中圖儀器文章

• 3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理2022-04-13 14:32

  

  在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，因?yàn)楝F(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn)，以及單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量，只有以白光干涉技術(shù)為基礎(chǔ)的3D光學(xué)表面輪廓儀能實(shí)現(xiàn)超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量，提供更高精度的檢測需求。3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后

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• 光學(xué)3d表面輪廓儀是做什么2022-04-13 14:14

  

  各行業(yè)技術(shù)的快速更新?lián)Q代，對檢測儀器企業(yè)提出了更高的要求。其中光學(xué)3d表面輪廓儀是做什么的？光學(xué)3d表面輪廓儀是以白光干涉測量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)的，采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。中圖儀器SuperViewW1光

  白光干涉儀 2468瀏覽量

• 中圖儀器參與起草的《螺紋量規(guī)掃描測量儀校準(zhǔn)規(guī)范》正式發(fā)布2022-04-09 01:07

  

  由中國計(jì)量科學(xué)研究院和深圳中圖儀器等單位起草的《JJF1950-2021螺紋量規(guī)掃描測量儀校準(zhǔn)規(guī)范》發(fā)布，將于2022年6月28日正式實(shí)施。螺紋檢測問題是一直困擾世界機(jī)械工業(yè)的一大難題，是阻礙我國機(jī)械行業(yè)質(zhì)量提高的一大瓶頸。隨著中圖儀器SJ5200系列螺紋綜合測量機(jī)的推出，其采用接觸掃描式原理，接觸式螺紋檢測技術(shù)顛覆了傳統(tǒng)的螺紋檢測方法，其突破性、歷史性地解

  測量儀 1695瀏覽量

• 喜報(bào)|中圖儀器榮膺“深圳知名品牌”稱號！2022-04-09 01:05

  

  3月29日，第十九屆“深圳知名品牌”評審會(huì)議成功召開，會(huì)上公布了新一屆“深圳知名品牌”榜單。中圖儀器憑借強(qiáng)市場競爭力、高知名度、自主創(chuàng)新能力突出及良好的社會(huì)信用等優(yōu)勢，成功入選。本次評選，深圳知名品牌評價(jià)委員會(huì)對各申報(bào)品牌進(jìn)行了嚴(yán)格審查，經(jīng)過企業(yè)內(nèi)部管理體系現(xiàn)場評審、社會(huì)公眾投票、行業(yè)專家評價(jià)和品牌價(jià)值評估等環(huán)節(jié)，并由深圳市深圳公證處公證員全程公證，最終審核

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• 3D光學(xué)表面輪廓儀工作原理2022-04-08 15:54

  

  非接觸3d光學(xué)輪廓儀主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。工作原理光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。中圖儀器Su

  3D 3920瀏覽量

• 三維光學(xué)輪廓儀測粗糙度2022-04-08 15:42

  

  SuperViewW1系列三維光學(xué)輪廓儀測粗糙度采用經(jīng)國家計(jì)量檢測研究院校準(zhǔn)的臺階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對儀器的檢測精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測量精度要求為

  光學(xué)儀器 2145瀏覽量

• 光學(xué)3d表面輪廓儀是干嘛的2022-04-08 15:18

  

  白光干涉儀屬于精度高達(dá)到亞納米級別的檢測儀器，對使用的現(xiàn)場環(huán)境（地面振動(dòng)、空氣中聲波振動(dòng)）比較敏感，因此中圖的光學(xué)3d表面輪廓儀底下都是加了氣浮平臺進(jìn)行隔振的。光學(xué)3d表面輪廓儀是干嘛的？中圖儀器光學(xué)3d表面輪廓儀應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。為工件的微觀三維形貌和表面特征分析提供可靠依據(jù)，降低了勞動(dòng)

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• 光學(xué)表面輪廓儀優(yōu)勢2022-04-08 14:53

  

  3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中，3DAOI（自動(dòng)光學(xué)檢測）是對傳統(tǒng)精密加工上的升級，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)AOI由于2D成像原理上的一些缺陷，改進(jìn)設(shè)備性能以滿足各大電子廠對質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。拋開光學(xué)光學(xué)表面輪廓儀格實(shí)惠不說，基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperViewW1系列能以非接觸的方式，無損檢測精密機(jī)

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• 有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展2022-04-03 00:49

  

  有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測系統(tǒng)可對Wafer的關(guān)鍵尺寸進(jìn)行檢測，對套刻偏移量的測量，以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的測量，包括鐳射切割的槽寬、槽深等自動(dòng)測量。300*300mm真空吸附平臺，最大可支持12寸Wafer的自動(dòng)測量，配置掃描槍，可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線的全自動(dòng)化生產(chǎn)需求。一.系統(tǒng)的布局結(jié)構(gòu)1.上料/下料區(qū)：Robot自動(dòng)抓取Wafer至尋邊器平臺；2.定位

  監(jiān)測系統(tǒng) 2403瀏覽量

• 白光干涉儀自動(dòng)拼接測量功能的應(yīng)用場景2022-04-02 15:30

  

  場景一上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖，整體尺寸在7mm左右，中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點(diǎn)，而圓環(huán)外呈高反射率特點(diǎn)，整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。根據(jù)客戶精度要求，SuperViewW1白光干涉儀可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。場景二上圖是一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件，用于微小位移和

  測量 干涉儀 2159瀏覽量