無人機(jī)和其他無人應(yīng)用需在惡劣環(huán)境中工作,為了滿足精密穩(wěn)定性和導(dǎo)航要求,能夠抑制振動(dòng)、衝擊和溫度漂移的高性能MEMS必不可少。
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