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半導(dǎo)體領(lǐng)域集成微多孔透氣膜材料應(yīng)用介紹

微爾斯說(shuō)eptfe膜 ? 2023-05-19 10:11 ? 次閱讀
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近日,深圳國(guó)際半導(dǎo)體展覽會(huì)在深圳會(huì)展中心舉行,展示以芯片設(shè)計(jì)及制造、集成電路、封測(cè)、材料及設(shè)備、5G新應(yīng)用、新型顯示為主的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。有眾多***、晶圓制造半導(dǎo)體制造、顯示面板制造等設(shè)備廠商都集成了POD無(wú)塵拖鏈護(hù)套、部分設(shè)備真空吸附平臺(tái)集成了透氣多孔膜材料等。

1、POD無(wú)塵拖鏈護(hù)套

POD無(wú)塵拖鏈護(hù)套采用高分子PU與e-PTFE基膜(PD014\PD011)復(fù)合制成。POD無(wú)塵拖鏈護(hù)套專(zhuān)用e-PTFE基膜(PD014\PD011)具有低介電常數(shù)、耐摩擦、拉伸強(qiáng)度高、防塵阻液、抗酸堿及耐老化等特性。作為線束中的隔離帶,其重量輕、一致性好。符合RoHS、REACH、鹵素認(rèn)證。

2、透氣多孔膜(超高分子量聚乙烯多孔膜)

多孔透氣膜是采用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)粉末經(jīng)特殊工藝制作而成,形成一種多孔性透氣膜(VLC502\VLC503\VLC505等)。它具有透氣性和低摩擦系數(shù),同時(shí)保持了超高分子量聚乙烯的耐化學(xué)性、耐磨性和黏性消除等特性。

3、防水透氣膜(微孔過(guò)濾膜)

防水透氣膜是一種高分子防水透氣材料,采用ptfe樹(shù)脂經(jīng)特殊工藝制作而成多微孔性過(guò)濾薄膜(ES681\ES682\ES672等),由于孔徑小于水分子直徑,而又大于氣體分子直徑,所以它能過(guò)濾氣體中的雜質(zhì)、使氣液分離,殼體內(nèi)外壓力平衡、防水透氣、微孔過(guò)濾排氣。同時(shí)還具有ptfe本身的特性、疏水、耐高低溫、防腐蝕等。在從多半導(dǎo)體制造設(shè)備中的傳感器中比較常見(jiàn)。

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此外,微爾斯新材料事業(yè)部(VONM)作為專(zhuān)注于eptfe膜材料的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用,依托掌握的密封防水防塵、微孔泄壓排氣、氣壓平衡等功能技術(shù),還在半導(dǎo)體其他領(lǐng)域中提供防護(hù)產(chǎn)品,例如:柔性管狀透氣膜、微孔過(guò)濾膜、防水透氣閥等。

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