據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》近日?qǐng)?bào)道，國(guó)產(chǎn)晶圓代工龍頭中芯國(guó)際和國(guó)產(chǎn)存儲(chǔ)大廠長(zhǎng)江存儲(chǔ)近期都制定了雄心勃勃的計(jì)劃，加緊測(cè)試自主研發(fā)生產(chǎn)線中的非美設(shè)備。

報(bào)道稱，中芯國(guó)際計(jì)劃今年年底之前準(zhǔn)備建設(shè)不含美國(guó)設(shè)備的40nm芯片生產(chǎn)線，并計(jì)劃在三年內(nèi)在相同的基礎(chǔ)上研發(fā)更先進(jìn)的28nm制程產(chǎn)線。

而一條40nm的不含美系半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)線，雖然只能生產(chǎn)40nm的芯片，與臺(tái)積電已量產(chǎn)的5nm芯片差距巨大，但是也確實(shí)可以滿足不少對(duì)于工藝制程要求不高的芯片的需求，比如CMOS芯片、驅(qū)動(dòng)IC以及一些服務(wù)器芯片、安防芯片、工業(yè)芯片等。

此外，該報(bào)道還表示，長(zhǎng)江存儲(chǔ)也準(zhǔn)備將國(guó)內(nèi)設(shè)備替代率從30%提高到70%。

對(duì)此消息，長(zhǎng)江存儲(chǔ)方面很快做出回應(yīng)稱，沒有設(shè)定國(guó)產(chǎn)設(shè)備比重目標(biāo)。

而中芯國(guó)際尚未就此進(jìn)行回應(yīng)。

高懸的“達(dá)摩克利斯之劍”

自去年美國(guó)針對(duì)華為的持續(xù)打壓以來，美國(guó)的制裁手段也是持續(xù)升級(jí)，從最初的“實(shí)體清單”，到“禁止使用美國(guó)設(shè)備為華為代工芯片”，再到“封堵華為采購(gòu)含有美國(guó)技術(shù)的第三方芯片的路徑”。美國(guó)的步步緊逼，已經(jīng)將華為逼入絕境。與此同時(shí)，臺(tái)積電、中芯國(guó)際等晶圓代工廠也不得不遵循禁令，從9月15日開始停止為華為代工芯片。

在此背景之下，也推動(dòng)了國(guó)內(nèi)關(guān)于組建不含美系半導(dǎo)體設(shè)備的芯片產(chǎn)線的呼聲。這也引發(fā)了美國(guó)對(duì)于中芯國(guó)際的關(guān)注。不久前，業(yè)界就傳出消息稱，美國(guó)正考慮將中芯國(guó)際列入“黑名單”。受此消息影響，中芯國(guó)際A/H股股價(jià)大跌。

隨后，中芯國(guó)際發(fā)布聲明稱，“公司嚴(yán)格遵守相關(guān)國(guó)家和地區(qū)的法律法規(guī)，并在此基礎(chǔ)上一直合法依規(guī)經(jīng)營(yíng)。且與多個(gè)美國(guó)及國(guó)際知名的半導(dǎo)體設(shè)備供貨商，建立多年良好的合作關(guān)系。美國(guó)商務(wù)部多年來針對(duì)中芯國(guó)際進(jìn)口采購(gòu)的設(shè)備，也已經(jīng)核發(fā)多件重要的出口許可。”“中芯國(guó)際愿以誠(chéng)懇、開放、透明的態(tài)度，與美國(guó)各相關(guān)政府部門溝通交流，以化解可能的歧見和誤解?！?/p>

雖然，到目前為止這個(gè)傳聞仍然還是停留于傳聞階段，但是，只要美國(guó)并未正式宣布制裁，或主動(dòng)出來辟謠，那么這就是一個(gè)短時(shí)間內(nèi)難以證偽的傳聞。這也將成為高懸在中芯國(guó)際頭上的“達(dá)摩克利斯之劍”。這也將使得中芯國(guó)際此后將不得不更加小心翼翼，以免美國(guó)的制裁真的落下。

同樣，對(duì)于長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等一些成功打破國(guó)外壟斷的國(guó)產(chǎn)芯片廠商來說，在中美科技戰(zhàn)大背景之下，也不得格外低調(diào)，以免引發(fā)來自美方的關(guān)注。

在此背景之下，日媒熱炒長(zhǎng)江存儲(chǔ)要將其產(chǎn)線上的國(guó)內(nèi)設(shè)備替代率從30%提高到70%，以及中芯國(guó)際要建不含美系設(shè)備的40nm產(chǎn)線，顯然是不懷好意！

去美化產(chǎn)線≠完全不受美國(guó)制約

當(dāng)然，在美國(guó)絞殺華為的各種極端手段展露之后，不管美國(guó)對(duì)于其他國(guó)產(chǎn)芯片廠商的制裁是否真的會(huì)落下，國(guó)產(chǎn)芯片廠商也必然需要考慮“應(yīng)對(duì)之策”。

不過，目前中芯國(guó)際應(yīng)該是不會(huì)貿(mào)然建設(shè)去美化產(chǎn)線，以免觸怒美國(guó)，從而引發(fā)真的制裁。這一點(diǎn)，從中芯國(guó)際之前的聲明當(dāng)中，我們就能夠看出中芯國(guó)際的“惶恐”。

當(dāng)然，秘密做一些前期的準(zhǔn)備，以應(yīng)對(duì)未來“制裁”風(fēng)險(xiǎn)，也確實(shí)是必須要做的。

但是，看過芯智訊此前的一系列關(guān)于“去美化產(chǎn)線”報(bào)道的朋友應(yīng)該都知道，中芯國(guó)際即使想要建設(shè)出一條相對(duì)落后的40nm工藝的不含美系設(shè)備的產(chǎn)線，也并不容易。

要知道半導(dǎo)體制造需要七大類的生產(chǎn)設(shè)備，包括：擴(kuò)散爐、***、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、薄膜沉積設(shè)備（包括PECVD、LPCVD、ALD等）、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、清洗機(jī)等。

如果細(xì)分來看，再加上其他相關(guān)的測(cè)試設(shè)備，整個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)可能要用到幾十種不同類型的設(shè)備。只要其中一種設(shè)備無法實(shí)現(xiàn)去美化，那么打造去美化的產(chǎn)線就無法實(shí)現(xiàn)。

雖然目前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商在刻蝕機(jī)、PVD、CVD、清洗機(jī)、氧化/退火設(shè)備等方面，已經(jīng)可以進(jìn)行一些***（主要還是集中在28nm及以上制程），但與國(guó)外仍有一定差距，即使是打造一條全國(guó)產(chǎn)化的40nm的半導(dǎo)體生產(chǎn)線也是有著不小的難度。而且這些國(guó)產(chǎn)設(shè)備當(dāng)中的關(guān)鍵零部件也需要做到去美化。

顯然，這一點(diǎn)光靠國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商可能是難以做到的，大概率還是需要日本和歐洲半導(dǎo)體設(shè)備廠商的幫助。

野村證券（Nomura Research）分析師唐尼·滕（Donnie Teng）認(rèn)為，有關(guān)中芯國(guó)際的28nm制程的芯片生產(chǎn)，中國(guó)本土設(shè)備目前只能滿足需求的20%。中芯國(guó)際還需要日本、韓國(guó)和歐洲的設(shè)備供應(yīng)商的協(xié)助，建立一條非美國(guó)的生產(chǎn)線。

另外根據(jù)VLSI Research的數(shù)據(jù)顯示，在2019年前十五大半導(dǎo)體設(shè)備廠商的排名當(dāng)中，除去四家美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商（美國(guó)應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)、科磊、泰瑞達(dá)，四家合計(jì)占了全球45.64%的市場(chǎng)份額），有八家是來自日本的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，這也足見日本半導(dǎo)體設(shè)備廠商的整體實(shí)力之強(qiáng)。

但是，日本政府一向是唯美國(guó)馬首是瞻，同樣，日本半導(dǎo)體設(shè)備廠商也很難會(huì)冒著觸怒美國(guó)政府的風(fēng)險(xiǎn)來提供設(shè)備幫助中國(guó)廠商組建不含美系設(shè)備的芯片生產(chǎn)線。

比如，福建晉華和華為相繼被美國(guó)列入“實(shí)體清單”之后，日本的東京電子就曾直接表示：“那些被禁止與應(yīng)用材料和泛林做生意的中國(guó)客戶，我們也不會(huì)跟他們有業(yè)務(wù)往來”。

甚至在美國(guó)的要求下，日本可能還會(huì)幫助美國(guó)在半導(dǎo)體材料上卡中國(guó)的脖子。要知道日本在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域非常的強(qiáng)勢(shì)，此前日本通過限制三種半導(dǎo)體材料對(duì)韓國(guó)的出口，就重創(chuàng)了韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

所以，不論是對(duì)于華為還是中芯來說，要成功打造一條不含美系半導(dǎo)體設(shè)備的芯片產(chǎn)線，并沒有外界想象的那么容易。特別是，如果在美國(guó)的要求下，日本也來卡我們脖子的情況下。而且，即便是成功打造出一條不含美系設(shè)備的40nm產(chǎn)線，由于所采用的設(shè)備可能都不是先進(jìn)的，這也將使得良率的提升可能會(huì)成為另一大問題。

總的來說，完全不受美國(guó)制約“去美化”產(chǎn)線是難以一蹴而就的，需要足夠的時(shí)間來等待國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商，乃至國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料廠商的成長(zhǎng)。

如果制裁落下，中芯如何維持運(yùn)轉(zhuǎn)？

這一年多以來，華為與美國(guó)纏斗的經(jīng)驗(yàn)告訴我們，美國(guó)如果真的決定要搞死一家企業(yè)，它一定會(huì)步步緊逼、不擇手段。而對(duì)于企業(yè)來說，跟美國(guó)這樣的大國(guó)斗，未雨綢繆，不斷從越來越小的夾縫中想辦法活下來，等待機(jī)會(huì)，才是王道。別想著什么看似鼓舞人心，實(shí)則無用的“反擊”了。一個(gè)企業(yè)就能夠斗贏全球第一的科技大國(guó)，那真是見鬼了！

對(duì)于中芯來說，目前首先需要籌謀的則是，一旦懸在頭上的“達(dá)摩克利斯之劍”落下，如何維持足夠長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn)，以便能夠支撐到不受美國(guó)制約的去美化產(chǎn)線的建成（并不是實(shí)現(xiàn)了去美化就不會(huì)受到制約，比如前面提到的，可能來自日本的半導(dǎo)體設(shè)備、甚至是材料上的制約）。

此前，美國(guó)將福建晉華列入實(shí)體清單之后，晉華立刻就陷入了癱瘓，其關(guān)鍵在于美系半導(dǎo)體設(shè)備廠商立刻中斷了支持，而且很多設(shè)備都還沒有完成安裝調(diào)試，立刻成了“廢鐵”。那么，一旦制裁落下，美系半導(dǎo)體設(shè)備廠商停止了對(duì)中芯的支持，中芯會(huì)面臨與晉華一樣的局面嗎？中芯的美系半導(dǎo)體設(shè)備會(huì)被遠(yuǎn)程鎖死，變成“廢鐵”嗎？

對(duì)此芯智訊咨詢了某知名半導(dǎo)體設(shè)備廠商的內(nèi)部人士，對(duì)方表示，所謂的“遠(yuǎn)程鎖死”是謠言，設(shè)備并不會(huì)立刻變成“廢鐵”。但是，晶圓廠要想產(chǎn)線上的設(shè)備能夠持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，離不開設(shè)備廠商的技術(shù)支持。

從硬件端來看，“因?yàn)樵O(shè)備使用一段時(shí)間，采集的信號(hào)就會(huì)產(chǎn)生偏差，沒有設(shè)備廠商的工程師做校準(zhǔn)，就難以使用。對(duì)于很多晶圓廠來說，他們買了設(shè)備，怎么用設(shè)備這件事，都是設(shè)備商在做，晶圓廠本身涉及的較少。而且設(shè)備會(huì)損耗，需要換零件，沒有設(shè)備商提供的原裝零部件，設(shè)備也是不能用的。”

從軟件端來看，“特別是在一個(gè)新的工藝的研發(fā)階段，制程工藝的很多參數(shù)會(huì)一直在調(diào)整，牽一發(fā)而動(dòng)全身，這站工藝稍微改變，會(huì)導(dǎo)致下一站的工藝大變，這叫l(wèi)oading effect。那么反饋到設(shè)備商，設(shè)備采集的信號(hào)就會(huì)變。設(shè)備商都會(huì)用配套的專用軟件對(duì)信號(hào)進(jìn)行調(diào)參建模，設(shè)置的參數(shù)/模型/程序業(yè)內(nèi)稱之為recipe。當(dāng)工藝變了后，recipe也要重調(diào)的?！?/p>

所以，離開了設(shè)備廠商的技術(shù)支持，晶圓廠將很難維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

那么，中芯是否可以通過與國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商合作，來維持相關(guān)美系半導(dǎo)體設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)呢？

對(duì)此問題，該設(shè)備廠內(nèi)部人士告訴芯智訊：“國(guó)內(nèi)同類設(shè)備廠商恐怕很難幫的上忙。首先，這些美系設(shè)備的硬件不是國(guó)內(nèi)廠商自己做的，這些硬件代表著行業(yè)較高水平，至少是超越國(guó)產(chǎn)設(shè)備的。

國(guó)內(nèi)之所以做不出來，主要是因?yàn)楹茈y有達(dá)到這種精度的零件；其次，設(shè)備的核心硬件也是跟系統(tǒng)設(shè)計(jì)、軟件、算法配合的。如果不知道對(duì)方系統(tǒng)、軟件、算法怎么做的，做出了的零件有什么tricky的地方也是不知道的。只有最初做的人踩過一個(gè)又一個(gè)坑才知道。

這就像一道非常緊密的流水線環(huán)環(huán)相扣，缺了哪個(gè)環(huán)都會(huì)踩坑。而且對(duì)美系設(shè)備商的設(shè)備亂配國(guó)內(nèi)零件，出了事情保險(xiǎn)公司都不會(huì)負(fù)責(zé)的。通常這些設(shè)備都會(huì)上保險(xiǎn)的，因?yàn)槠綍r(shí)設(shè)備商維護(hù)的費(fèi)用大的驚人，一臺(tái)設(shè)備買進(jìn)去后到壽終正寢，維護(hù)費(fèi)用可能達(dá)到設(shè)備一樣貴?！?/p>

如果國(guó)內(nèi)設(shè)備上難以幫上忙的話，那么通過直接引進(jìn)美系半導(dǎo)體設(shè)備廠的技術(shù)人才，是否能夠在一定程度上維持設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)呢？

該設(shè)備廠內(nèi)部人士表示：“這些半導(dǎo)體設(shè)備的專用軟件，基本都有l(wèi)icense或者專用的云端。設(shè)備廠商內(nèi)部人員的工作其實(shí)就是在內(nèi)部一個(gè)平臺(tái)上做的，各部門配合也會(huì)有技術(shù)保密隔離，每個(gè)人都是一個(gè)螺絲釘，在自己的保密權(quán)限內(nèi)做事。硬件部門不會(huì)知道算法部門的內(nèi)部機(jī)密。所以，即使從相關(guān)設(shè)備廠挖一些技術(shù)人員來，但是他們離開了原有平臺(tái)，能做的也相對(duì)有限。當(dāng)然，作用還是有的。”

所以，總的來看，為防止美國(guó)的制裁真的落下，中芯國(guó)際應(yīng)該提前準(zhǔn)備足夠的設(shè)備零部件，以便后續(xù)的設(shè)備維護(hù)。最新的爆料也顯示，中芯國(guó)際已經(jīng)從美國(guó)應(yīng)用材料公司采購(gòu)了可用數(shù)年的（零部件）庫(kù)存。此外，中芯國(guó)際還需要積極引進(jìn)設(shè)備端相關(guān)技術(shù)人才，并且積極參與到設(shè)備端的維護(hù)工作當(dāng)中去。
責(zé)編AJX