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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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DLP670RE數(shù)字微鏡器件(DMD)技術(shù)解析與應(yīng)用指南
Texas Instruments DLP670RE數(shù)字微鏡設(shè)備(DMD)是一種數(shù)控微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)空間光調(diào)制器(SLM),能夠?qū)崿F(xiàn)明亮、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠...
三軸沖擊加速度傳感器462系列:精準(zhǔn)捕捉極端環(huán)境下的動(dòng)態(tài)沖擊--森瑟科技
在工業(yè)測(cè)試、運(yùn)動(dòng)學(xué)研究和爆炸沖擊監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域,對(duì)高g值沖擊加速度的精確測(cè)量至關(guān)重要。Senther推出的462系列三軸沖擊加速度傳感器,憑借其卓越的性能和...
2025-09-22 標(biāo)簽:mems監(jiān)測(cè)加速度傳感器 1.3k 0
ADIS16260 ADIS16265可編程低功耗陀螺儀技術(shù)手冊(cè)
ADIS16260和ADIS16265可編程數(shù)字陀螺儀在單個(gè)緊湊型封裝內(nèi)集成了業(yè)界領(lǐng)先的MEMS和信號(hào)處理技術(shù),具有同類(lèi)MEMS陀螺儀需要全動(dòng)校準(zhǔn)才能達(dá)...
紐迪瑞首次公開(kāi)發(fā)布NMP系列MEMS數(shù)字氣壓傳感器
NMP系列數(shù)字氣壓傳感器,基于MEMS技術(shù),通過(guò)蝕刻在硅片上的高精密半導(dǎo)體電阻組成惠斯通電橋以作為機(jī)電變換測(cè)量電路,可用于微小壓力檢測(cè)。
基于MEMS技術(shù)的機(jī)器健康解決方案 全面催動(dòng)全球走向工業(yè) 4.0
全球工業(yè)正迎來(lái)新一輪變革。無(wú)論是德國(guó)提出的“工業(yè)4.0”,美國(guó)的“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)”,還是中國(guó)的“中國(guó)制造2025”,三者本質(zhì)上都指向一個(gè)核心——智能制造。
MEMS模型由系統(tǒng)和IC 設(shè)計(jì)師使用,因此模型應(yīng)當(dāng)盡可能緊密地集成到用戶(hù)的設(shè)計(jì)流程。對(duì)于IC 設(shè)計(jì)師,這需要模型支持所有模擬器,具有設(shè)計(jì)流程中的各種實(shí)體...
2013-01-24 標(biāo)簽:轉(zhuǎn)換器MEMS 1.2k 0
如何通過(guò)應(yīng)力和應(yīng)變管理實(shí)現(xiàn)高精度傾斜/角度檢測(cè)性能
本文探討采用加速度計(jì)的高精度角度/傾斜檢測(cè)系統(tǒng)的性能指標(biāo)。我們首先從微觀角度分析傳感器設(shè)計(jì),以便更好地了解微米級(jí)別應(yīng)力和應(yīng)變的影響。分析表明,如果不遵循...
高壓功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測(cè)試靜電激勵(lì)技術(shù)中的應(yīng)用
MEMS測(cè)試技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的重要組成部分之一,微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試對(duì)MEMS器件的性能及其設(shè)計(jì)、仿真、制造、以及質(zhì)量控制和評(píng)價(jià)等方面均具有重要的意...
國(guó)產(chǎn)替代:W-TRS-5.5Dx紅外溫度傳感器在電陶爐行業(yè)創(chuàng)新應(yīng)用
電陶爐行業(yè),正迎來(lái)一場(chǎng)由紅外測(cè)溫傳感器驅(qū)動(dòng)的技術(shù)革新。作為國(guó)內(nèi)前沿的MEMS傳感器研發(fā)企業(yè),領(lǐng)麥微通過(guò)自主研發(fā)的高精度紅外測(cè)溫傳感器,不僅推動(dòng)了電陶爐行...
艾邁斯半導(dǎo)體推出了一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的氣體傳感器模塊
據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,全球領(lǐng)先的高性能傳感器解決方案供應(yīng)商艾邁斯半導(dǎo)體(ams)宣布推出新版iAQ-Core模塊,這是一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的蒸汽、氣味和煙...
2019-06-28 標(biāo)簽:mems氣體傳感器艾邁斯半導(dǎo)體 1.2k 0
ST應(yīng)用于鳥(niǎo)類(lèi)追蹤系統(tǒng)的先進(jìn)MEMS傳感技術(shù)
意法半導(dǎo)體與阿姆斯特丹(UvA)大學(xué)理工學(xué)院攜手宣布,該大學(xué)研發(fā)的先進(jìn)鳥(niǎo)類(lèi)追蹤系統(tǒng)采用了意法半導(dǎo)體的先進(jìn)MEMS傳感技術(shù)。
隨著移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,MEMS微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了重大發(fā)展機(jī)遇。在致力于防患未然的汽車(chē)主動(dòng)安全領(lǐng)域,ESC(車(chē)身穩(wěn)定系統(tǒng))、ABS(防抱...
ADGM1004帶集成驅(qū)動(dòng)器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)手冊(cè)
ADGM1004是一款寬帶、單刀四擲(SP4T)開(kāi)關(guān),采用ADI公司的微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)技術(shù)制造而成。利用該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小型、寬RF帶寬、高線(xiàn)性...
2025-05-15 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)memsSP4T 1.2k 0
智能傳感器這一概念是由國(guó)外引進(jìn)的,通常定義為“帶有微處理器,具有信息處理功能的傳感器”,傳感器很大程度上能讓物體慢慢變得活了起來(lái)。筆者獲悉,隨著物聯(lián)網(wǎng)技...
2015-08-17 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng)智能傳感器 1.2k 0
寬視場(chǎng)角MEMS超聲波傳感器在雙足機(jī)器人避障系統(tǒng)中的關(guān)鍵作用
通過(guò)持續(xù)優(yōu)化傳感器融合架構(gòu),雙足機(jī)器人的環(huán)境適應(yīng)性將進(jìn)一步提升,為災(zāi)難救援、社會(huì)服務(wù)等場(chǎng)景提供可靠技術(shù)支持。
2025-08-25 標(biāo)簽:mems超聲波傳感器避障系統(tǒng) 1.2k 0
電子工程師年輕創(chuàng)新者在“音樂(lè)的音符”中實(shí)現(xiàn)靈魂跳動(dòng)
在伯克利學(xué)習(xí)微機(jī)電系統(tǒng)工程博士學(xué)位期間,Ernest不僅專(zhuān)注于學(xué)業(yè),開(kāi)始專(zhuān)注于射頻MEMS。他在黎明時(shí)分在MEMS實(shí)驗(yàn)室開(kāi)始他的一天,經(jīng)常整天待在實(shí)驗(yàn)室...
LIS2DU12超低功耗加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)和產(chǎn)品介紹
STMicroelectronicsLIS2DU12超低功耗加速度計(jì)是一款線(xiàn)性3軸加速度計(jì),具有高級(jí)數(shù)字功能。 STMicroelectronics L...
低功耗應(yīng)用的MEMS加速儀傳感器功能,如何將之利用在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上
低功耗可利用MEMS加速計(jì)(Accelerometer)傳感器來(lái)增加電池壽命。傳感器變得越來(lái)越省電,所嵌入的各種功能也有助于減少整體系統(tǒng)能耗。舉例來(lái)說(shuō),...
2018-05-21 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體低功耗 1.2k 0
量子傳感器具有許多經(jīng)典傳感器所不具有的性質(zhì) ,設(shè)計(jì)量子傳感器時(shí) ,在重點(diǎn)考慮將量子領(lǐng)域不可直接測(cè)量量變換成可測(cè)量量外 ,還應(yīng)從非破壞性 、實(shí)時(shí)性 、靈敏...
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