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MEMS技術(shù)是一種制造技術(shù)，MEMS技術(shù)把電子和機械特性結(jié)合了起來，可以同時執(zhí)行物理、化學、生物等方面的功能，因為它能同時發(fā)生化學反應(yīng)和電作用。它實質(zhì)上是終極的片上系統(tǒng)，是科學和技術(shù)的終極融合，而且生物也可以與之兼容。