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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)控制驅(qū)動討論立即下載
2012-10-08 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 937 0
基于微加速度傳感器的無線鼠標(biāo)設(shè)計立即下載
2013-03-06 標(biāo)簽:MEMS無線鼠標(biāo)加速度傳感器 927 1
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2017-09-14 標(biāo)簽:MEMS簧片開關(guān) 907 0
基于超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的應(yīng)用設(shè)計立即下載
2017-09-14 標(biāo)簽:MEMS 900 0
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