隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和制造工藝的發(fā)展，對(duì)晶圓質(zhì)量檢測(cè)要求高效準(zhǔn)確，能夠精準(zhǔn)捕捉缺陷，特別是晶圓作為半導(dǎo)體芯片制造的基本元件，準(zhǔn)確度非常重要，所以晶圓質(zhì)量檢測(cè)高度依賴超精密儀器測(cè)量，可通過(guò)激光共聚焦顯微鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)晶圓質(zhì)量檢測(cè)，幫助改善制造工藝，提高良品率。注：圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)

激光共聚焦顯微鏡以激光作為光源，采用共軛聚焦裝置，激光束經(jīng)照明針孔，經(jīng)由分光鏡反射至物鏡，并通過(guò)壓電物鏡定位器帶載物鏡進(jìn)行精密定位調(diào)整聚焦于樣品上，對(duì)標(biāo)本焦平面上每一點(diǎn)進(jìn)行掃描。組織樣品中如果有可被激發(fā)的熒光物質(zhì)，受到激發(fā)后發(fā)出的熒光經(jīng)原來(lái)入射光路直接反向回到分光鏡，通過(guò)探測(cè)針孔時(shí)先通過(guò)壓電物鏡定位器帶載物鏡聚焦，聚焦后的光被光電倍增管（PMT）探測(cè)收集，并將信號(hào)輸送到計(jì)算機(jī)，處理后在計(jì)算機(jī)顯示器上顯示圖像 ，利用計(jì)算機(jī)進(jìn)行圖像處理，對(duì)樣品進(jìn)行無(wú)損傷觀察和分析樣品的三維空間結(jié)構(gòu)。壓電物鏡定位器在此應(yīng)用中起到兩次聚焦作用，通過(guò)帶載物鏡進(jìn)行Z向納米級(jí)定位精度調(diào)節(jié)，使聚焦精度更高，成像更清晰。

注：圖片來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)

芯明天壓電物鏡定位器

芯明天壓電物鏡定位器采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置，可帶動(dòng)物鏡聚焦提高精度，分辨率可達(dá)納米級(jí)，可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、萊卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。

審核編輯黃宇