伯東企業(yè)（上海）有限公司文章

• 美國(guó)KRi 離子源光通信應(yīng)用, 助力5G技術(shù)發(fā)展2023-08-07 14:08

  

  光通信的信息載體是光波, 為了進(jìn)一步提高光通信系統(tǒng)中光信號(hào)的傳輸質(zhì)量, 滿足光通信系統(tǒng)的使用要求,  上海伯東美國(guó) KRi 離子源通過離子束濺射, 輔助薄膜沉積等工藝在離子束鍍膜系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)光模塊, 光器件等薄膜元件的精密加工. 離子源典型應(yīng)用例如, 在光纖連接面鍍 AR 增透膜 (減反射膜), 達(dá)到減少光纖對(duì)光的損耗, 增加光的透過率, 減少反射的工藝效果.

  5G 光纖器 光通訊 離子源 通信 1447瀏覽量

• 美國(guó) KRi 考夫曼離子源應(yīng)用于雙腔室高真空等離子 ALD 系統(tǒng)2023-07-07 14:55

  

  上海伯東美國(guó) KRi 考夫曼離子源 KDC 40 應(yīng)用于雙腔室高真空等離子 ALD 系統(tǒng), 實(shí)現(xiàn)小規(guī)模試驗(yàn)中 2-4 英寸硅片等半導(dǎo)體襯底表面的清潔, 確保樣品表面清潔無污染, 滿足 TiN, ZnO, Al2O3, TiO2 等制備.

  離子源 系統(tǒng) 1570瀏覽量

• Aston™ 質(zhì)譜儀 ALD 工藝控制的原位計(jì)量2023-06-20 16:58

  

  上海伯東 Aston™ 質(zhì)譜分析儀是一款快速, 強(qiáng)大的化學(xué)特異性氣體質(zhì)譜儀, 提供 ALD 過程控制解決方案, 可在這些非等離子體（“lights-off”）過程中提供原位計(jì)量和控制. 它可以實(shí)現(xiàn)快速, 化學(xué)特定的原位定量氣體分析, 低至十億分之幾的水平, 提供 ALD 過程控制所需的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù).

  工藝控制 質(zhì)譜分析 1169瀏覽量

• Aston 質(zhì)譜儀對(duì)小開口區(qū)域的蝕刻有更高的靈敏度2023-06-20 16:49

  

  上海伯東日本 Aston™ 質(zhì)譜儀能夠進(jìn)行準(zhǔn)確且可操作的端點(diǎn)檢測(cè), OA% 是傳統(tǒng) OES 計(jì)量解決方案的一個(gè)數(shù)量級(jí)（1/10）. Aston™ 質(zhì)譜儀解決方案適用于具有高蝕刻吞吐量和大量重復(fù)相同步驟的工藝中的實(shí)時(shí) EPD. 這是通過高信噪比 SNR 實(shí)現(xiàn)的, 從而避免了 OES 設(shè)備中常見的模棱兩可和復(fù)雜的多變量分析算法.

  刻蝕 檢測(cè) 蝕刻 質(zhì)譜儀 1113瀏覽量

• Aston 過程質(zhì)譜應(yīng)用于 EUV 極紫外光源鹵化錫原位定量2023-06-20 16:21

  

  上海伯東日本 Atonarp Aston™ 過程質(zhì)譜分析儀通過快速, 可操作, 高靈敏度的分子診斷數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)了更佳的反射板鍍錫層清潔, 并且 Aston™ 過程質(zhì)譜的實(shí)時(shí)氫氣 H2 監(jiān)測(cè)也降低了每個(gè) EUV 工具的氫氣消耗

  EUV EUV光刻機(jī) 晶圓 1107瀏覽量

• Aston™ 質(zhì)譜分析儀保護(hù) CVD 工藝免受干泵故障的影響2023-06-20 16:17

  

  上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì), 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái), Aston™ 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷并在一系列應(yīng)用中提供更高的控制水平, 適用于光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配

  CVD 半導(dǎo)體 997瀏覽量

• Pfeiffer 渦輪分子泵創(chuàng)新專利 Laser Balancing™ 技術(shù)2023-06-02 13:23

  

  上海伯東德國(guó) Pfeiffer 的復(fù)合軸承轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡一直是其一項(xiàng)核心競(jìng)爭(zhēng)力, 憑借這種技術(shù), 我們可以提供振動(dòng)水平非常低的高尖端的渦輪分子泵. 現(xiàn)如今, 德國(guó) Pfeiffer 在真空技術(shù)領(lǐng)域又有了一項(xiàng)創(chuàng)新的技術(shù). 公司開發(fā)出了全新的 Laser Balancing 技術(shù)并獲得了專利.

  測(cè)試 激光 1182瀏覽量

• X 射線應(yīng)用中的真空系統(tǒng)2023-06-02 13:17

  

  由于各種 X 射線應(yīng)用中都需要低真空壓力, 因此對(duì)組成真空系統(tǒng)的分子泵, 前級(jí)泵均需要滿足低振動(dòng), 低能耗和高可靠性的要求.上海伯東德國(guó) Pfeiffer 提供渦輪分子泵和各種干式前級(jí)泵, 如隔膜泵, 多級(jí)羅茨泵或渦旋泵,

  系統(tǒng) 自動(dòng)化 1355瀏覽量

• Gel-Pak 膠膜在器件 QC 檢查中的應(yīng)用 (替代常用夾具)2023-05-26 11:39

  

  上海伯東美國(guó) Gel-Pak 公司生產(chǎn)的膠膜, 特別是 WF-A 膠膜可以在器件 QC 檢查等制程中將器件固定, 替代常用的夾具, 提高效率, 降低 QC 的成本.

  器件 芯片 1332瀏覽量

• 美國(guó) Gel-Pak 芯片包裝盒為 Chiplets 的運(yùn)輸安全性保駕護(hù)航2023-05-26 11:26

  

  上海伯東美國(guó) Gel-Pak 以 Vertec® 技術(shù)開發(fā)了新一代專利的 BTXF 芯片盒, 使用了一種非粘性的微紋理彈性體, 將其涂覆在 JEDEC 托盤上, 可以將 Chiplets 產(chǎn)品固定其上, Gel-Pak BTXF 芯片盒可以廣泛的應(yīng)用在 Chiplets 的內(nèi)部流轉(zhuǎn), 整體運(yùn)輸上.

  晶片 芯片 1747瀏覽量