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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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RoboSense攜MEMS固態(tài)激光雷達(dá)M1亮相CES
2019年1月4日,CES 2019創(chuàng)新獎(jiǎng)得主自動駕駛激光雷達(dá)感知系統(tǒng)提供商 RoboSense 宣布將在 CES 2019上公開演示全面升級后的 ME...
本文研究的MEMS加速度計(jì)為壓阻式硅微加速度計(jì),量程為10 gn,其結(jié)構(gòu)如圖1所示。MEMS加速度計(jì)是由懸臂梁和質(zhì)量塊以及布置在梁上的壓阻組成,呈雙端四梁結(jié)構(gòu)。
MEMS流量傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu) 檢測原理解析
這種傳感器芯片采用使用熱線的質(zhì)量流量檢測方式。其芯片中央具有加熱器,上游側(cè)的熱電堆 (A)及下游側(cè)熱電堆 (B)配置在加熱器的 兩側(cè),熱電堆附近配置有基...
中芯集成電路制造(紹興)項(xiàng)目舉行開工奠基儀式,浙江省紹興市委書記馬衛(wèi)光、市委副書記、市長盛閱春、中芯國際聯(lián)合首席執(zhí)行官趙海軍博士、首席財(cái)務(wù)官高永崗博士、...
ADI公司推出新型 ADXL35x MEMS加速度計(jì)系列
傳感器正成為工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施應(yīng)用的核心,應(yīng)用依賴MEMS進(jìn)行狀態(tài)監(jiān)控和結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測。
首個(gè)由活細(xì)胞驅(qū)動的MEMS微芯片閥門,不需要任何外部電源
日本理化學(xué)研究所(RIKEN)生物系統(tǒng)動力學(xué)研究中心(BDR)的科學(xué)家利用能持續(xù)提供數(shù)分鐘高收縮力的蚯蚓肌肉組織,開發(fā)出了第一個(gè)由活細(xì)胞驅(qū)動的MEMS微...
疫情后時(shí)代,中國MEMS如何破局?(50+院士專家分享)
? MEMS領(lǐng)域開年第一會——第四屆中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會即將于2023年3月1-3日,蘇州國際博覽中心拉開帷幕,集會、展、賽、獎(jiǎng)...
為什么我國的MEMS行業(yè)這么落后?原因是很多的,當(dāng)然,首先第一條就是我們比別人發(fā)展的晚,ADI從1987年開始MEMS的研發(fā),1991年開始MEMS傳感...
在MEMS市場產(chǎn)品結(jié)構(gòu)中,壓力傳感器在移動互聯(lián)網(wǎng)、汽車電子和醫(yī)療電子產(chǎn)量繼續(xù)領(lǐng)跑,細(xì)分產(chǎn)品市場份額居前列。2019年,射頻MEMS由于在中國發(fā)展逐漸成熟...
《第31期“見微知著”培訓(xùn)課程:壓電MEMS與傳感器》在無錫市新吳區(qū)圓滿舉辦!
壓電材料特性,簡單來講是“電能與機(jī)械能的相互轉(zhuǎn)換”。深究起來,其中的學(xué)問非常深奧:材料形態(tài)(塊型、薄膜型)、材料種類、摻雜類型、制備工藝、集成方法……從...
向高端類IMU應(yīng)用邁步—國產(chǎn)IMU技術(shù)應(yīng)用分析
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/李寧遠(yuǎn))上一期中挑選了國外三家知名的IMU廠商的主流IMU產(chǎn)品進(jìn)行盤點(diǎn)分析。可以看到,國外主流的IMU廠商都在精度和低耗上下足了功...
弗勞恩霍夫硅技術(shù)研究院半導(dǎo)體技術(shù)專家Bernhard Wagner對于MEMS揚(yáng)聲器的生產(chǎn)制造看到了重要的發(fā)展機(jī)遇:“未來我們將采用能效更高且與IC工藝...
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機(jī)械和機(jī)電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運(yùn)動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具...
MEMS和物聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用:智慧農(nóng)業(yè)MEMS技術(shù)
智慧農(nóng)業(yè)MEMS技術(shù)真是農(nóng)場主的“神算子”嗎? 農(nóng)業(yè)應(yīng)用所需的測量和傳感大部分依靠微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。MEMS將機(jī)械結(jié)構(gòu)與電子相結(jié)合,制造出智慧農(nóng)業(yè)...
2018-05-20 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 6.5k 0
TI推出單芯片無源紅外線(IR)MEMS溫度傳感器 TMP006
德州儀器 (TI) 宣布推出業(yè)界首款單芯片無源紅外線 (IR) MEMS 溫度傳感器,首次為便攜式消費(fèi)類電子產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)非接觸溫度測量功能
中國未來20年,是物聯(lián)網(wǎng),人工智能和智能制造規(guī)?;l(fā)展的時(shí)代。無論是哪個(gè)領(lǐng)域,傳感器作為感知層,都會發(fā)揮不可替代的作用。當(dāng)傳感器達(dá)到一定數(shù)量規(guī)模的時(shí)候,...
2018-04-17 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)人工智能 6.5k 0
萊寶高科第8.5代新型半導(dǎo)體顯示器件項(xiàng)目落戶武漢光谷
總投資115億元,萊寶高科第8.5代新型半導(dǎo)體顯示器件項(xiàng)目落戶武漢光谷 該項(xiàng)目擬采用 IPS TFT(平面內(nèi)轉(zhuǎn)換薄膜晶體管)、氧化物半導(dǎo)體TFT技術(shù)等顯...
中芯紹興項(xiàng)目計(jì)劃今年1月進(jìn)入量產(chǎn)階段 將打造成為世界一流的特色工藝半導(dǎo)體代工企業(yè)
近日,紹興市領(lǐng)導(dǎo)到中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試項(xiàng)目進(jìn)行了調(diào)研。據(jù)紹興發(fā)布報(bào)道,中芯紹興項(xiàng)目計(jì)劃今年1月進(jìn)入量產(chǎn)階段。
總結(jié)射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀
摘要:射頻濾波器是當(dāng)前5G通訊建設(shè)所需的核心器件,而壓電晶體則是制造射頻濾波器的基礎(chǔ)材料。本文就當(dāng)前射頻濾波器所用的壓電材料的技術(shù)現(xiàn)狀進(jìn)行了描述,對當(dāng)前...
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