改善光刻圖形垂直度的方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量

引言 在半導體制造與微納加工領域，光刻圖形的垂直度對器件的電學性能、集成密度以及可靠性有著重要影響。精準控制光刻圖形垂直度是保障先進制程工藝精度的關鍵。...

2025-06-30 標簽：測量白光干涉儀 772 0

優(yōu)可測白光干涉儀助力提升光模塊信息質量

光通信模塊的頭部企業(yè)，在制造過程中，會對產(chǎn)品做哪些維度的質量把控與數(shù)據(jù)檢測。

2025-04-30 標簽：表面粗糙度光模塊白光干涉儀 752 0

水平式光刻膠剝離工藝及白光干涉儀在光刻圖形的測量

引言 在半導體制造和微納加工領域，光刻膠剝離是光刻工藝的重要環(huán)節(jié)。水平式光刻膠剝離工藝憑借其獨特優(yōu)勢在工業(yè)生產(chǎn)中占據(jù)一席之地，而準確測量光刻圖形對保障工...

2025-06-04 標簽：光刻白光干涉儀 708 0

納米壓印制備硅基 OLED 微型顯示器的方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量

引言 硅基 OLED 微型顯示器憑借高分辨率、高對比度等優(yōu)勢，在虛擬現(xiàn)實、增強現(xiàn)實等領域應用廣泛。納米壓印技術為其制備提供了新方向，而精確測量光刻圖形是...

2025-05-26 標簽：OLED光刻白光干涉儀 688 0

白光干涉儀在太陽能電池片柵線高度 3D 輪廓測量中的應用解析

引言 太陽能電池片的柵線作為收集光生載流子的關鍵結構，其高度、線寬、截面輪廓等參數(shù)直接影響電池的導電性能和轉換效率。柵線通常為微米級金屬線條（如銀漿印刷...

2025-08-29 標簽：太陽能電池片白光干涉儀 646 0

避免寄生柵極效應和斜紋 Mura 的光刻膠剝離裝置及白光干涉儀在光刻圖形的測量

引言 在半導體和顯示面板制造過程中，光刻膠剝離環(huán)節(jié)若處理不當，易引發(fā)寄生柵極效應和斜紋 Mura 問題，嚴重影響產(chǎn)品性能和顯示質量。同時，光刻圖形的精確...

2025-06-19 標簽：干涉白光干涉儀白光干涉 600 0

白光干涉儀在晶圓深腐蝕溝槽的 3D 輪廓測量

摘要：本文研究白光干涉儀在晶圓深腐蝕溝槽 3D 輪廓測量中的應用，分析其工作原理及適配深腐蝕溝槽特征的技術優(yōu)勢，通過實際案例驗證測量精度，為晶圓深腐蝕工...

2025-10-30 標簽：晶圓測量白光干涉儀 494 0

白光干涉儀在肖特基二極管晶圓的深溝槽 3D 輪廓測量

摘要：本文研究白光干涉儀在肖特基二極管晶圓深溝槽 3D 輪廓測量中的應用，分析其工作原理及適配深溝槽結構的技術優(yōu)勢，通過實際案例驗證其測量精度，為肖特基...

2025-10-20 標簽：晶圓肖特基二極管輪廓測量 479 0

人工視網(wǎng)膜晶體的表面粗糙度測量-3D白光干涉儀應用

1 、引言 人工視網(wǎng)膜晶體作為治療視網(wǎng)膜病變的關鍵植入式醫(yī)療器械，其表面粗糙度直接影響生物相容性、光學成像質量及長期植入安全性。表面過于粗糙易引發(fā)眼部組...

2026-01-26 標簽：半導體白光干涉儀 113 0