6月17日-18日，以“南沙芯聲聚勢(shì)未來(lái)”為主題的2023中國(guó)·南沙國(guó)際集成電路產(chǎn)業(yè)論壇在廣州南沙盛大召開(kāi)，來(lái)自半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的500多位嘉賓齊聚一堂，共襄盛舉。廣東省委常委、副省長(zhǎng)王曦，廣東省政府副秘書(shū)長(zhǎng)許典輝，廣州市委常委、南沙區(qū)委書(shū)記盧一先，廣州市委常委、常務(wù)副市長(zhǎng)陳勇，廣東省商務(wù)廳一級(jí)巡視員陳越華，廣東省科技廳副廳長(zhǎng)楊軍，廣東省工信廳副廳長(zhǎng)曲曉杰，廣東省工信廳總工程師董業(yè)民，廣東省發(fā)改委二級(jí)巡視員賴茂華等出席本次活動(dòng)。

著眼中國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈要實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化、提升生產(chǎn)效率，工業(yè)軟件系統(tǒng)的環(huán)節(jié)必不可少。賽美特是一家國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體CIM解決方案供應(yīng)商，其自研的全自動(dòng)化半導(dǎo)體CIM解決方案，已經(jīng)得到了多家12吋晶圓廠的量產(chǎn)驗(yàn)證。會(huì)上，賽美特科技董事長(zhǎng)兼CEO李鋼江發(fā)表了主題演講，從12吋晶圓產(chǎn)線的困難與挑戰(zhàn)出發(fā)，介紹了賽美特國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體CIM解決方案實(shí)現(xiàn)彎道超車(chē)的發(fā)展歷程。

12吋晶圓產(chǎn)線的困難與挑戰(zhàn)

當(dāng)前，12吋晶圓工廠量產(chǎn)存在著四大難點(diǎn)。首先是高工藝，隨著芯片線框越來(lái)越小，工藝管控也越來(lái)越嚴(yán)格；其次是高成本，半導(dǎo)體廠投資巨大，機(jī)臺(tái)、設(shè)備、物料等成本非常高；其三是高良率，這直接關(guān)系著投資收回速度；最后是高產(chǎn)量，機(jī)臺(tái)設(shè)備和效率若無(wú)法充分利用，投資同樣難以高效回收。

要解決上述困難和挑戰(zhàn)，離不開(kāi)CIM——即半導(dǎo)體制造的生命級(jí)系統(tǒng)，協(xié)調(diào)各個(gè)設(shè)備的生產(chǎn)，以提高良率和生產(chǎn)效率。CIM不是單個(gè)工具軟件，而是一整套解決方案，幫助工廠夯實(shí)基座、強(qiáng)壯生產(chǎn)全鏈路。

目前，半導(dǎo)體工廠為了實(shí)現(xiàn)7×24小時(shí)不間斷安全穩(wěn)定的生產(chǎn)，對(duì)產(chǎn)線智能化的要求越來(lái)越高，同時(shí)為了滿足供需，對(duì)良率的要求也越來(lái)越高。在半導(dǎo)體的CIM場(chǎng)景中，賽美特認(rèn)為自動(dòng)化場(chǎng)景大致分為8個(gè)方向，即倉(cāng)儲(chǔ)自動(dòng)化、設(shè)備自動(dòng)化、工藝自動(dòng)化、監(jiān)控自動(dòng)化、派工自動(dòng)化、質(zhì)量自動(dòng)化、排程自動(dòng)化和分析自動(dòng)化。

這其中，工廠生產(chǎn)效率和良率又是兩個(gè)最重要的方向。

生產(chǎn)效率方面，賽美特CIM解決方案滿足工廠完整的生產(chǎn)自動(dòng)化閉環(huán)執(zhí)行流程——PDCA，即計(jì)劃、執(zhí)行、檢查、調(diào)整。首先，APS系統(tǒng)會(huì)通過(guò)算法，對(duì)組織的未來(lái)投入和產(chǎn)出進(jìn)行目標(biāo)調(diào)優(yōu)；其次，RTD/Fully Auto會(huì)把產(chǎn)品計(jì)劃分配到具體執(zhí)行任務(wù)上，實(shí)現(xiàn)排程和計(jì)劃結(jié)果的自動(dòng)化生產(chǎn)；然后，Report/Monitoring會(huì)根據(jù)生產(chǎn)結(jié)果進(jìn)行報(bào)表和監(jiān)控，對(duì)結(jié)果進(jìn)行檢查；最后，基于檢查結(jié)果，系統(tǒng)會(huì)進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整，包括任務(wù)目標(biāo)及參數(shù)等。

提升良率方面，賽美特的品質(zhì)管理系統(tǒng)（SPC，YMS，F(xiàn)DC等）能夠?qū)崟r(shí)記錄和收集生產(chǎn)過(guò)程中的數(shù)據(jù)，并進(jìn)行智能分析，這將極大地幫助產(chǎn)線管理者更高效、更全面地掌握生產(chǎn)狀況，并及時(shí)作出優(yōu)化和調(diào)整，從而降低產(chǎn)品不良率。例如一個(gè)內(nèi)存芯片的加工，可能會(huì)涉及200多層工藝，其中每一層又有很多套工藝需要加工，傳統(tǒng)的歸因分析法便不再適合。通過(guò)品質(zhì)管理系統(tǒng)則可以快速收集數(shù)以百計(jì)的機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)，以及每個(gè)機(jī)臺(tái)成百上千的參數(shù)，再把這些參數(shù)混合在一起，進(jìn)行數(shù)據(jù)挖掘和學(xué)習(xí)處理，進(jìn)而輔助生產(chǎn)決策、提升產(chǎn)品品質(zhì)。

賽美特如何彎道超車(chē)？

賽美特雖然是一個(gè)剛剛成立兩年多的品牌，但整合了多家具備數(shù)十年半導(dǎo)體工業(yè)軟件經(jīng)驗(yàn)的團(tuán)隊(duì)，志在成就半導(dǎo)體工業(yè)軟件國(guó)產(chǎn)化，目前已發(fā)展成為行業(yè)內(nèi)技術(shù)人員最多、產(chǎn)品線最全、12吋產(chǎn)線案例最豐富的供應(yīng)商。總部設(shè)于上海，在蘇州、深圳、北京、成都、合肥、臺(tái)灣、新加坡和馬來(lái)西亞都設(shè)有子公司。

據(jù)悉，賽美特的12吋晶圓廠全自動(dòng)化CIM解決方案歷經(jīng)了3次迭代與升級(jí)。從2020年系統(tǒng)整合到2021年半自動(dòng)化1.0版本，再到2022年全自動(dòng)化2.0版本。在今年，賽美特將進(jìn)化成支持高階制程、大規(guī)模量產(chǎn)的3.0版本，助力12吋晶圓產(chǎn)線達(dá)到規(guī)?；牧慨a(chǎn)。

半導(dǎo)體制造的工業(yè)軟件領(lǐng)域更講究穩(wěn)定，這就導(dǎo)致行業(yè)內(nèi)其他廠商的迭代速度比較慢。賽美特作為半導(dǎo)體CIM解決方案國(guó)產(chǎn)代表，擁有資深技術(shù)團(tuán)隊(duì)，系統(tǒng)建設(shè)在最新的技術(shù)架構(gòu)上，并積極擁抱前沿技術(shù)（AI,大數(shù)據(jù)等）所帶來(lái)的產(chǎn)業(yè)變革。

截至目前，賽美特是國(guó)內(nèi)唯一經(jīng)過(guò)多家12吋晶圓廠量產(chǎn)驗(yàn)證的全自動(dòng)化CIM解決方案供應(yīng)商，成為了該細(xì)分領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)梯隊(duì)的第一名。技術(shù)上，賽美特已實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代；在應(yīng)用上，還需要更多客戶的支持與信賴。

展望未來(lái)，李鋼江在結(jié)尾表示：“做好產(chǎn)品，懂得這個(gè)行業(yè)，有長(zhǎng)期堅(jiān)持的決心，加上團(tuán)隊(duì)管理，客戶信賴和時(shí)代機(jī)遇等，才能做好一家國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體CIM解決方案企業(yè)，但這不是終極目標(biāo)，未來(lái)，賽美特既要做最受客戶信賴的智能制造軟件供應(yīng)商，更致力于成為一家偉大的工業(yè)軟件公司。”

審核編輯：劉清