集微網(wǎng)消息，3月8日，上海新陽發(fā)布關(guān)于ASML-1400光刻機進展的公告稱，現(xiàn)經(jīng)各方積極協(xié)商、運作，該光刻機設(shè)備于今日已進入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。

據(jù)披露，上海新陽自立項開發(fā)193nmArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目以來，安排購買了ASML-1400光刻機等核心設(shè)備，并于2020年12月14日在《關(guān)于公司申請向特定對象發(fā)行股票的審核問詢函的回復(fù)》中披露，該光刻機將于2020年底前運抵國內(nèi)。后由于公司與光刻機供應(yīng)商、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司（以下簡稱“合作方”）溝通協(xié)調(diào)設(shè)備運輸與安裝等細節(jié)，致使設(shè)備沒能在規(guī)定時間內(nèi)運達，但與合作方就具體合作細節(jié)簽署了《合作框架協(xié)議》，并發(fā)布了《關(guān)于ASML-1400光刻機進展暨簽訂<合作框架協(xié)議>的公告》，預(yù)計該光刻機將于2021年3月底前進入合作方現(xiàn)場。

北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司與上海新陽將合作在北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司指定工廠搭建光刻膠驗證平臺，該平臺由ArF光刻機（上海新陽負責提供）和涂膠顯影機（北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司負責提供）組成，用于先進光刻膠驗證。

上海新陽表示，公司采購的ASML干法光刻機設(shè)備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進度有積極影響，有利于進一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，加快落實公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險能力和可持續(xù)發(fā)展能力。

值得注意的是，該光刻機尚須經(jīng)過裝機、調(diào)試等相關(guān)環(huán)節(jié)，若相關(guān)環(huán)節(jié)出現(xiàn)工作疏漏或失誤則存在造成所購買的光刻機投入使用的過程較長甚至無法投入使用的風(fēng)險。

此外，光刻膠研發(fā)項目技術(shù)壁壘高、周期長、至產(chǎn)業(yè)化并最終實現(xiàn)銷售利潤仍需一定時間，而公司購買的光刻機設(shè)備價格昂貴，其折舊及后續(xù)維護費用預(yù)計對公司的經(jīng)營業(yè)績存在一定影響。

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