珠海首條自主6英寸MEMS產(chǎn)線投產(chǎn)

深耕壓電MEMS工藝及關鍵技術

1月15日，云際芯光（珠海）微電子有限公司（簡稱：云際芯光）首條自主建設的6英寸MEMS芯片生產(chǎn)基地通線儀式在珠海市金灣區(qū)盛大舉行。云際芯光董事長、珠海湖南商會會長、金灣區(qū)副區(qū)長和珠海市工業(yè)和信息化局副局長等出席活動并致辭。

云際芯光6英寸MEMS芯片生產(chǎn)線項目，位于珠海市金灣區(qū)，從投建啟動到貫通僅用時約一年，實現(xiàn)了在珠海特色工藝半導體制造領域的關鍵突破。

活動現(xiàn)場，通過企業(yè)宣傳片，帶領嘉賓了解了云際芯光從技術攻關到產(chǎn)線落成的發(fā)展歷程，詮釋了“以科技創(chuàng)新賦能產(chǎn)業(yè)升級”的堅定信念與產(chǎn)業(yè)抱負。

活動伊始，云際芯光董事長王慶初表示，項目團隊在一年內(nèi)高效完成了從規(guī)劃藍圖到工藝調(diào)試的全過程，創(chuàng)下“建設周期最短、通線速度最快”的行業(yè)新紀錄。該生產(chǎn)線實現(xiàn)了壓電MEMS芯片領域從設計、工藝到規(guī)模生產(chǎn)的全鏈條自主可控，有效填補了珠海特色工藝半導體制造領域的空白，并為珠海集成電路產(chǎn)業(yè)注入了堅實力量。

此次通線標志著公司已構建設計、工藝到制造的全鏈條閉環(huán)，顯著提升市場響應與產(chǎn)品交付能力，為未來快速發(fā)展奠定制造基礎。王慶初指出，公司將持續(xù)加大研發(fā)投入，聚焦“傳感+通信+頻率”三大方向，拓展產(chǎn)品矩陣，推動MEMS芯片在更多新興領域的創(chuàng)新應用。

其次，珠海湖南商會會長郭俊德表示，此次產(chǎn)線順利通線，標志著企業(yè)邁入全新發(fā)展階段。期待云際芯光以此為契機，持續(xù)深耕MEMS領域，充分發(fā)揮技術及產(chǎn)能優(yōu)勢，不斷推出具備競爭力的產(chǎn)品與解決方案，實現(xiàn)更廣闊發(fā)展格局。

珠海市金灣區(qū)副區(qū)長敖煒致辭表示，金灣區(qū)堅持“工業(yè)立區(qū)、智造強區(qū)”，將集成電路作為“5+2+N”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系的核心賽道。云際芯光產(chǎn)線的建成，為金灣完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、推動上下游企業(yè)集聚提供了關鍵支撐。希望云際芯光以此為契機，扎根金灣、深耕創(chuàng)新，與區(qū)域協(xié)同發(fā)展，共同打造具有競爭力的半導體產(chǎn)業(yè)高地，為新質生產(chǎn)力發(fā)展注入強勁動能。

隨后，珠海市工業(yè)和信息化局副局長施洋表示，云際芯光自2023年扎根珠海，專注壓電MEMS芯片領域，攜手天津大學高校構建了研發(fā)設計到規(guī)模制造的全鏈條技術體系。其四大產(chǎn)品矩陣，技術指標已對標國際一流。期待云際芯光以產(chǎn)線通線為新起點，加大科研投入，加快產(chǎn)品創(chuàng)新，深化產(chǎn)學研合作，拓展MEMS技術應用，打造更多具有全球競爭力的硬核產(chǎn)品。讓我們政企同心，攜手將珠海建設成為國內(nèi)領先的特色工藝半導體產(chǎn)業(yè)化高地，為制造強國貢獻珠海力量。

繼而，天津大學副教授、博士生導師、云際芯光技術專家崔魏巍為大家進行產(chǎn)品推介，展現(xiàn)了產(chǎn)線核心技術矩陣與產(chǎn)品藍圖。他介紹，SMR濾波芯片：應用于5G/6G、衛(wèi)星通信等領域，已推出50余款產(chǎn)品，頻率覆蓋1GHz-8.5GHz。PMEMS聲學傳感器：基于自主研發(fā)的IPP芯片架構，性能媲美傳統(tǒng)陶瓷傳感器，且體積更小、可靠性更高，適用于水聽、測距、流量檢測等場景。高基頻石英晶振：采用自主QMEMS工藝，頻率可達70-300MHz，其中156.25MHz產(chǎn)品已實現(xiàn)對國際主流型號的國產(chǎn)替代。高精度壓力傳感器：目標精度0.01%FS，適用于工業(yè)監(jiān)測、高端裝備等領域。

同時，公司擁有完整的自主知識產(chǎn)權，目前已申報專利30余項，并建成涵蓋設計、工藝、封裝測試的全流程研發(fā)體系。產(chǎn)線具備光刻、薄膜、刻蝕、鍵合等全流程工藝能力，可實現(xiàn)SMR濾波器、石英晶振等產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)。

值此盛典，云際芯光與多家行業(yè)領先客戶達成戰(zhàn)略合作，這既是對云際芯光技術實力、產(chǎn)品質量和產(chǎn)能潛力的高度認可，也為產(chǎn)線通線后的快速爬坡與高效運行注入了強勁市場動力。

未來，云際芯光將繼續(xù)深化壓電MEMS技術研發(fā)，推動更多國產(chǎn)芯片走向市場，為中國半導體產(chǎn)業(yè)的自主化與高端化注入“芯”動力。