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MEMS光學(xué)器件—MEMS OXC(光交叉互連開關(guān))

電子設(shè)計(jì) ? 來(lái)源:電子設(shè)計(jì) ? 作者:電子設(shè)計(jì) ? 2020-12-25 15:35 ? 次閱讀
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OXC的應(yīng)用領(lǐng)域

光交叉互連開關(guān)(OXC)是一種N×N端口的矩陣光開關(guān),可用于構(gòu)建CDC ROADM(無(wú)色、無(wú)方向性、無(wú)競(jìng)爭(zhēng)的可重構(gòu)光上/下路復(fù)用器),如圖1所示。

圖1. 基于WSS和OXC的CDC ROADM結(jié)構(gòu)

基于1×N端口光開關(guān)構(gòu)建的OXC

OXC可以通過(guò)1×N端口的光開關(guān)來(lái)構(gòu)建,如圖2所示,為了構(gòu)建一個(gè)N×N端口的OXC模塊,需要2N個(gè)1×N端口的光開關(guān),隨著端口數(shù)N的增加,OXC模塊的尺寸和成本急劇增加,因此這種OXC的端口數(shù)通常限于32×32端口。

圖2. 以16個(gè)1×8端口光開關(guān)構(gòu)建8×8端口OXC

基于2D MEMS 技術(shù)的OXC

實(shí)現(xiàn)OXC的第二種技術(shù)方案是基于MEMS微鏡陣列的Cross-Bar光開關(guān),日本東京大學(xué)的H. Toshiyoshi和H. Fujita于1996年報(bào)道了第一個(gè)基于MEMS技術(shù)、具有端口擴(kuò)展?jié)摿Φ腃ross-Bar光開關(guān),如圖3所示。所報(bào)道的器件只有2個(gè)輸入端口和2個(gè)輸出端口,光路切換是通過(guò)4個(gè)MEMS微鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)的,每個(gè)微鏡有兩個(gè)狀態(tài),平置于基片上讓光束通過(guò)(Off狀態(tài))或者直立于基片上以反射光束(On狀態(tài))。

圖3. 第一個(gè)基于MEMS扭鏡的Cross-Bar矩陣光開關(guān)

MEMS芯片和單個(gè)微鏡的SEM照片,以及扭鏡的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖4所示。微鏡以多晶硅梁支撐,當(dāng)電極未加偏置電壓時(shí),微鏡保持平置狀態(tài);加電時(shí)在靜電引力的驅(qū)動(dòng)下,微鏡直立于基片上。

圖4. MEMS扭鏡的SEM照片和結(jié)構(gòu)示意圖

AT&T實(shí)驗(yàn)室的L.Y. Lin等人于1998年報(bào)道了第一個(gè)基于2D MEMS技術(shù)的矩陣光開關(guān),如圖5所示,為了實(shí)現(xiàn)N×N端口光開關(guān),需要一個(gè)N×N規(guī)模的微鏡陣列。該器件的所有光路都在一個(gè)平面內(nèi),這也是為何它被稱為2D MEMS光開關(guān)。

圖5. 第一個(gè)2D MEMS矩陣光開關(guān)結(jié)構(gòu)

審核編輯:符乾江
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