文章來(lái)源：學(xué)習(xí)那些事

原文作者：小陳婆婆

從鋁到銅，再到釕與銠，半導(dǎo)體布線技術(shù)的每一次革新，都是芯片性能躍升的關(guān)鍵引擎。隨著制程進(jìn)入2nm時(shí)代，傳統(tǒng)銅布線正面臨電阻與可靠性的極限挑戰(zhàn)，而鑲嵌（大馬士革）工藝的持續(xù)演進(jìn)與新材料的融合，為超高密度互連和三維集成打開(kāi)了新局面。本文將帶你了解布線技術(shù)的最新突破——從低k介質(zhì)到ALD沉積、從銅的延展到釕的崛起，窺見(jiàn)未來(lái)芯片互連的“立體革命”。

布線技術(shù)

在半導(dǎo)體制造中，布線技術(shù)的革新始終是推動(dòng)芯片性能提升的關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)力。傳統(tǒng)鋁布線因電阻較高、電遷移現(xiàn)象顯著，在高度集成化需求下逐漸暴露出信號(hào)延遲與可靠性瓶頸——當(dāng)布線寬度縮至納米級(jí)時(shí)，鋁原子在高密度電子流驅(qū)動(dòng)下易發(fā)生遷移，導(dǎo)致局部變薄或斷裂，甚至引發(fā)微小突起，嚴(yán)重威脅器件穩(wěn)定性。

為突破這一限制，銅因其更低的電阻率與優(yōu)異的耐遷移特性，成為替代鋁的理想材料，但銅難以通過(guò)傳統(tǒng)干法刻蝕加工的難題催生了鑲嵌工藝（大馬士革工藝）的誕生。

圖 大馬士革工藝

該工藝通過(guò)在絕緣膜表面預(yù)先刻蝕出布線凹槽，利用電鍍技術(shù)沉積銅膜并填充凹槽，最終通過(guò)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）實(shí)現(xiàn)表面平面化，形成嵌入式銅布線結(jié)構(gòu)。

圖 大馬士革工藝的布線結(jié)構(gòu)

銅的易電鍍特性與凹槽填充工藝的結(jié)合，有效解決了銅刻蝕難題，同時(shí)通過(guò)CMP的精確控制確保了布線層的平整度與均勻性。

近年來(lái)，鑲嵌工藝的演進(jìn)聚焦于材料創(chuàng)新與工藝優(yōu)化。IBM在2024年IEDM會(huì)議上提出，采用先進(jìn)低k電介質(zhì)（ALK）材料可顯著提升銅布線的可靠性——該材料兼具高機(jī)械強(qiáng)度與抗等離子體損傷特性，能在縮小阻擋層厚度的同時(shí)維持介電擊穿電壓，有效降低線路電阻。

圖 結(jié)合單式大馬士革工藝和復(fù)式大馬士革工藝的五層銅線的的嵌入式布線示例

例如，24nm間距的ALK布線通過(guò)優(yōu)化阻擋層/襯里結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了電遷移壽命的顯著延長(zhǎng)，較傳統(tǒng)SiCOH材料提升超30%。此外，銠（Rh）與釕（Ru）等新型金屬材料的引入為后銅時(shí)代提供了新思路：銠因低表面散射與低氧化傾向，可實(shí)現(xiàn)更薄的阻擋層甚至無(wú)障礙線結(jié)構(gòu)，盡管成本較高，但通過(guò)回收工藝可將其控制在合理范圍；釕則通過(guò)氣隙集成技術(shù)，在頂通孔結(jié)構(gòu)中降低電容約23%，同時(shí)提升電遷移性能，其18nm間距下的雙級(jí)互連結(jié)構(gòu)在1800小時(shí)測(cè)試中未出現(xiàn)故障，可靠性遠(yuǎn)超同尺寸銅布線。

在三維集成領(lǐng)域，鑲嵌工藝與先進(jìn)封裝技術(shù)深度融合。臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技等廠商通過(guò)CoWoS、FCBGA等封裝技術(shù)擴(kuò)大鑲嵌工藝的應(yīng)用場(chǎng)景，實(shí)現(xiàn)多層布線的立體堆疊，滿足高性能計(jì)算與AI芯片對(duì)高密度互連的需求。例如，應(yīng)用材料公司推出的增強(qiáng)版Black Diamond低介電材料結(jié)合釕-鈷二元金屬襯墊技術(shù)，可將襯墊厚度減少33%，在3nm節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)25%的電阻降低，同時(shí)提升機(jī)械強(qiáng)度以支持芯片三維堆疊。化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)亦同步升級(jí)，通過(guò)智能化控制系統(tǒng)與綠色環(huán)保拋光液的開(kāi)發(fā)，在保證亞納米級(jí)表面粗糙度的同時(shí)，減少重金屬污染并降低運(yùn)營(yíng)成本，適應(yīng)7nm及以下制程對(duì)精度與環(huán)保的雙重需求。

當(dāng)前，鑲嵌工藝正朝著更高精度、更強(qiáng)適應(yīng)性與智能化方向發(fā)展。隨著2nm及以下節(jié)點(diǎn)的推進(jìn)，釕、銠等新型材料與氣隙集成、原子層沉積（ALD）等工藝的結(jié)合，將進(jìn)一步解決銅布線在超小尺寸下的電阻與可靠性挑戰(zhàn)。同時(shí)，三維集成中鑲嵌工藝與Chiplet技術(shù)的協(xié)同，正推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從“制程競(jìng)賽”向立體集成創(chuàng)新模式轉(zhuǎn)型。