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標(biāo)簽 > 等離子體
等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團(tuán)被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，尺度大于德拜長(zhǎng)度的宏觀電中性電離氣體，其運(yùn)動(dòng)主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出顯著的集體行為。它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。
等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子團(tuán)被電離后產(chǎn)生的正負(fù)離子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，尺度大于德拜長(zhǎng)度的宏觀電中性電離氣體，其運(yùn)動(dòng)主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出顯著的集體行為。它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體，利用經(jīng)過(guò)巧妙設(shè)計(jì)的磁場(chǎng)可以捕捉、移動(dòng)和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料、能源、信息、環(huán)境空間、空間物理、地球物理等科學(xué)的進(jìn)一步發(fā)展提供了新的技術(shù)和工藝。
等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)第四態(tài)。物質(zhì)由分子構(gòu)成，分子由原子構(gòu)成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。當(dāng)被加熱到足夠高的溫度或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，就像下課后的學(xué)生跑到操場(chǎng)上隨意玩耍一樣。電子離開(kāi)原子核，這個(gè)過(guò)程就叫做“電離”。這時(shí)，物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的、一團(tuán)均勻的“漿糊”，因此人們戲稱它為離子漿，這些離子漿中正負(fù)電荷總量相等，因此它是近似電中性的，所以就叫等離子體。
遠(yuǎn)程等離子體刻蝕技術(shù)通過(guò)非接觸式能量傳遞實(shí)現(xiàn)材料加工，其中熱輔助離子束刻蝕（TAIBE）作為前沿技術(shù)，尤其適用于碳氟化合物（FC）材料（如聚四氟乙烯PT...
在5納米以下的芯片制程中，晶體管柵極介質(zhì)層的厚度已縮至1納米以下（約5個(gè)原子層）。此時(shí)，傳統(tǒng)二氧化硅（SiO?）如同漏水的薄紗，電子隧穿導(dǎo)致的漏電功耗可...
隨著集成電路特征尺寸的縮小，工藝窗口變小，可靠性成為更難兼顧的因素，設(shè)計(jì)上的改善對(duì)于優(yōu)化可靠性至關(guān)重要。本文介紹了等離子刻蝕對(duì)高能量電子和空穴注入柵氧化...
干法刻蝕的概念、碳硅反應(yīng)離子刻蝕以及ICP的應(yīng)用
碳化硅（SiC）作為一種高性能材料，在大功率器件、高溫器件和發(fā)光二極管等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。其中，基于等離子體的干法蝕刻在SiC的圖案化及電子器件制造中...
等離子體刻蝕和濕法刻蝕是集成電路制造過(guò)程中常用的兩種刻蝕方法，雖然它們都可以用來(lái)去除晶圓表面的材料，但它們的原理、過(guò)程、優(yōu)缺點(diǎn)及適用范圍都有很大的不同。...
等離子體，英文名稱plasma，是物質(zhì)的第四態(tài)，其他三態(tài)有固態(tài)，液態(tài)，氣態(tài)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域一般是氣體被電離后的狀態(tài)，又被稱為‘電漿’，具有帶電性和流動(dòng)性的特點(diǎn)。
等離子體蝕刻機(jī)需要與濕法蝕刻相同的元素：化學(xué)蝕刻劑和能量源。從物理上講，等離子體蝕刻機(jī)由室、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)、終點(diǎn)檢測(cè)器和電源組成（如下圖所示）。晶圓...
激光誘導(dǎo)擊穿光譜(英語(yǔ):Laser-induced breakdown spectroscopy，LIBS) 技術(shù)，通過(guò)超短脈沖激光聚焦樣品表面形成等離...
實(shí)驗(yàn)名稱：等離子體壓力傳感器及其在動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量中的應(yīng)用研究方向：壓力傳感器測(cè)試目的：如何準(zhǔn)確測(cè)量高超沖壓發(fā)動(dòng)機(jī)隔離段和航空發(fā)動(dòng)機(jī)壓氣機(jī)部件的內(nèi)部流場(chǎng)是提...
ICP-RIE全稱是電感耦合等離子體刻蝕機(jī)，是半導(dǎo)體芯片微納加工過(guò)程中必不可少的設(shè)備，可加工微米級(jí)納米級(jí)的微型圖案。
類別：電源技術(shù) 2021-09-29 標(biāo)簽：電源設(shè)計(jì)等離子體位移
類別：電力論文網(wǎng) 2018-01-02 標(biāo)簽：等離子體
石墨烯陣列中的增強(qiáng)吸收研究新進(jìn)展立即下載
類別：射頻無(wú)線論文 2017-11-08 標(biāo)簽：等離子體石墨烯陣列
小孔效應(yīng)及等離子體對(duì)鋁合金激光焊接的影響介紹立即下載
類別：工控技術(shù) 2017-09-28 標(biāo)簽：等離子體小孔效應(yīng)
類別：模擬數(shù)字論文 2015-12-21 標(biāo)簽：等離子體電壓電流
中達(dá)瑞和定制內(nèi)推式高光譜相機(jī)助力等離子體運(yùn)動(dòng)軌跡監(jiān)測(cè)
等離子體作為物質(zhì)的第四態(tài)，在核聚變、材料加工、半導(dǎo)體制造等前沿科技與工業(yè)領(lǐng)域中扮演著關(guān)鍵角色。如何精準(zhǔn)、實(shí)時(shí)地監(jiān)測(cè)其運(yùn)動(dòng)軌跡與物理狀態(tài)，一直是科研與工程...
射頻電源：高科技領(lǐng)域的能量基石 在當(dāng)今高科技產(chǎn)業(yè)的精密制造殿堂中，有一種設(shè)備雖深藏功與名，卻扮演著無(wú)可替代的“能量基石”角色。從我們手中智能手機(jī)的芯片...
2026-01-05 標(biāo)簽：等離子體半導(dǎo)體制造射頻電源 663 0
SPS-5T-2000℃型智能型放電等離子體燒結(jié)爐
SPS-5T-2000是一款溫度可達(dá)2000℃、壓力最高5T的智能放電等離子體熱壓燒結(jié)系統(tǒng)（Spark Plasma Sintering），其原理是利用...
使用簡(jiǎn)儀科技產(chǎn)品的等離子體診斷高速采集系統(tǒng)解決方案
在核聚變能源成為全球能源轉(zhuǎn)型重要方向的今天，托卡馬克等核聚變研究裝置的穩(wěn)定運(yùn)行與技術(shù)突破，離不開(kāi)對(duì)等離子體狀態(tài)的精準(zhǔn)把控。等離子體診斷作為解析等離子體物...
你是否想象過(guò)，有一種特殊的“火焰”，它并不灼熱，卻能瞬間讓材料表面煥然一新；它不產(chǎn)生煙霧，卻能精密地雕刻納米級(jí)的芯片電路？這種神奇的“火焰”，就是今天我...
傾佳先進(jìn)等離子體電源系統(tǒng)：市場(chǎng)動(dòng)態(tài)、拓?fù)溲葸M(jìn)與碳化硅器件的變革性影響
傾佳先進(jìn)等離子體電源系統(tǒng)：市場(chǎng)動(dòng)態(tài)、拓?fù)溲葸M(jìn)與碳化硅器件的變革性影響 傾佳電子（Changer Tech）是一家專注于功率半導(dǎo)體和新能源汽車連接器的分銷...
2025-10-09 標(biāo)簽：等離子體電源系統(tǒng)碳化硅 1.1k 0
中微公司ICP雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕機(jī)Primo Twin-Star取得新突破
近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”，股票代碼“688012.SH”）宣布通過(guò)不斷提升反應(yīng)臺(tái)之間氣體控制的精度， ICP雙反應(yīng)...
等離子體（Plasma）是一種電離氣體，通過(guò)向氣體提供足夠的能量，使電子從原子或分子中掙脫束縛、釋放出來(lái)，成為自由電子而獲得，通常含有自由和隨機(jī)移動(dòng)的帶...
2025-01-20 標(biāo)簽：等離子體 1.0萬(wàn) 0
射頻等離子體（RF等離子體）是在氣流中通過(guò)外部施加的射頻場(chǎng)形成的。當(dāng)氣體中的原子被電離時(shí)（即電子在高能條件下與原子核分離時(shí)），就會(huì)產(chǎn)生等離子體。這種電離...
等離子體電光調(diào)制器研究與應(yīng)用文獻(xiàn)
昊量光電新推出基于表面等離子體激元（SPP）和硅光子集成技術(shù)的高速等離子體電光調(diào)制器，高帶寬可達(dá)145GHz，可被廣泛用于通信，量子，測(cè)試測(cè)量等領(lǐng)域，不...
2024-12-20 標(biāo)簽：等離子體電光調(diào)制器 1.3k 0
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