋光設(shè)備、電化學沉積設(shè)備、***等產(chǎn)品,到后道的劃片機、減薄機、倒裝鍵合設(shè)備等產(chǎn)品都有。

它最關(guān)鍵的兩個設(shè)備是離子注入機和CMP(化學機械拋光機)。

離子注入機是芯片制造核心裝備之一,用于摻雜,形成PN結(jié)等芯片最基本單元。

中電科電子裝備的離子注入機已經(jīng)進入中芯國際的12英寸晶圓生產(chǎn)線,并且已經(jīng)在中芯國際的生產(chǎn)線上參與制造超過100萬片晶圓!

其離子注入機技術(shù)覆蓋90nm、65nm、45nm、28nm工藝節(jié)點,年產(chǎn)50臺,現(xiàn)在有超過10臺設(shè)備在中芯國際的生產(chǎn)線上開工。

CMP設(shè)備用于實現(xiàn)銅互連工藝,也是很重要的設(shè)備。

中電科電子裝備研發(fā)出了國內(nèi)首臺自主知識產(chǎn)權(quán)的8英寸CMP設(shè)備,目前進入中芯國際(天津)生產(chǎn)線考核驗證,12英寸CMP設(shè)備樣機進入聯(lián)調(diào)階段。

此外,中電科電子裝備還是國內(nèi)最大的濕法工藝設(shè)備供應商。

在后道的先進封裝領(lǐng)域,也取得了不錯的成績,減薄、劃片、倒裝、鍵合等設(shè)備國內(nèi)領(lǐng)先,在國際上也算先進。

可以提供整套的封裝設(shè)備,目前有2萬多臺(套)設(shè)備導入長電科技(600584)、通富微電(002156)、華天科技(002185)、晶方科技(603005)等國內(nèi)封測大廠。

二、北方華創(chuàng)(002371)

這是目前A股上的半導體設(shè)備龍頭,明星股,君臨也介紹過。

2001年,北京電控先后設(shè)立了七星電子和北方微電子兩家企業(yè)。

七星電子主營電子元器件、氧化/擴散爐、高溫爐等設(shè)備;北方微電子主要生產(chǎn)等離子體刻蝕、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)等設(shè)備。

2010年3月,七星電子上市;2016年8月,七星電子與北方微電子合并,并引進大基金(第三大股東);

后改名北方華創(chuàng),成為國內(nèi)最大的半導體設(shè)備公司。

2018年1月,北方華創(chuàng)收購美國清洗機公司公司Akrion,進一步增強實力。

北方華創(chuàng)的半導體設(shè)備業(yè)務主要集中在子公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司名下。

主要產(chǎn)品包括刻蝕機、PVD/CVD設(shè)備、氧化/擴散設(shè)備、清洗設(shè)備、氣體質(zhì)量流量計等。

這些設(shè)備除了應用在集成電路,在泛半導體領(lǐng)域的微機電系統(tǒng)、功率半導體、先進封裝、半導體照明、化合物半導體、新能源光伏、平板顯示等領(lǐng)域也可以用到。

北方華創(chuàng)最能代表自身實力的產(chǎn)品是等離子硅刻蝕機和PVD設(shè)備。

刻蝕機是芯片制造設(shè)備中僅次于***的第二重要設(shè)備。

光刻,用比較形象的描述就是把電路圖印在晶圓上,而刻蝕則是把***印好的圖案刻在晶圓上,是利用化學途徑選擇性地移除沉積層特定部分。

刻蝕主要分為介質(zhì)、多晶及金屬刻蝕等幾種。

目前比較流行的是介質(zhì)刻蝕,對應的介質(zhì)刻蝕機也更流行,占比超過50%,但不能說介質(zhì)刻蝕機就更先進,更多的是應用場景的差別。

北方華創(chuàng)研制的國內(nèi)首臺14nm的等離子硅刻蝕機和8英寸高密度等離子硅刻蝕機已進入中芯國際;55nm的硅刻蝕機成為目前國內(nèi)主要晶圓代工廠重點采購的產(chǎn)品,在該制程上是國內(nèi)第一大刻蝕機供應商。

28nm制程的Hardmask PVD,成為中芯國際Baseline設(shè)備,這是國產(chǎn)PVD設(shè)備的最高水平。

單片清洗機、立式氧化爐、28/40nm單片退火系統(tǒng)等設(shè)備也都批量進入中芯國際、華虹宏力、長江存儲等廠家。

而12英寸65/55nm清洗機也有超過100萬片的單機累計流片量。

北方華創(chuàng)微電子和中芯國際北京分公司緊挨著,兩家公司一個制造設(shè)備、一個提出需求、驗證設(shè)備、采購設(shè)備,共同促進,都處在高速發(fā)展中。

中國三大存儲芯片業(yè)務,長江存儲、合肥長鑫、福建晉華都是北方華創(chuàng)的客戶,雖然福建晉華很有可能就此夭折,但是剩余兩家其實規(guī)模更大,加上中芯國際、華虹宏力(01347.HK)等廠家,北方華創(chuàng)的市場還很廣闊。

今年上半年,北方華創(chuàng)的半導體設(shè)備收入增長37.78%,勢頭迅猛。

但是我們也要注意,目前北方華創(chuàng)和同為國家隊的中電科電子裝備一樣,更多的設(shè)備是應用在泛半導體領(lǐng)域,這類設(shè)備的科技含量要小于芯片設(shè)備。

另外,其電子元器件的利潤占比也很高,2017年更是主要依靠電子元器件才能盈利。

三、中微半導體

跟中電科電子裝備和北方華創(chuàng)相比,這家公司的規(guī)模和設(shè)備種類有所不及,但是論先進程度和國際知名度要超過前兩者。

中微半導體的創(chuàng)始人是尹志堯博士,連續(xù)三代海歸,曾在前文提到過的世界最大半導體設(shè)備廠家應用材料公司擔任副總裁,是“硅谷最有成就的華人”。

連中國半導體之父張汝京博士都自稱是尹博士的晚輩。

在回國前,尹博士問張博士:如果我回國做設(shè)備,你買不買?

張博士答:肯定買!

于是在2004年,在距離中芯國際總部7公里的地方,尹志堯帶著他的華人團隊,不帶任何一份國外文件,完全靠無比扎實的技術(shù)功底建立起了中微半導體。

中微半導體可謂國產(chǎn)半導體設(shè)備之光。

主打產(chǎn)品是刻蝕機和MOCVD設(shè)備,在介質(zhì)刻蝕機、硅通孔刻蝕機、MOCVD設(shè)備領(lǐng)域都是全球前三。

介質(zhì)刻蝕機已經(jīng)進入臺積電7nm、10nm量產(chǎn)線,中芯國際50%以上新增采購額也都給了中微半導體。

12月中旬的最新消息顯示,5nm刻蝕機已經(jīng)通過臺積電驗證,將進入臺積電的全球首條5nm生產(chǎn)線。

硅通孔刻蝕設(shè)備在我國TSV/CIS/MEMS刻蝕機市場市占率超過50%,MEMS刻蝕機還進入博世意法半導體。

中微半導體的刻蝕機已經(jīng)在全球不同廠家的25條芯片生產(chǎn)線上運作,累計生產(chǎn)4300多萬片晶圓,僅在臺積電7nm、10nm量產(chǎn)線就已經(jīng)累計生產(chǎn)2400萬片晶圓。

中微半導體還是MOCVD領(lǐng)域的世界第一梯隊廠家。MOCVD可以說是LED芯片領(lǐng)域的最重要設(shè)備。

中微的MOCVD設(shè)備在國內(nèi)藍光LED市場超越原本把持市場的德國Aixtron和美國Veeco,壟斷80%的份額。

三安光電(600703)、華燦光電(300323)都是其重要客戶。

在刻蝕機和MOCVD領(lǐng)域,中微半導體強行把中國拉升到了國際先進水平。

真大腿!

中微半導體出名以來,總有美帝的企業(yè)來告他侵權(quán),但中微半導體從!沒!有!輸!過!官!司!

在北方華創(chuàng)和中微半導體的努力下,國產(chǎn)刻蝕機的市場份額從零,到了現(xiàn)在的6%,如今已經(jīng)進入先進制程領(lǐng)域,不是沒有逆襲的可能。

當然,我們也得承認,設(shè)備是有了,但是很多零部件還是別人的。

如果美帝就是要限制關(guān)鍵零部件供應,中微半導體也扛不住。

四、長川科技(300604)

長川科技位于杭州,是國內(nèi)半導體測試設(shè)備唯一一家上市公司,其主打產(chǎn)品是測試機和分選機。

2008年,曾在杭州士蘭微(600460)工作10年、并擔任生產(chǎn)總監(jiān)的趙軼帶著一幫士蘭微的骨干創(chuàng)立了長川科技。

創(chuàng)立伊始,長川科技與老東家交惡,受到打壓,又遇到金融危機以及半導體產(chǎn)業(yè)的低潮,但仍堅強地活了下來。

后來,長川的產(chǎn)品進入長電科技、華天科技、通富微電、華潤微電子、日月光等封測大廠,這幾家公司的訂單常年占據(jù)長川科技80%左右的訂單。

長川科技今年有望超過2億的收入,但技術(shù)和規(guī)模跟國外的差距依舊很大,市場占有率也非常小。

不過作為國內(nèi)龍頭和稀缺標的,長川接連獲得了知名投資機構(gòu)硅谷天堂以及大基金的加持。

12月13日還發(fā)布公告,準備收購大基金、天堂硅谷以及上海裝備持有的長新投資90%的股份,后者的核心資產(chǎn)為新加坡集成電路封裝檢測設(shè)備制造公司STI。

STI的2D/3D高精度光學檢測技術(shù)(AOI)全球領(lǐng)先,它的AOI光學自動檢測設(shè)備是半導體領(lǐng)域重要的檢測工具和過程質(zhì)量控制工具。

客戶包括德州儀器、美光、意法半導體、三星、日月光、安靠等世界一流的半導體制造以及封測廠家。

長川科技和STI業(yè)務可以相互協(xié)同,客戶也有重疊。

今年前三季度,長川科技收入暴漲73.86%,增幅在半導體設(shè)備板塊第一,STI的業(yè)績總體還要優(yōu)于長川科技,未來這對組合的潛力非常大。

而一旦收購成功,大基金也將成為長川科技的第二大股東。

五、晶盛機電(300316)

晶盛機電位于浙江紹興,其主業(yè)是為太陽能行業(yè)生產(chǎn)晶體生長爐,同時生產(chǎn)半導體領(lǐng)域的單晶硅拉晶爐、單晶硅切斷機、滾磨機等設(shè)備。

長期以來,國內(nèi)大部分廠家只能生產(chǎn)太陽能單晶爐,在半導體單晶爐方面,只有個別廠商在6-8英寸實現(xiàn)了突破,晶盛機電是最早實現(xiàn)突破的。

2007 年4 月,晶盛機電研制出了國內(nèi)首臺全自動直拉式單晶硅生長爐,并賣給了有研新材(600206);

2008 年3 月,又研制出國內(nèi)規(guī)格最大的全自動直拉式單晶硅生長爐,同樣賣給了有研新材。

這兩次突破讓晶盛機電名聲大振。

晶盛機電和南京晶能是目前國內(nèi)唯二能生產(chǎn)12英寸單晶爐的廠家,但技術(shù)還欠火候。

兩家公司的設(shè)備都已經(jīng)進入上海新昇,可是效果非常差,幾乎是在拖上海新昇的后腿。

不過晶盛機電還留有后手,它和另一家國內(nèi)知名半導體材料企業(yè)中環(huán)股份(002129)合作了大硅片項目。

今年7月,晶盛機電中標了合作項目的設(shè)備采購。中標金額4.03億,其中單晶爐3.6億、切斷機與滾磨機0.42億。

這一筆訂單就相當于今年前三季度的21%。預計今年至少比去年收入提高40%。

這筆訂單也表明,晶盛機電和中環(huán)股份的大硅片項目有了進展。如果未來能夠和上海新昇一樣實現(xiàn)突破,對晶盛機電將是重大利好。

六、盛美半導體(ACMR .Nasdaq)

盛美半導體主營晶圓清洗設(shè)備,是中國唯一一家在美國上市的半導體設(shè)備公司,也是納斯達克15年來第一家上市的半導體設(shè)備公司。

盛美半導體的前身是1998年在硅谷成立的ACM Research,創(chuàng)始人是清華校友、美籍華人王暉博士。

2005年,盛美落戶于上海張江,與中芯國際、華虹宏力約3公里的距離。

后來獲得了上海創(chuàng)投、浦東科股、張江創(chuàng)投等官方資本的投資,成為一家中外合資公司。在盛美最艱難的時刻,正是這些官方資本幫它挺了過來。

清洗貫穿整個芯片加工的過程,是非常重要的步驟,如何保證清洗過程能去除小顆粒而不傷害電路是重點,也是難點。

盛美研發(fā)出了兆聲波清洗(SAPS)技術(shù)、和時序氣穴震蕩兆聲波清洗(TEBO)技術(shù)等多項技術(shù),達到國際先進水平。

他的第一個客戶是國際內(nèi)存大廠SK海力士,一鳴驚人。

盛美發(fā)展很快,但總體還是小公司。

日本廠商screen的全球市占率超過50%,盛美在國內(nèi)的市占率不過0.8%。

這類設(shè)備相對更新?lián)Q代較慢,往往一款設(shè)備可以使用10年,對于老設(shè)備的替換,一時半會很難。

所以盛美的主戰(zhàn)場在中國,中國將成為未來世界上新建生產(chǎn)線最多的國家。

目前盛美的產(chǎn)品已經(jīng)進入中芯國際、華虹宏力、長江存儲、上海集成電路研究中心、SK海力士、福建晉華等企業(yè)。

北方華創(chuàng)和至純科技(603690)也有清洗設(shè)備的業(yè)務,但這不是他們的主打產(chǎn)品,而且清洗設(shè)備的側(cè)重點和盛美也有不同。

當然,影響力也不及盛美。

盛美半導體專注于做單晶圓清洗設(shè)備,北方華創(chuàng)和至純科技類似,提供濕式工作平臺,主要產(chǎn)品為單晶圓清洗設(shè)備和自動清洗臺,應用于成膜前后、拋光、刻蝕等多個環(huán)節(jié)的清洗工藝中。

簡單點說,北方華創(chuàng)和至純科技的產(chǎn)品更全,盛美的產(chǎn)品更精、更先進。

今年10月,盛美在上海浦東川沙鎮(zhèn)新建了亞太研發(fā)中心,預計將每年增加產(chǎn)能17億元,總產(chǎn)能增至25億元。

盛美今年收入將達到7000萬美元左右,創(chuàng)成立以來的新高。

交易美股的君友可以保持關(guān)注。

七、上海微電子裝備(集團)股份有限公司

跟很多半導體公司一樣,上海微電子也坐落于張江,對面是日月光以及旗下的環(huán)旭電子(601231)。

上海微電子是被“吹噓”次數(shù)最多的公司之一。

上海微電子是為了***而生,也許是***太重要了,咱們中國人太希望能把這個東西做好了,所以總有人有意無意夸大上海微電子的技術(shù)實力。

***分前道***和后道***。

前道***就是我們平時說的用來刻電路圖的***,后道***用于封裝。

就關(guān)鍵的前道***而言,上海微電子目前能拿出的最先進的設(shè)備是90nm制程的機器,而且是應用于8英寸的晶圓。

技術(shù)需要一點點去迭代,從2002年創(chuàng)立至今16年了,上海微電子的前道***交出了如上的答卷。

我們無法預期國產(chǎn)的先進制程的***何時能夠到來。

上海微電子真正的主打產(chǎn)品是后道***,處在國內(nèi)領(lǐng)先地位,早已是長電科技、日月光、通富微電等封測廠的重要供應商。

4

除了以上公司,中國還有一些相對優(yōu)秀的公司,比如主營CMP(化學機械拋光)的天津華海清科、主營薄膜設(shè)備的沈陽拓荊、主營量測設(shè)備的上海睿勵等。

他們短期內(nèi)不可能抗衡巨頭,但是相比較于貧瘠的過去,已經(jīng)取得了進步。

目前在28nm的水平上,國內(nèi)市場的國產(chǎn)設(shè)備總覆蓋率約17%-18%,市場預計,如果能達到20%,那么未來三年將會分別帶來251億元、236億元和113億元的國產(chǎn)設(shè)備市場空間。

這足夠值得本土公司們?nèi)^斗了。


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原文標題:半導體!美帝白慌了!國產(chǎn)光刻機還沒來!

文章出處:【微信號:icunion,微信公眾號:半導體行業(yè)聯(lián)盟】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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