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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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盤點(diǎn)全球MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈
MEMS 按產(chǎn)品線劃分占主導(dǎo)低位的依然是慣性傳感器和微流量傳感器,占比都為24%左右,其次是壓力傳感器,占比為13%,光學(xué)傳感器和噴墨頭,占比都為10%左右。
淺析MEMS電導(dǎo)型氣敏傳感器的設(shè)計(jì)與工藝
目前,氣體傳感器的應(yīng)用日趨廣泛,在物聯(lián)網(wǎng)等泛在應(yīng)用的推動(dòng)下,其技術(shù)發(fā)展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發(fā)展。
設(shè)計(jì):小型超寬帶共面波導(dǎo)(CPW)饋電的MEMS單極子柔性天線
摘要: 設(shè)計(jì)了一種小型超寬帶共面波導(dǎo)(CPW)饋電的MEMS單極子柔性天線,具有結(jié)構(gòu)簡單、質(zhì)輕、易集成、可柔性彎曲的特點(diǎn)。該天線采用了具有高柔彈性和良好...
“IC與MEMS的集成與融合,是傳感技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必由之路,特別是高檔傳感器、智能傳感器?!?中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)傳感器分會(huì)名譽(yù)理事長、沈陽儀表科學(xué)院原...
2018-11-28 標(biāo)簽:溫度傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 2k 0
MEMS傳感器將迎來新的浪潮,MEMS傳感器有何特點(diǎn)?
例如傳統(tǒng)的光纖陀螺儀,由上圖可見,體積雖然越來越小,但對于放入一些電子產(chǎn)品而言是不可能完成的。而且為了保證性能,這樣一個(gè)陀螺儀的產(chǎn)量之低和價(jià)格之高也是可想而知。
2021-09-01 標(biāo)簽:傳感器MEMS工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 9.1k 0
意法半導(dǎo)體MEMS壓電絕對氣壓傳感器LPS22HH
意法半導(dǎo)體LPS22HH MEMS壓電絕對氣壓傳感器的精確度和穩(wěn)定性俱佳,設(shè)備制造商在焊接后無需執(zhí)行單點(diǎn)校準(zhǔn)(OPC)工序,從而提高產(chǎn)量和效率。
2018-11-28 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 9.6k 0
盤點(diǎn)10個(gè)全固態(tài)激光雷達(dá)設(shè)計(jì)公司
Quanergy的LiDAR傳感器在六大關(guān)鍵商業(yè)化指標(biāo)(成本、性能、可靠性、尺寸、重量和功率效率)上均處于領(lǐng)先地位,同時(shí)滿足利用固態(tài)技術(shù)進(jìn)行大規(guī)模部署所...
Bourns新推出微機(jī)電系統(tǒng)環(huán)境傳感器
美國柏恩Bourns全球知名電子組件領(lǐng)導(dǎo)制造供貨商,近日推出了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)環(huán)境傳感器,Bourns精密傳感器(BPS)系列提供的產(chǎn)品分別為三個(gè)...
清華大學(xué)尤政院士在論壇致詞中講到中國制造需要實(shí)現(xiàn)自主可控,“中興事件”后,國家發(fā)現(xiàn)我們大部分芯片都不能實(shí)現(xiàn)自主可控,對于我們MEMS人來說肩上的擔(dān)子很重。
河南省智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟成立,為鄭州建設(shè)提供技術(shù)和動(dòng)力支撐
河南省智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟由鄭州大學(xué)、漢威科技集團(tuán)股份有限公司等國內(nèi)知名高校、科研院所及傳感器行業(yè)相關(guān)企業(yè)發(fā)起成立。鄭州大學(xué)校長劉炯天院士說,成立河南省智...
首次在MEMS器件中嵌入AI技術(shù),為邊緣計(jì)算創(chuàng)造機(jī)會(huì)
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,加拿大魁北克Universite de Sherbrooke(舍布魯克大學(xué))的研究人員已經(jīng)成功地在MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件中設(shè)計(jì)了一...
2018-11-18 標(biāo)簽:mems神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)ai 1.9k 0
Microchip新推小尺寸MEMS時(shí)鐘發(fā)生器
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,Microchip推出了業(yè)界尺寸最小的MEMS時(shí)鐘發(fā)生器DSC613。這款新器件可在電路板上最多替換掉三個(gè)晶振和振蕩器,從而減少高達(dá)8...
意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計(jì),可以在超低功耗和高分辨率之間動(dòng)態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預(yù)算內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度測量。
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,Si-Ware宣布開始規(guī)模量產(chǎn)全球最小的高精度光譜傳感器,可用于分析幾乎所有材料的樣品。
意法半導(dǎo)體推出超低功耗和高分辨率可互換的IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計(jì)
2018年11月12日 - 意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計(jì),可以在超低功耗和高分辨率之間動(dòng)態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預(yù)算內(nèi)實(shí)現(xiàn)高...
2018-11-13 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體加速度計(jì) 7.4k 0
毫無疑問,汽車產(chǎn)業(yè)正在朝著自動(dòng)駕駛方向發(fā)展,而高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)駕駛發(fā)展的重要前提。到2020年,美國和歐盟出售的所有新車都必須配備...
Vesper應(yīng)該繼續(xù)專注于將壓電MEMS麥克風(fēng)推向市場
如果將薄膜厚度減半,就可以將薄膜面積和芯片尺寸縮小一半。雖然目前我們正在使用物理氣相沉積(physical vapor deposition,PVD)來...
美國最大的純MEMS代工廠IMT宣布完成由Cerium Technology領(lǐng)導(dǎo)的股權(quán)融資
此次融資將用于增加公司標(biāo)準(zhǔn)工藝平臺的研發(fā)投入,升級現(xiàn)有設(shè)備,并完成IMT新的8英寸(200mm)晶圓生產(chǎn)線的建設(shè)?!拔覀兛吹绞袌鰧鈱W(xué)、無線、物聯(lián)網(wǎng)和醫(yī)...
2018-11-07 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng) 5.5k 0
SiTime面向5G基礎(chǔ)設(shè)施推出Emerald平臺
11月5日,MEMS 時(shí)序領(lǐng)域的領(lǐng)先提供商 SiTime公司宣布推出革命性的高精度時(shí)序解決方案——Emerald平臺,解決5G基礎(chǔ)設(shè)施設(shè)備的關(guān)鍵時(shí)序挑戰(zhàn)...
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