1.2金相顯微原理

　　金相顯微鏡是通過(guò)觀(guān)察不透明物體的反射光來(lái)表征物體的表面特征，不同結(jié)構(gòu)和性能的顯微鏡存在較大差異，其中有以Nomarski式差動(dòng)干涉反襯顯微鏡為代表的高級(jí)型金相顯微鏡。其關(guān)鍵部件是用于分離光束的棱鏡，經(jīng)棱鏡分離后，光束變成極化向互相垂直，中心不重合的兩束光;由此而引入相差，最后經(jīng)檢偏器后發(fā)生干涉。干涉圖樣能夠反映試樣的表面是否平整;且不同材料組成的區(qū)域，即使有相同的高度和坡度但由于它們對(duì)入射波的延遲作用不同，也會(huì)產(chǎn)生附加襯度［5］。

　　1.3圖象數(shù)據(jù)采集

　　將觀(guān)察到的缺陷圖形通過(guò)與顯微鏡相連的計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)采集卡讀入計(jì)算機(jī)，就可以完成晶體缺陷的在線(xiàn)測(cè)量，從而大大提高材料檢測(cè)的效率。

　　2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析

　　2.1不同腐蝕條件下顯示的各種缺陷的比較

　　在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中我們拍攝到一些典型的缺陷圖片，主要包括各種形狀的位錯(cuò)，層錯(cuò)及微缺陷等。對(duì)于位錯(cuò)來(lái)說(shuō)，不同晶面上的位錯(cuò)坑的形態(tài)不一樣，例如：位錯(cuò)腐蝕坑的形狀在硅單晶《111》晶面呈正三角形腐蝕坑，（100》晶面上呈正方形，《110》晶面上是矩形（較難顯示）。下面兩幅圖很好的說(shuō)明了這一點(diǎn)：