表面浮雕光柵(SRG)廣泛應(yīng)用于各種傳統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)，如光譜儀、分束器、三維掃描系統(tǒng)、衍射透鏡和脈沖放大系統(tǒng)等。近年來(lái)，表面浮雕光柵在平視顯示器(HUD)、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)、虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)頭戴顯示器(HMD)等現(xiàn)代設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用。它們能夠以任意角度衍射光線，綜合其波長(zhǎng)和角度選擇性，使得光學(xué)系統(tǒng)比傳統(tǒng)設(shè)計(jì)更緊湊、更輕，而傳統(tǒng)設(shè)計(jì)通常需要使用棱鏡和自由曲面來(lái)達(dá)到同樣的性能，會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)更復(fù)雜，體積更龐大。 OpticStudio一直可以模擬光柵，但沒(méi)有考慮衍射效率。為了準(zhǔn)確地反映衍射光線的衍射效率和偏振態(tài)，就必須在模擬時(shí)考慮光柵的微觀結(jié)構(gòu)等特性。 本文將討論兩個(gè)用來(lái)模擬梯形和階梯光柵的DLL。承接上周的內(nèi)容，下篇將包含DLL參數(shù)等。

DLL 參數(shù)

在OpticStudio 20.3中，共有5個(gè)RCWA DL用于模擬不同形狀的1D光柵：

srg_trapezoid_RCWA.dll

srg_step_RCWA.dll

srg_blaze_RCWA.dll

srg_GridWirePolarizer_RCWA.dll

srg_user_defined_RCWA.dll

本節(jié)描述了這些DLL的參數(shù)，從所有DLL相同的參數(shù)開(kāi)始，然后解釋每個(gè)DLL的特定參數(shù)。

相同的參數(shù)

以下參數(shù)在所有 RCWA DLL 中具有相同的含義。 +周期/頻率(μm)和深度(μm) 這些凹槽周期單位為μm，光柵的剖面深度單位為μm。

當(dāng)“+周期/-頻率(μm)”是正值，它對(duì)應(yīng)于凹槽周期(μm)；

當(dāng)它是負(fù)值，對(duì)應(yīng)于凹槽頻率(1 /μm)。周期和頻率是互為倒數(shù)的。圖10顯示了光柵的凹槽周期和深度。

圖10. 梯形和階梯光柵的槽深和凹槽周期。 建議周期不要太大，例如波長(zhǎng)的100 倍。這意味著所需的？ZUI大級(jí)次非常大，以至于不能有一個(gè)準(zhǔn)確的結(jié)果。有關(guān)ZUI大級(jí)次初始值的建議，請(qǐng)參閱"諧波（級(jí)次）的概念"部分。 ZUI大級(jí)次 請(qǐng)參閱"諧波（級(jí)次）的概念"部分。 這目前限制為10（共 21 個(gè)諧波）。當(dāng)數(shù)字大于10時(shí)，在DLL中將其修改為 10。聯(lián)系支持團(tuán)隊(duì)以增加限制。 旋轉(zhuǎn)光柵（°） 此參數(shù)允許用戶(hù)旋轉(zhuǎn)光柵線的方向。

當(dāng)它設(shè)置為零時(shí)，光柵線沿著Y方向，這意味著光線在X方向彎曲。

當(dāng)它設(shè)置為非零時(shí)，正值則光柵線以逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)（+X +Y），負(fù)值則順時(shí)針向旋轉(zhuǎn)。請(qǐng)注意，此處描述的X和Y方向基于對(duì)象的本地坐標(biāo)系統(tǒng)。

圖11. 光柵旋轉(zhuǎn) 135 度。 使用鍍膜文件 此參數(shù)是一個(gè)標(biāo)志。如果是非零正整數(shù)，則表示分散數(shù)據(jù)（指數(shù)與波長(zhǎng)）在文本文件中定義。文本文件必須保存在 {Zemax}CoatingsCOATING_xx.dat中，其中 xx 是"使用涂料文件"參數(shù)中指定的正整數(shù)。 例如，如果將"使用涂層文件"設(shè)置為 7，則將COATING_7.dat讀取分散數(shù)據(jù)。 在COATING_xx.dat文件中，散射數(shù)據(jù)的定義可用參考“The Libraries Tab > Coatings Group > Defining Coatings > The MATE Data Section"下的幫助文件。材料名稱(chēng)應(yīng)始終從RCWAxx開(kāi)始，其中xx是兩位數(shù)的整數(shù)。所有文本依次排布。 例如，我們可以定義RCWA01TIO2。DLL將讀取 RCWA 材料1，并將忽略隨后的TIO2文本。圖12顯示了一個(gè)涂層文件與幾個(gè)材料散射數(shù)據(jù)的例子。

圖12. 如何在COATING_xx.dat中定義分散數(shù)據(jù)的示例。 材料編號(hào)可以指定光柵折射率（R）、環(huán)境折射率（R）或膜層折射率（R）。使用等于材料數(shù)乘以-1的負(fù)整數(shù)。 例如，如果我們要將RCWA02設(shè)置為Grate區(qū)域的索引數(shù)據(jù)，則只需將光柵折射率（R）設(shè)置為 -2。 查看”光柵折射率（R）、光柵折射率（I）、環(huán)境折射率（R）、環(huán)境折射率（I）“和”膜層折射率(R)、膜層折射率(I)、膜層頂部厚度(μm)、膜層側(cè)面厚度(μm)“小節(jié)獲取更多信息 插值 這個(gè)參數(shù)需是一個(gè)整數(shù)。

如果為零，DLL 將不使用插值模式。

如果設(shè)置為非零值，DLL將在插值模式下工作，這意味著DLL在計(jì)算時(shí)將在RAM中緩存RCWA數(shù)據(jù)。然后，這些數(shù)據(jù)用于插值以進(jìn)行進(jìn)一步的光線追跡。這可以顯著提高系統(tǒng)中許多光線追跡的速度，例如，跟蹤超過(guò)一百萬(wàn)條光線。

當(dāng)插值設(shè)置為1時(shí)，將使用201*201采樣網(wǎng)格。

當(dāng)它大于1時(shí)，它代表采樣網(wǎng)格的大小。換句話說(shuō)，用戶(hù)可以通過(guò)將插值設(shè)置為大于1的數(shù)字來(lái)定義采樣網(wǎng)格的大小。但請(qǐng)注意，ZUI低采樣網(wǎng)格大小為21。

當(dāng)插值設(shè)置為負(fù)整數(shù)時(shí)，DLL將采取絕對(duì)值來(lái)查找采樣網(wǎng)格，但會(huì)使用不同的方法進(jìn)行插值。這種插值方法更準(zhǔn)確，但速度較慢。

設(shè)置插值參數(shù)是為了速度和精度之間的正確平衡。

圖13. 當(dāng)參數(shù)插值為非零整數(shù)時(shí)，插值模式將打開(kāi)。當(dāng)它是負(fù)數(shù)的時(shí)，使用不同的插值方法。這種方法較慢，但更準(zhǔn)確。 插值模式(Interpolation Mode)是如何工作的? 首先，在LM空間中定義一個(gè)采樣網(wǎng)格。當(dāng)光線入射到光柵上時(shí)，光線的方向可以用單位矢量(L,M,N)表示。LMN也被稱(chēng)為光線的方向余弦。當(dāng)光線擊中光柵時(shí)，它在x和y方向上的方向余弦L和M被映射到LM空間。然后檢查ZUI近的四個(gè)采樣點(diǎn)，如果在這四個(gè)點(diǎn)中沒(méi)有任何一個(gè)點(diǎn)已經(jīng)計(jì)算出RCWA數(shù)據(jù)，則計(jì)算這些點(diǎn)的數(shù)據(jù)并將其保存在RAM中。然后用這四個(gè)點(diǎn)對(duì)入射光的RCWA數(shù)據(jù)進(jìn)行線性插值。注意，插值不僅是為了提高衍射效率，也是為了實(shí)現(xiàn)電場(chǎng)。換句話說(shuō)，在緩存數(shù)據(jù)和插值的過(guò)程中，要充分考慮相位、偏振態(tài)和振幅的變化。 如果光柵數(shù)據(jù)或光的波長(zhǎng)發(fā)生變化，DLL將創(chuàng)建另一個(gè)采樣網(wǎng)格來(lái)保存RCWA數(shù)據(jù)。因此，將光柵參數(shù)或波長(zhǎng)設(shè)置為變量時(shí)，用戶(hù)不應(yīng)在優(yōu)化過(guò)程中打開(kāi)插值功能。這意味著追蹤許多光線（>1000）時(shí)，插值會(huì)起到加速優(yōu)化的作用。但是，如果在優(yōu)化過(guò)程中僅通過(guò)光柵跟蹤幾條光線（如<10），建議關(guān)閉插值。 關(guān)于進(jìn)一步的討論，請(qǐng)參閱“優(yōu)化(Optimization)”一節(jié)。

圖14. 在插值模式下，衍射數(shù)據(jù)的計(jì)算如圖所示。 僅這些級(jí)次（Only these order） 當(dāng)參數(shù)"僅這些級(jí)次"為0或負(fù)時(shí)，DLL將照常工作。所有級(jí)次都將追蹤。當(dāng)該參數(shù)為正整數(shù)時(shí)，允許用戶(hù)指定用戶(hù)想要跟蹤的傳輸和反射中的衍射級(jí)次。 "僅這些級(jí)次"只是一個(gè)整數(shù)，所以下表是它的定義。下表將級(jí)次映射為唯一的正整數(shù)。

"僅這些級(jí)次"是2的冪級(jí)數(shù)的總和。 舉個(gè)例子，如果用戶(hù)想要追跡0級(jí)反射光線（R0）和+1級(jí)透射光線（T+1）?！眱H這些級(jí)次“參數(shù)應(yīng)該被設(shè)置為2^0 + 2^5 = 1 + 32 = 33。

圖.15 ”僅這些級(jí)次“ 允許用戶(hù)指定用戶(hù)想要跟蹤的傳輸和反射中的衍射級(jí)次 注意在使用這個(gè)參數(shù)的時(shí)候，開(kāi)始級(jí)次和結(jié)束級(jí)次需要包含指定的追跡級(jí)次。 此參數(shù)也可以使用可視化工具設(shè)置。這是一種更容易的方法，因?yàn)椴恍枰?jì)算。

圖.16 可視化工具中可用直接設(shè)置該參數(shù)。 隨機(jī)模式

這也可以稱(chēng)為蒙特卡羅方法或者概率分裂

當(dāng)參數(shù)設(shè)置為0時(shí)，DLL正常工作

當(dāng)設(shè)置為1，2或3時(shí)，隨機(jī)模式將會(huì)生效。當(dāng)隨機(jī)模式工作時(shí)，DLL會(huì)讓光線隨機(jī)衍射，如圖17所示。跟蹤每個(gè)衍射級(jí)次的概率基于衍射級(jí)次之間的能量比。

圖17. 隨機(jī)模式下，任意入射光線會(huì)隨機(jī)衍射，產(chǎn)生衍射的級(jí)次的概率取決于每個(gè)級(jí)次的能量比。這張圖片顯示了只有1條光線隨機(jī)衍射的情況。

對(duì)于每條入射光線，可能有任意數(shù)量的出射光。要衍射的光線數(shù)量由計(jì)算決定（截至級(jí)次-初始級(jí)次+1）。換句話說(shuō)，用戶(hù)可以設(shè)置參數(shù)"初始級(jí)次"和"截至級(jí)次"來(lái)定義出射的光線數(shù)量。同樣，在光線追跡過(guò)程中，隨機(jī)決定每一條光線的衍射級(jí)次。每個(gè)出射光線都攜帶Pi/n的功率，其中Pi是入射光線功率，n是出射線的數(shù)量。

圖18. 在隨機(jī)模式下，一條入射光線可用對(duì)應(yīng)多條衍射出射光線。 注意，如果”僅這些級(jí)次“不為零，則隨機(jī)模式按照如下規(guī)則運(yùn)行。

當(dāng)隨機(jī)模式為1時(shí)，”僅這些級(jí)次“被忽略。

當(dāng)隨機(jī)模式為2時(shí)，隨機(jī)模式先于”僅這些級(jí)次“生效，一條光線可能由隨機(jī)模式隨機(jī)化，但被"僅限這些命令"設(shè)置的規(guī)則阻止。

當(dāng)隨機(jī)模式為3時(shí)，”僅這些級(jí)次“先于隨機(jī)模式生效，光柵仍然以隨機(jī)方式衍射光線，但衍射光線始終在"僅這些級(jí)次"指定的一組級(jí)次中隨機(jī)化。

錯(cuò)誤日志 如果這個(gè)參數(shù)不為0，則會(huì)生成一個(gè)報(bào)告計(jì)算錯(cuò)誤的txt文件。該日志文件會(huì)保存在{Zemax}DLLDiffractive中，并且與指定的衍射DLL同名。這一參數(shù)通常應(yīng)該設(shè)置為0，除非出現(xiàn)了未知的錯(cuò)誤。 查看”幾何錯(cuò)誤“小節(jié)獲取更多相關(guān)信息。

梯形光柵參數(shù)（Trapezoid parameters）

以下是梯形光柵 (srg_trapezoid_RCWA.dll) 的參數(shù)： 深度，Alpha (度)，Beta (度)和填充因子。 這四個(gè)參數(shù)按照如下規(guī)則控制光柵的形狀：

深度決定了光柵的高度，如圖19所示。

從-z旋轉(zhuǎn)到+x方向時(shí)，Alpha和Beta是正的，從+x旋轉(zhuǎn)到-z方向時(shí)，Alpha和Beta是負(fù)的。例如，在圖19中Alpha是正的，Beta是負(fù)的。

填充因子是0到1之間的數(shù)字，表示底面與凹槽周期的比值。

圖19. 梯形光柵的4個(gè)參數(shù)定義了光柵形狀。 膜層折射率(R)、膜層折射率(I)、膜層頂部厚度(μm)、膜層側(cè)面厚度(μm) 這4個(gè)參數(shù)用于模擬光柵的膜層。DLL可以使用戶(hù)定義頂部厚度（膜層頂部厚度(μm)）和側(cè)面厚度（膜層側(cè)面厚度(μm)）。 注意，膜層的厚度不包括在深度參數(shù)中。例如，如果深度是5 μm，膜層頂部厚度為200 nm，則光柵的總厚度為5.2μm。

圖11. 梯形光柵膜層的頂部厚度。 由于膜層材料可以是金屬，DLL提供了另外兩個(gè)參數(shù)來(lái)定義膜層材料的復(fù)折射率；實(shí)部為膜層折射率(R)，虛部為膜層折射率(I)。在OpticStudio中，對(duì)于吸收材料來(lái)說(shuō)，折射率的虛部通常是負(fù)的。例如，鋁的復(fù)折射率為0.7-7.0i。 膜層折射率（R）不能為零，但可以是負(fù)整數(shù)。當(dāng)它是負(fù)整數(shù)時(shí)，意味著它由文本文件中的數(shù)據(jù)單獨(dú)定義。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱"使用鍍膜文件"部分。 光柵折射率（R）、光柵折射率（I）、環(huán)境折射率（R）、環(huán)境折射率（I） 光柵結(jié)構(gòu)可分為兩個(gè)部分，如圖 21所示：由”Grate”和“Env“指示的2個(gè)不同區(qū)域，表示光柵及其環(huán)境。光柵被外部區(qū)域（Outside）和基板區(qū)域（Substrate）包圍?；搴屯獠繀^(qū)域的折射率由光學(xué)系統(tǒng)定義。光柵和環(huán)境的折射率由DLL中的參數(shù)定義。 DLL中包含了4個(gè)參數(shù)來(lái)定義光柵和環(huán)境的折射率。

光柵和環(huán)境的折射率均由復(fù)數(shù)定義。

對(duì)于光柵區(qū)域，折射率的實(shí)數(shù)部分和虛數(shù)部分由光柵折射率（R）和光柵折射率（I）指定。

對(duì)于環(huán)境區(qū)域，折射率的實(shí)數(shù)部分和虛數(shù)部分由環(huán)境折射率（R）和環(huán)境折射率（I）指定。

當(dāng)光柵和環(huán)境的折射率的實(shí)數(shù)部分被設(shè)為0時(shí)，有一項(xiàng)特殊的定義。如果光柵折射率設(shè)為0，則表示光柵的折射率與基板的折射率一致?；逭凵渎视晒鈱W(xué)系統(tǒng)定義。同樣的，如果環(huán)境折射率設(shè)為0，則表示環(huán)境的折射率和外部區(qū)域的折射率一致。

光柵和環(huán)境的折射率的實(shí)數(shù)部分（R）可以是負(fù)數(shù)，意味著它由文本文件中的數(shù)據(jù)單獨(dú)定義

有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參閱"使用鍍膜文件"部分。

圖21. 梯形光柵可用分為兩個(gè)區(qū)域，光柵（Grate）和環(huán)境（Env）。兩個(gè)區(qū)域的折射率可用分別定義。

層數(shù)

這個(gè)參數(shù)是用來(lái)建模梯形形狀的層數(shù)。有關(guān)更多信息，請(qǐng)查看“層的概念”一節(jié)。

鋸齒光柵參數(shù)（Blaze parameters）

鋸齒光柵的參數(shù) (“srg_blze_RCWA.dll”) 與梯形光柵的參數(shù)（“srg_trapezoid_RCWA.dll”）一致，除了”深度“。 對(duì)于鋸齒光柵，深度可以由給定的Alpha和Beta參數(shù)計(jì)算得來(lái)，如圖22所示。

圖22. 鋸齒光柵的形狀由三個(gè)參數(shù)定義：Alpha，Beta和填充因子。

階梯光柵參數(shù)（Step parameters）

以下參數(shù)用于定義階梯光柵(“srg_step_RCWA.dll”)。 深度，階梯數(shù)和Alpha (度)。

深度決定了光柵的高度或厚度，如圖23所示。

階梯數(shù)定義了每個(gè)周期中階梯形狀的數(shù)量，如圖23所示。實(shí)際上，這通常與制造過(guò)程有關(guān)。請(qǐng)注意，光柵的形狀正在"向下"朝+x方向移動(dòng)，如下圖所示。要反轉(zhuǎn)方向，用戶(hù)應(yīng)將光柵繞z軸旋轉(zhuǎn)180度。

圖23.參數(shù) “階梯數(shù)”定義了每個(gè)周期中階梯形狀的數(shù)量。

參數(shù)Alpha定義另一側(cè)的斜角，如下圖所示。當(dāng)從+z旋轉(zhuǎn)到-x時(shí)，Alpha的符號(hào)是正的。圖24顯示了 Alpha為正的示例.

圖24. 參數(shù) Alpha 定義了另一側(cè)的斜角。 每階梯層數(shù)（Layers per step） 這個(gè)參數(shù)定義了每個(gè)階梯中的層數(shù)，此參數(shù)只能在參數(shù) Alpha 不為零的情況下使用。否則就是無(wú)效的，因?yàn)橛?jì)算結(jié)果不會(huì)改變。下圖顯示了該參數(shù)如何影響斜面的采樣。

圖25. 參數(shù)Lays of 1 stp定義了每個(gè)階梯中的層數(shù)。 膜層折射率(R)、膜層折射率(I)、膜層頂部厚度(μm)、膜層側(cè)面厚度(μm) 這四個(gè)參數(shù)的定義與梯形光柵一致。參照梯形光柵中的解釋。

圖26. 階梯光柵膜層的頂部和側(cè)面的厚度。 光柵折射率（R）、光柵折射率（I）、環(huán)境折射率（R）、環(huán)境折射率（I） 這四個(gè)參數(shù)的定義與梯形光柵一致。參照梯形光柵中的解釋。

圖21. 階梯型光柵可用分為兩個(gè)區(qū)域，光柵（Grate）和環(huán)境（Env）。兩個(gè)區(qū)域的折射率可用分別定義。

網(wǎng)格偏振線柵參數(shù)（Grid Wire Polarizer parameters）

以下是網(wǎng)格偏振線柵參數(shù)(“srg_GridWirePolarizer_RCWA.dll”)的參數(shù)。 這種光柵基本上是二進(jìn)制光柵。此DLL可用于建模網(wǎng)格線偏振器。 深度 (μm) 和填充因數(shù)

深度時(shí)光柵的高度。

填充因子是0到1之間的數(shù)字，表示柵格區(qū)域的寬度與周期的比值。如圖28所示。

折射率(R)和折射率(I) 與梯形光柵，鋸齒光柵和階梯光柵類(lèi)似，網(wǎng)格偏振線柵可以分為四個(gè)區(qū)域，這兩個(gè)參數(shù)用于定義光柵區(qū)域的折射率，如圖28所示。 環(huán)境區(qū)域的折射率不能在DLL中定義，因?yàn)樗偸桥c外部區(qū)域的數(shù)值保持一致。外部區(qū)域和基板區(qū)域的折射率都在OpticStudio中定義，它們不能在DLL中更改。

圖28. 網(wǎng)格偏振線柵可以分為四個(gè)區(qū)域：外部區(qū)域，光柵區(qū)域，環(huán)境區(qū)域和基板區(qū)域。光柵形狀由深度和填充因子決定。

用戶(hù)自定義光柵參數(shù)（User Defined Grating parameters）

用戶(hù)自定義光柵（“srg_user_defined_RCWA.dll”）只有一個(gè)參數(shù)。 文件編號(hào) 該參數(shù)必須是1-99內(nèi)的正整數(shù)。DLL會(huì)從位于DocumentsemaxDLLDiffractive的名為“user_grating_data_xx.txt”的txt文件內(nèi)讀取光柵數(shù)據(jù)，其中xx就是”文件編號(hào)“參數(shù)。 DLL將僅讀取用戶(hù)自定義的光柵文本一次，并將數(shù)據(jù)保存在內(nèi)存中。如果文本被修改并且需要重新載入，則將"文件編號(hào)"參數(shù)設(shè)置為負(fù)數(shù)。確保通過(guò)系統(tǒng)中的光柵跟蹤至少一條光線以觸發(fā)重新加載：更新布局圖或使用射線跟蹤控制運(yùn)行射線跟蹤。更新形狀數(shù)據(jù)后，請(qǐng)記住將"文件編號(hào)"參數(shù)設(shè)置為正值，讓DLL不會(huì)一直重新加載文本文件以更新光柵數(shù)據(jù)。

圖29. 用戶(hù)自定義的光柵數(shù)據(jù)寫(xiě)在文本文件"user_grating_data_xx.txt"中，其中 xx 是正整數(shù)，可以通過(guò)使用 DLL"srg_user_defined_RCWA.dll"進(jìn)行讀取。 用戶(hù)自定義光柵的文件格式 光柵形狀由多個(gè)層定義。每層由背景材料定義，并可選包含其他材料的幾個(gè)部分。有關(guān)層的更多信息，請(qǐng)參閱"層的概念"部分。 用戶(hù)定義的光柵文本文件包含3個(gè)關(guān)鍵字："層數(shù)"、"層"和"節(jié)"。當(dāng) DLL 讀取文件時(shí)，它會(huì)逐行掃描文本以查找這些關(guān)鍵字。找到關(guān)鍵字后，它會(huì)讀取下一行上的數(shù)據(jù)。關(guān)鍵字行和以下行必須遵循下面所述的文件格式。其他部分可以添加任何文本使閱讀更加方便。 層數(shù) "層數(shù)"關(guān)鍵字下的行應(yīng)包含一個(gè)表示文本中定義的層數(shù)的整數(shù)。 層 "層"關(guān)鍵字下的行包括 4 個(gè)數(shù)字：

本節(jié)中要添加的節(jié)數(shù)

層的厚度（微米）

折射率的實(shí)數(shù)部分

折射率的虛數(shù)部分。

這里的折射率是"背景材料折射率"。 節(jié) "節(jié)"關(guān)鍵字下的行包括4個(gè)數(shù)字：

該節(jié)的移位量

該節(jié)的寬度

折射率的實(shí)數(shù)部分

折射率的虛數(shù)部分

請(qǐng)注意，移位和寬度都沒(méi)有單位。它們表示與該光柵周期的比率。折射率是覆蓋背景材料折射率的"節(jié)折射率"。位移參數(shù)定義了相對(duì)于單個(gè)周期框左邊緣的中心位置。如圖30的例子中，位移量=0.5，寬度=0.5，它們定義了一個(gè)從0.25開(kāi)始到0.75結(jié)束的節(jié)。 用戶(hù)自定義光柵數(shù)據(jù)的例子 圖30展示了一個(gè)由用戶(hù)自定義光柵文件定義的光柵，右側(cè)是數(shù)據(jù)文件，左側(cè)是光柵示意圖。在這個(gè)例子中，所有的層都只有一個(gè)節(jié)，但是每一層可以包含0個(gè)或多個(gè)節(jié)。同時(shí)也請(qǐng)注意，同一層中包含兩種不同材料時(shí)，其中一種需要被定義為”背景材料參數(shù)“，另一種則被定為節(jié)參數(shù)。哪一個(gè)作為背景材料取決于用戶(hù)自身。

圖30. 用戶(hù)自定義光柵的一個(gè)例子。移位量相對(duì)于單個(gè)周期框的左邊緣。寬度以位移量所定義的位置為中心。 編輯用戶(hù)自定義光柵的工具 雖然用戶(hù)定義的光柵數(shù)據(jù)可以在文本編輯器（如記事本）中直接編輯，但也可以在可視化工具中進(jìn)行編輯，如圖31所示。用戶(hù)需要設(shè)置一個(gè)帶有"srg_user_defined_RCWA.dll"DLL的虛擬系統(tǒng)來(lái)讀取此文本文件?？梢暬ぞ哌€可以讀取其他RCWA DLL定義的光柵數(shù)據(jù)。 當(dāng)然，在編輯后，數(shù)據(jù)只能輸出為用戶(hù)自定義光柵數(shù)據(jù)。

圖31. 可視化工具可以讀取，編輯保存用戶(hù)自定義光柵數(shù)據(jù)。

審核編輯：郭婷