硅片電阻率測試儀TS1700電量輸出/測量：內(nèi)置直流穩(wěn)壓電源和精密電流測量單元，測量不確定度達(dá)0.1%。

硅片電阻率測試儀TS1700每次測量時(shí)電壓值均可穩(wěn)定在500 mV，并同步測量回路電流，范圍：0～1.2 A。

觸頭執(zhí)行結(jié)構(gòu)：由2根螺旋鉆頭、10根帶觸頭的金屬桿、施壓裝置等組成。

標(biāo)配觸頭(標(biāo)準(zhǔn)推薦)：單個(gè)觸頭面積約為64.5 mm2, 10個(gè)總面積達(dá)645 mm2。

選配觸頭(選配件)：單個(gè)觸頭面積約為100 mm2, 10個(gè)總面積達(dá)1000 mm2。

導(dǎo)電橡膠觸頭(TS1700-B)：該觸頭為面積為645 mm2的導(dǎo)電橡膠，可實(shí)現(xiàn)觸頭與樣品軟接觸。與富蘭克林法相比具有更高的重復(fù)性和可比性。

鉆頭具有很好的銳度，可在一定壓力下輕易刺破電工鋼表面涂層。

鉆頭、觸頭金屬桿均由電動(dòng)缸驅(qū)動(dòng)，在垂直方向同步移動(dòng)，以接觸樣品進(jìn)行測試。

測試時(shí)，單個(gè)觸頭表面壓力約2 N/mm2，配壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控所施加的壓力。

樣品托盤：由電機(jī)驅(qū)動(dòng)，可帶動(dòng)樣品前后移動(dòng)，以尋找多個(gè)不同的測試區(qū)域，獲取多組測試數(shù)據(jù)。通過軟件可設(shè)置1～5組測試點(diǎn)。

系統(tǒng)驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)器：配備標(biāo)準(zhǔn)電阻線路板，用于系統(tǒng)的日常驗(yàn)證。

移動(dòng)式測控臺：通過液晶觸摸屏設(shè)置測試參數(shù)，觀察測試狀態(tài)及結(jié)果，使用便捷。

專業(yè)測試軟件：設(shè)置參數(shù)和放置樣品外，其他測試過程可通過軟件自動(dòng)完成。

軟件可實(shí)時(shí)顯示測試的電壓值、電流值、壓力值，并記錄每組測試數(shù)據(jù)。

5. 硅片電阻率測試儀TS1700試樣要求

樣品尺寸：( 300 mm～500 mm ) × ( 200 mm ) (長×寬)

樣品厚度：0.1 mm～1.0 mm

其他要求：試樣表面應(yīng)清潔、平整、無斑痕、劃痕

6. 硅片電阻率測試儀TS1700一般技術(shù)規(guī)格

供電電源 AC ( 220 ± 22 ) V，( 50 ± 2 ) Hz

溫度性能 工作溫度：0°C～40°C；儲存溫度：-20°C～70°C

濕度性能 工作濕度：40%～80% R·H不結(jié)露

儲存濕度：< 95% R·H，不結(jié)露