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訂購EUV光刻機受阻? 中芯國際和ASML回應(yīng)了

jf_1689824270.4192 ? 來源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:jf_1689824270.4192 ? 2019-11-08 01:24 ? 次閱讀
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針對近幾日多家媒體報道的有關(guān)ASML公司對中芯國際訂購的EUV光刻機設(shè)備有意延遲的推測。二家公司今日均發(fā)表內(nèi)容回應(yīng)。

ASML回應(yīng)如下:

關(guān)于日經(jīng)新聞(NIKKEI)昨日報導(dǎo),其標(biāo)題和內(nèi)容呈現(xiàn)造成誤導(dǎo),本公司在此提出澄清。

我司不對任何客戶做comment。對于日經(jīng)新聞報道的關(guān)于交貨時程僅為其媒體推測,ASML從未評論或確認(rèn),因此,“延遲出貨”僅為媒體推測。對其將推測直接定性為事實作為新聞標(biāo)題并在文中闡述,表示抗議。

ASML一向在遵守相關(guān)國際法規(guī)的前提下一視同仁地服務(wù)全球客戶。根據(jù)瓦圣納協(xié)議,ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經(jīng)于到期前重新進行申請,目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此,關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的,ASML系遵循法規(guī)行事。

中芯國際也表示:

EUV還在紙面工作階段,未進行相關(guān)活動。公司先進工藝研發(fā)進展順利。目前,研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常??蛻襞c設(shè)備導(dǎo)入正常運作。

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