電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/周凱揚(yáng)）從IC Insights發(fā)布的最新報(bào)告來看，全球半導(dǎo)體資本支出將在2023年下降14%，達(dá)到1560億美元?？v觀各大調(diào)研機(jī)構(gòu)以及半導(dǎo)體公司財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)，都在唱衰今年的半導(dǎo)體市場，但從設(shè)備廠商的角度來看，他們可能是半導(dǎo)體行業(yè)下行趨勢中唯一幸免于難的，甚至不少享受了一把利潤暴漲。

這與半導(dǎo)體設(shè)備的投資特性有關(guān)，作為半導(dǎo)體行業(yè)的上游，它們的投資具有周期性的上下行趨勢，比如2021年在全球缺芯潮下，設(shè)備投資迎來高增速。而到了2022年，尤其是下半年，消費(fèi)電子市場的需求減弱，雖然整體投資是增長的，但增速已經(jīng)有所回落。到了2023年，絕大多數(shù)半導(dǎo)體公司都開始節(jié)省資本支出，但他們對于半導(dǎo)體設(shè)備的投資意向是在逐漸轉(zhuǎn)好的，也因此促進(jìn)了半導(dǎo)體設(shè)備公司的利潤飛速增長。

***新訂單數(shù)仍在增加

半導(dǎo)體設(shè)備中晶圓加工設(shè)備的份額占比最高，而***又是這類加工設(shè)備中最關(guān)鍵的一環(huán)。從龍頭企業(yè)ASML今年第一季度的財(cái)報(bào)來看，ASML賣出了96臺全新光刻系統(tǒng)，僅僅比上一季度多一臺，其中EUV***的占比有所增加。但如果與去年同期對比的話，則多出了30余臺，使其營收同比增長了90.9%。ASML預(yù)計(jì)第二季度還有營收繼續(xù)上漲的空間，在近日財(cái)報(bào)公布后我們就能見分曉了。

除了ASML外，主流***供應(yīng)就只剩尼康和佳能兩家廠商了。從去年的業(yè)績上來看，尼康的精機(jī)業(yè)務(wù)出現(xiàn)了同比下滑，但主要是由于面板設(shè)備的銷售業(yè)績不佳導(dǎo)致的，反觀半導(dǎo)體光刻系統(tǒng)的銷量依然在持續(xù)增加，從去年的17臺增加到今年的27臺。

NSR-S635E / 尼康精機(jī)

不過，2021年尼康就宣布了下一代旗艦ArF***NSR-S636E的開發(fā)，同時(shí)預(yù)計(jì)2023年開始銷售，但目前仍沒有任何消息傳出。作為S635E的繼任者，該系統(tǒng)的推出無疑也會支持通過多重曝光來實(shí)現(xiàn)最高5nm的半導(dǎo)體工藝，但是否能進(jìn)一步提高吞吐量，才是決定其未來銷量的主要因素。

非***國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商盈利水平增長，國產(chǎn)化率開始提升

隨著美日荷三國開始限制半導(dǎo)體設(shè)備的出口，國內(nèi)在先進(jìn)制造工藝所需半導(dǎo)體設(shè)備的供應(yīng)上屢屢受挫。與此同時(shí)，今年內(nèi)國內(nèi)不少晶圓代工廠上市，譬如晶合集成、中芯集成等，加上中芯國際、華虹等廠商公布的預(yù)計(jì)資本支出和擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃來看，國內(nèi)的晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏依然保持穩(wěn)健，且在資本支出的預(yù)期上要好于海外晶圓廠。這也就給國內(nèi)的設(shè)備廠商創(chuàng)造一些國產(chǎn)化替代的機(jī)遇，今年或許是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備搶占更多國內(nèi)份額的幸運(yùn)年。

從2022年和2023H1的業(yè)績來看，不少國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的利潤增速大漲。除去部分主要業(yè)務(wù)著重在面板、封測端的設(shè)備廠商外，大部分國產(chǎn)設(shè)備廠商的盈利水平都有了明顯提升，或是得到了顯著改善。且國內(nèi)廠商雖然在光刻系統(tǒng)領(lǐng)域進(jìn)展較為緩慢，但在刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備以及封裝測試設(shè)備等領(lǐng)域，已經(jīng)有了與國際大廠一較高下的實(shí)力，甚至在國內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)線上的國產(chǎn)化率已經(jīng)達(dá)到了20%以上。

SAPS兆聲波清洗設(shè)備 / 盛美上海

以清洗設(shè)備為例，國內(nèi)清洗設(shè)備的龍頭廠商盛美上海2022年歸母凈利潤同比增長151.08%，2023年第一季度歸母凈利潤更是同比增長2937.19%。據(jù)其2022年報(bào)所示，盛美上海在國內(nèi)的清洗設(shè)備占有率已經(jīng)達(dá)到23%，也在2021年的Gartner單片清洗設(shè)備統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)中，獲得了5.1%的全球市占率。

而在薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備和熱處理設(shè)備均有布局的北方華創(chuàng)，其ICP刻蝕產(chǎn)品已經(jīng)累積出貨2000腔，在12寸邏輯、存儲、功率和封裝等客戶獲得了量產(chǎn)驗(yàn)證，CCP刻蝕產(chǎn)品也已經(jīng)進(jìn)入多家生產(chǎn)線的驗(yàn)證流程。北方華創(chuàng)近期公布了半年度業(yè)績預(yù)告，其中營收預(yù)計(jì)在78億到89.5億元區(qū)間，同比增長43.65%到64.41%，歸母凈利潤增長超過100%，同比增長121.3%到155.76%，結(jié)合不久前公布的年報(bào)數(shù)據(jù)，北方華創(chuàng)在今年上半年維持了與去年整年相近的營收和凈利潤增長水平。

國內(nèi)另一大刻蝕設(shè)備的巨頭中微半導(dǎo)體，同樣在近期披露了半年度業(yè)績預(yù)告，報(bào)告期內(nèi)預(yù)計(jì)營收達(dá)到25.27億元，同比增長28.13%，歸母凈利潤在9.8億到10.3億之間，同比增長109.49%到120.18%，這主要?dú)w功于中微半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備帶來的客戶訂單。例如中微半導(dǎo)體的雙反應(yīng)臺刻蝕機(jī)，已經(jīng)在5nm乃至更相近的邏輯芯片產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了多次批量銷售，也已經(jīng)在3D NAND產(chǎn)線被廣泛應(yīng)用。

在CMP設(shè)備上，華海清科的業(yè)績同樣亮眼。作為國內(nèi)唯一實(shí)現(xiàn)12寸CMP設(shè)備量產(chǎn)銷售的廠商，華海清科今年的第一季度營收達(dá)到6.16億元，同比增長76.87%，歸母凈利潤同比增長112.49%。其主要客戶不僅包括中芯國際、積塔、華虹等邏輯制造廠商，也已經(jīng)將CMP設(shè)備出貨給長江存儲、長鑫存儲等存儲制造商。

變賣半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)來補(bǔ)貼主營業(yè)務(wù)

正是因?yàn)榘雽?dǎo)體設(shè)備市場仍在擴(kuò)張?jiān)鲩L階段，某些核心業(yè)務(wù)并非半導(dǎo)體設(shè)備的廠商，為了在業(yè)績虧損下獲得短期的現(xiàn)金，也開始變賣部分設(shè)備業(yè)務(wù)資產(chǎn)，比如英特爾。早在今年年初，英特爾CEO Pat Gelsinger還在向媒體驕傲地展示自己IMS業(yè)務(wù)部門的產(chǎn)品，如今卻不得不變賣股份，同時(shí)作為子公司獨(dú)立出去。

作為英特爾于2015年收購的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，IMS生產(chǎn)的MBMW（多光束光罩刻寫器），是生產(chǎn)EUV光罩的主要設(shè)備，甚至可以說是處于壟斷地位，目前98%以上的EUV光罩都是通過MBMW制造出來的。然而在近期慘淡的業(yè)績和有史以來最大的季度虧損下，英特爾選擇了將IMS 20%的股份賣給貝恩資本，之后IMS將作為英特爾的子公司獨(dú)立運(yùn)營。

MBMW-101 / IMS Nanofabrication

因?yàn)镮MS在光罩生產(chǎn)設(shè)備上的領(lǐng)先地位，即便是20%的股份，英特爾依然賣出了43億美元的高價(jià)。顯然英特爾不想要放棄對IMS的所有控制權(quán)，但由于半導(dǎo)體設(shè)備僅僅只是英特爾的邊緣業(yè)務(wù)，自己的主營業(yè)務(wù)上麻煩重重，在IMS業(yè)務(wù)依然保持盈利的情況下出售股份無疑是合理的選擇。

另一個(gè)理由是，英特爾似乎想通過IMS獨(dú)立運(yùn)營來為其提供更多的合作機(jī)會。此前全資擁有IMS時(shí)，對IMS的潛在客戶群起到一定限制，畢竟近乎壟斷EUV光罩制造的IMS，背后是開啟IDM 2.0時(shí)代的英特爾。而有了貝恩資本的參與，加上獨(dú)立運(yùn)營后，相較其他同類型半導(dǎo)體設(shè)備廠商，再度提升競爭力。

寫在最后

半導(dǎo)體設(shè)備由于交付周期和投入使用周期等原因，與整個(gè)半導(dǎo)體市場的整體走勢相悖是很常見的情況。不過根據(jù)設(shè)備類型，也會出現(xiàn)增長幅度各異的情況，比如今年看來用于前道工藝的半導(dǎo)體設(shè)備維持高增長，用于后道工藝的測試與封裝設(shè)備承壓，利潤下滑。所以涵蓋多類半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品線的公司，往往具備更高的市場韌性。

與此同時(shí)，在國家激勵(lì)政策比如半導(dǎo)體設(shè)備購買補(bǔ)貼的支持下，相較海外半導(dǎo)體設(shè)備廠商，國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備公司已經(jīng)迎來最好的時(shí)機(jī)。除***設(shè)備仍有很長的一段路要走之外，不少國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)具備了和應(yīng)用材料、KLA、LAM等廠商同臺競爭的實(shí)力，而不僅僅局限于最大的國內(nèi)市場。