半導體是指常溫下介于導體和絕緣體之間具有導電性的材料。半導體的可控導電性使其在科學、技術(shù)和經(jīng)濟中發(fā)揮著非常重要的作用。半導體行業(yè)最上游是硅片制造，硅片行業(yè)實際上是由“硅的初步提純、多晶硅制造、硅晶圓的制造”三個子行業(yè)組成的。

而真空設(shè)備又廣泛應(yīng)用于半導體行業(yè)。在工業(yè)生產(chǎn)中，真空主要用于減少工作空間的空氣，保持工作空間的清潔。真空設(shè)備的使用是要遵循生產(chǎn)要求的，半導體行業(yè)生產(chǎn)中使用真空設(shè)備，使得員工工作區(qū)域的噪聲水平大大降低，以滿足半導體行業(yè)的技術(shù)要求。

因為在半導體制造行業(yè)，除了超凈環(huán)境外，有些加工環(huán)節(jié)必須在真空環(huán)境下進行。大氣中充滿了氮氣、氧氣和其他氣體分子，它們一直在運動。當這些氣體分子移動到物體表面時，其中一些會附著在物體表面。雖然這對我們的日常生活不會有太大影響，但是這些細微的變化會給半導體器件的生產(chǎn)帶來各種麻煩。

通常，半導體器件包含各種材料，如果氣體分子混合在這些不同的材料層之間，器件的電學或光學特性就會受到損害。例如，當要在晶體層上外延生長一層晶體時，吸附在底部晶體表面的氣體分子會阻止其上的原子按照晶格結(jié)構(gòu)有序排列，導致外延層中出現(xiàn)大量缺陷。在嚴重的情況下，晶體不能擴展，只能獲得多晶或無序原子排列的非晶。

因此，為了獲得干凈的晶體表面，通常需要將氣體分子的密度降低到大氣密度的幾億倍，即獲得真空環(huán)境。為此，人們制造了大大小小的密封容器，并發(fā)明了各種真空泵來將空氣從這些密封容器中抽出，使它們內(nèi)部成為真空環(huán)境。

不過，半導體行業(yè)中使用的真空設(shè)備是有嚴格要求的，必須要對真空度進行嚴格把控。半導體元件真空生產(chǎn)環(huán)境中有嚴格的真空度標準，只有在標準范圍內(nèi)才能保證元件的生產(chǎn)質(zhì)量，對于真空度的監(jiān)測一般使用的是熱導傳感器。熱導傳感器是真空科學研究和真空測試技術(shù)的重要檢測元件?；谄だ嵩淼臒釋鞲衅鲝V泛用于測量105帕至10-1帕的粗真空。

對于真空度測量儀器的選擇，兩款熱導式傳感器，瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 - MTCS2601和荷蘭Xensor 熱導式氣體傳感器 - XEN-TCG3880。MTCS2601對安裝位置不敏感，可以使用在串擾氣體環(huán)境中，與一個簡單恒定的溫度電路兼容。XEN-TCG3880適用于10mPa～10KPa 之間的真空度測量。

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