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　　鍍膜機是一種用于材料科學領域的工藝試驗儀器，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。