TcWafer熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

TC WAFER是使用特殊加工工藝將耐高溫傳感器（即TC）鑲嵌于晶圓表面特定位置，從而可實現(xiàn)晶圓表面溫度實時測量的溫度傳感器。

TC（ThermoCouple）為熱電偶的簡稱，Wafer即晶圓。通過TCWafer可獲得晶圓特定位置的真實溫度測量值以及整體晶圓的溫度分布情況；也可用于持續(xù)監(jiān)控在熱處理制程中晶圓瞬態(tài)溫度變化，比如：升溫，降溫，恒溫過程及延遲時間等?。ǐ@得爐溫溫度的均勻性數(shù)據(jù)，從而控制良率等）。

·應用場景

1. 半導體制造廠 Fab，硅片廠，晶圓制造廠

2. 封裝測試廠

3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…

4. 半導體設備制造商

5. 高溫工藝設備腔體溫度的監(jiān)控

半導體制造廠 Fab，PVD/CVD 部門、RTP 部門等使用

傳感器可以定制

高精度多通道數(shù)據(jù)采集儀
優(yōu)異的軟件功能，方便數(shù)據(jù)統(tǒng)計、趨勢繪圖和數(shù)據(jù)導出

我們的優(yōu)勢

精度高、交期短、服務響應快。

審核編輯黃宇