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詳解芯片制造的整個(gè)過(guò)程

工程師鄧生 ? 來(lái)源:西柚哆來(lái)咪、COOKIE餅干醬 ? 作者:西柚哆來(lái)咪、COO ? 2021-12-25 11:32 ? 次閱讀
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芯片制造的整個(gè)過(guò)程包括芯片設(shè)計(jì)、芯片制造、封裝制造、測(cè)試等。芯片制造過(guò)程特別復(fù)雜。

首先是芯片設(shè)計(jì),根據(jù)設(shè)計(jì)要求,生成“圖案”

1、晶片材料

晶片材料的成分是硅,硅又是由石英沙精制而成。將硅提純后制成硅棒,成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體材料。將其切片就是芯片制作具體需要的晶圓。

2、晶圓涂層/膜

晶圓涂層可以抵抗氧化和溫度,其材料也是光阻的一種。

3、晶圓光刻顯影、蝕刻

首先,在晶圓(或基板)表面涂覆一層光刻膠并干燥。干燥的晶片被轉(zhuǎn)移到光刻機(jī)上。通過(guò)掩模,光將掩模上的圖案投射到晶圓表面的光刻膠上,實(shí)現(xiàn)曝光和化學(xué)發(fā)光反應(yīng)。曝光后的晶圓進(jìn)行二次烘烤,即所謂曝光后烘烤,烘烤后的光化學(xué)反應(yīng)更為充分。

最后,顯影劑被噴在晶圓表面的光刻膠上以形成曝光圖案。顯影后,掩模上的圖案保留在光刻膠上。糊化、烘烤和顯影都是在均質(zhì)顯影劑中完成的,曝光是在平版印刷機(jī)中完成的。均化顯影機(jī)和光刻機(jī)一般都是在線操作,晶片通過(guò)機(jī)械手在各單元和機(jī)器之間傳送。

整個(gè)曝光顯影系統(tǒng)是封閉的,晶片不直接暴露在周?chē)h(huán)境中,以減少環(huán)境中有害成分對(duì)光刻膠和光化學(xué)反應(yīng)的影響。這樣就得到我們所需要的二氧化硅層。

4、添加雜質(zhì)

相應(yīng)的p和n半導(dǎo)體是通過(guò)向晶圓中注入離子而形成的。

具體工藝是從硅片上的裸露區(qū)域開(kāi)始,將其放入化學(xué)離子混合液中。這一工藝將改變摻雜區(qū)的到方式,使每個(gè)晶體管都能打開(kāi)、關(guān)閉或攜帶數(shù)據(jù)。這時(shí)候?qū)⑦@一流程不斷的重復(fù),不同層可通過(guò)開(kāi)啟窗口聯(lián)接起來(lái)。這一點(diǎn)類(lèi)似所層PCB板的制作制作原理。 更為復(fù)雜的芯片可能需要多個(gè)二氧化硅層,。這時(shí)候通過(guò)重復(fù)光刻以及上面流程來(lái)實(shí)現(xiàn),形成一個(gè)立體的結(jié)構(gòu)。

5、晶圓測(cè)試

經(jīng)過(guò)上面的幾道工藝之后,晶圓上就形成了一個(gè)個(gè)格狀的晶粒。通過(guò)針測(cè)的方式對(duì)每個(gè)晶粒進(jìn)行電氣特性檢測(cè)。一般來(lái)說(shuō),每個(gè)芯片都有大量的晶粒,組織一次針測(cè)試模式是非常復(fù)雜的過(guò)程,這就要求盡可能批量生產(chǎn)相同規(guī)格型號(hào)的芯片。數(shù)量越大,相對(duì)成本就越低,這也是主流芯片器件造價(jià)低的一個(gè)因素。

6、封裝

將制造完成晶圓固定,綁定引腳,按照需求去制作成各種不同的封裝形式,這就是同種芯片內(nèi)核可以有不同的封裝形式的原因。例如:DIP、QFP、PLCC、QFN等,這主要取決于用戶的應(yīng)用習(xí)慣、應(yīng)用環(huán)境、市場(chǎng)形態(tài)等外圍因素。

7、測(cè)試和包裝

經(jīng)過(guò)上述工藝流程以后,芯片生產(chǎn)就已經(jīng)全部完成了。這一步是測(cè)試芯片,去除有缺陷的產(chǎn)品,并包裝。

不過(guò),芯片的制作過(guò)程非常復(fù)雜,文字表述難免會(huì)有不清楚的地方,小編在這里建議大家最好去工廠實(shí)地看看芯片到底是如何去制作的。

本文綜合整理自西柚哆來(lái)咪、COOKIE餅干醬、十六夜先生

審核編輯:劉清

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