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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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意法半導體推出基于MEMS加速度計的高精度IIS2ICLX傾角儀
在結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測中,使用IIS2ICLX準確測量傾斜度和振動可以幫助評估結(jié)構(gòu)的完整性,例如高層建筑和橋梁或隧道等基礎(chǔ)設(shè)施。
2020年值得關(guān)注的20家初創(chuàng)公司
8power由劍橋大學微系統(tǒng)技術(shù)教授Ashwin Seshia等人于2015年1月共同創(chuàng)立,致力于基于參量共振的振動能量收集技術(shù)(通過MEMS技術(shù)收集)的應(yīng)用。
將微電子技術(shù)與精密機械技術(shù)結(jié)合發(fā)展出來的工程技術(shù)
相比傳統(tǒng)的機械傳感器與致動器,MEMS 具有微型化、重量低、功耗低、成本低、多功能等競爭優(yōu)勢,可通過微納加工工藝進行批量制造、封裝、測試,因而 MEMS...
國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)狀是怎樣的?這些MEMS企業(yè)實力幾何?
MEMS被認為是21世紀最有前途的技術(shù)之一,如果半導體微制造被視為第一次微制造革命,MEMS則是第二次革命。通過結(jié)合硅基微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù),ME...
2020-08-25 標簽:mems微機電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈 6.7k 0
現(xiàn)在市場上有各種氣體傳感器,被廣泛應(yīng)用于民用、工業(yè)環(huán)境監(jiān)測和日常生活中。具體來說,當前氣體傳感器市場增長的關(guān)鍵原因主要有以下幾個:一是由于醫(yī)療設(shè)施對強化...
2020-08-24 標簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 782 0
國內(nèi)MEMS傳感器正加緊技術(shù)研發(fā)升級
而MEMS國產(chǎn)代工龍頭——賽微電子通過內(nèi)生發(fā)展及外延并購,以MEMS傳感器為戰(zhàn)略性業(yè)務(wù)進行聚焦發(fā)展。日前,賽微電子公開表示:“北京MEMS產(chǎn)線基地廠房建...
2020-08-24 標簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 666 0
TCL布局半導體領(lǐng)域,加大投入支持中環(huán)邁向全球領(lǐng)先
中環(huán)股份主要從事光伏硅片與半導體硅片的研發(fā)與生產(chǎn),而硅材料是半導體產(chǎn)業(yè)最為基礎(chǔ)的材料,從產(chǎn)業(yè)鏈來看其位于整個電子產(chǎn)業(yè)的最上游。
三菱電機推出新的LiDAR解決方案,有助于實現(xiàn)安全的自動駕駛
據(jù)悉,新的LiDAR解決方案通過激光照射物體,并使用雙軸(水平和垂直)MEMS鏡來掃描反射光,從而生成車輛和行人的三維圖像。三菱電機希望這種緊湊、性價比...
蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司成功登陸科創(chuàng)板
截至2019年12月31日,敏芯股份共擁有境內(nèi)外發(fā)明專利38項、實用新型專利19項,正在申請的境內(nèi)外發(fā)明專利32項、實用新型專利24項。公司依靠核心技術(shù)...
2020-08-17 標簽:mems核心技術(shù)科創(chuàng)板 4.2k 0
該項目于去年12月宣布,聯(lián)邦理工學院的科學家們利用了被稱為結(jié)構(gòu)色的方法。研究小組指出,它創(chuàng)造顏色的方式與變色龍相似,即利用其皮膚的結(jié)構(gòu)來散射特定波長的光。
傳感器(英文名稱:transducer/sensor)是一種檢測裝置,能感受到被測量的信息,并能將感受到的信息,按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的...
IHS MEMS及傳感器業(yè)務(wù)總監(jiān)Jérémie Bouchaud指出,在今后5到10年內(nèi),智能手機以及平板電腦仍然是MEMS主要應(yīng)用領(lǐng)域。今后MEMS的...
隨著高端汽車與智能汽車的普及,以及無人駕駛技術(shù)的推進,超聲波傳感器、圖像傳感器、激光雷達傳感器、微波傳感器、紅外傳感器等也都被采用。汽車傳感器已經(jīng)成為M...
近日,揚州大學機械工程學院副教授梁峰帶領(lǐng)的科研團隊對“MEMS陀螺儀的動力學特性”進行了深入分析,研究發(fā)現(xiàn)采用壓電薄膜,可大大提高陀螺儀的靈敏度。
具有懸浮結(jié)構(gòu)的MEMS器件表面微加工方法
近年來,微機電(MEMS)開關(guān)因其高線性度、低插損、低能耗、高開關(guān)比以及可集成性等優(yōu)異性能獲得了廣泛關(guān)注。MEMS開關(guān)可以被應(yīng)用于自動化測試設(shè)備、寬帶儀...
隨著微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷成熟,以及電子學系統(tǒng)發(fā)展對器件小型化的要求,作為MEMS技術(shù)的重要分支,MEMS加速度計已成為慣性器件小型化的主...
MEMS器件和集成電路(IC)芯片是通過類似的過程制造的。兩者都始于基礎(chǔ)襯底晶圓(通常是硅或玻璃),然后通過后續(xù)步驟進行構(gòu)建和雕刻。
2020-08-11 標簽:傳感器技術(shù)mems 2.8k 0
博世入局碳化硅 博世致力于研發(fā)符合車規(guī)級的碳化硅產(chǎn)品
博世集團是世界先進的技術(shù)及服務(wù)供應(yīng)商。從MEMS技術(shù)問世開始,博世始終處于MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)的前沿位置。如今,博世已成為全球的MEMS傳感器的頭...
AlN射頻濾波器推進了壓電MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展
減少極板之間的距離也會提高性能,但這就產(chǎn)生了另一個一直困擾靜電MEMS問題——靜摩擦。如果極板太近,他們會粘住,可能永遠不會產(chǎn)生分開。靜電能量轉(zhuǎn)換的物理...
為了提高汽車設(shè)計的安全性,村田(Murata)近期發(fā)布了其最新6軸一體封裝、3D MEMS慣性力傳感器“SCHA600系列”,慣性傳感器將其數(shù)據(jù)與GNS...
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