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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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超聲基因轉(zhuǎn)移比其他細胞轉(zhuǎn)移技術(shù)更有優(yōu)勢,因為超聲不直接作用于細胞,而是通過聲孔效應(yīng)將細胞周圍的基因片段推入細胞。據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,一支由中國廣西大...
總之,決定使用哪種材料不僅取決于成本,還主要取決于每種應(yīng)用所需的特定屬性。然而,在評估材料時,還應(yīng)考慮制造的預(yù)期產(chǎn)量和生產(chǎn)規(guī)模選項,因為它們會影響設(shè)計、...
導(dǎo)語:傳感器發(fā)展到今天,小型化、智能化、集成化,已經(jīng)是升級換代的必由之路。今天,我們來為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品——--MEMS傳感器。 ...
10kHz MEMS加速度計適合狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用
狀態(tài)監(jiān)控(CbM)是一種預(yù)測性維護方式,其利用各種傳感器來評估設(shè)備隨時間的運行狀態(tài)。收集的傳感器數(shù)據(jù)用于建立基線趨勢,從而幫助診斷甚至預(yù)測故障。與傳統(tǒng)的...
如何通過應(yīng)力和應(yīng)變管理實現(xiàn)高精度傾斜/角度檢測性能
本文探討采用加速度計的高精度角度/傾斜檢測系統(tǒng)的性能指標。我們首先從微觀角度分析傳感器設(shè)計,以便更好地了解微米級別應(yīng)力和應(yīng)變的影響。分析表明,如果不遵循...
傳感器性能如何實現(xiàn)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案
下面重點介紹幾種常見故障類型及其特征,以深入了解開發(fā)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案時必須考慮的一些關(guān)鍵系統(tǒng)要求。這些包括但不限于不平衡、不對中、齒輪故障和滾動軸承缺陷。
為了獲得高分辨率數(shù)據(jù),可靠地識別小目標,激光必須準直地擊中目標,這是通過在激光器前面放置一個透鏡來實現(xiàn)的。
智能模塊和/或 SiP 集成是關(guān)鍵,將允許大規(guī)模部署連接的設(shè)備。為此,價值鏈中不同參與者之間的早期合作以及簡化的供應(yīng)鏈非常重要。系統(tǒng)集成商必須開發(fā)并...
我們曾在之前發(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風技術(shù)與設(shè)計》中指出, MEMS麥克風的需求是由客戶所要求的音頻功能驅(qū)動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
如何推導(dǎo)電容式MEMS加速度計中使用的傳遞函數(shù)
在本文中,我們將了解如何推導(dǎo)電容式 MEMS 加速度計中使用的質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
在環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療診斷和工業(yè)產(chǎn)品制造等領(lǐng)域,能夠?qū)Χ喾N分析物進行選擇性檢測的高性能氣體/化學傳感器是近些年研究關(guān)注的熱點。
振動監(jiān)測 (VM) 已經(jīng)問世很長一段時間,并且已被用于監(jiān)測機器、設(shè)備或結(jié)構(gòu)的健康狀況。在機器運行過程中,可以利用專用傳感器收集其振動數(shù)據(jù)以對其進行實時監(jiān)...
中山大學電子與信息技術(shù)學院林佑昇副教授團隊近日在Electronics期刊上發(fā)表了一篇綜述文章,研究并評估了利用靜電驅(qū)動(ESA)、電熱驅(qū)動(ETA)、...
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