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　　電路可靠性是系統(tǒng)或元器件在規(guī)定的條件下和規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，完成規(guī)定功能的能力，從集成電路的誕生開(kāi)始，可靠性的研究測(cè)試就成為IC設(shè)計(jì)、制程研究開(kāi)發(fā)和產(chǎn)品生產(chǎn)中的一個(gè)重要部分，制程可靠性評(píng)估采用特殊設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)對(duì)集成電路中制程相關(guān)的退化機(jī)理（WearoutMechanism）進(jìn)行測(cè)試評(píng)估。