近日，中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)印發(fā)《關(guān)于表彰2020年度中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)獎(jiǎng)勵(lì)項(xiàng)目的決定》，由清華大學(xué)牽頭，中科院微電子所參與完成的“光頻梳絕對(duì)距離測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目獲得2020年中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)。

“光頻梳絕對(duì)距離測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目微電子所作為第二獲獎(jiǎng)單位，主要完成人為周維虎、紀(jì)榮祎、石俊凱、董登峰。項(xiàng)目成果主要依托于國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)“新型飛秒激光跟蹤儀研發(fā)”、國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目“基于雙波長(zhǎng)外差干涉的飛秒激光測(cè)距對(duì)準(zhǔn)和精密測(cè)距方法研究” 等任務(wù)。團(tuán)隊(duì)歷時(shí)八年，對(duì)光頻梳絕對(duì)距離測(cè)量系統(tǒng)系列關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了持續(xù)攻關(guān)，先后攻克了光頻梳脈沖對(duì)準(zhǔn)溯源、光頻梳載波包絡(luò)偏移頻率鎖定、光梳光譜相位辨析方法、雙光梳六自由度絕對(duì)位姿動(dòng)態(tài)測(cè)量方法等關(guān)鍵技術(shù)，自主開(kāi)發(fā)了光頻梳光源、測(cè)距光路、頻率鎖定模塊、信號(hào)采集處理系統(tǒng)全鏈條模塊，研制成功光頻梳絕對(duì)距離測(cè)量?jī)x器，實(shí)現(xiàn)了高精度光梳絕對(duì)距離測(cè)量?jī)x器的重大突破，關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。項(xiàng)目共授權(quán)發(fā)明專利17項(xiàng)，發(fā)表論文64篇，其中SCI收錄39篇。

本成果的研制與應(yīng)用，有力提高了我國(guó)高端儀器的技術(shù)創(chuàng)新水平和國(guó)產(chǎn)化能力，促進(jìn)了我國(guó)高端裝備制造業(yè)的發(fā)展?；谠摷夹g(shù)開(kāi)發(fā)的激光跟蹤儀在高端制造、科學(xué)研究、國(guó)防軍工等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。

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