RTP快速退火爐是一種高溫?zé)崽幚碓O(shè)備，將晶片快速加熱到設(shè)定溫度（超過1000℃的高溫狀態(tài)），進(jìn)行短時(shí)間快速熱處理的方法，從而控制材料的微觀結(jié)構(gòu)的可控調(diào)節(jié)和物理性能的改善。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、納米材料等領(lǐng)域的研究和生產(chǎn)中，可以幫助人們更好地了解材料的本質(zhì)和開發(fā)出更的新材料。

退火爐其工作原理是將樣品放置在爐膛中，在惰性氣氛下進(jìn)行快速加熱和冷卻?？焖偌訜峥梢酝ㄟ^電阻加熱、激光輻射等方式實(shí)現(xiàn)，通常需要幾秒鐘到幾分鐘的時(shí)間。然后，樣品會在幾毫秒內(nèi)被強(qiáng)制冷卻至室溫，以限制材料結(jié)構(gòu)的再生長和晶粒的長大。這種快速退火過程可以促進(jìn)晶體的非平衡狀態(tài)，從而改變其物理性質(zhì)，例如提高導(dǎo)電率、硬度和耐腐蝕性等。為此值得注意的是在退火爐工作時(shí)，爐內(nèi)處于正壓狀態(tài)且氧含量幾乎為零，這是為了防止外界空氣進(jìn)入。另一方面由于爐內(nèi)氧分壓不足，空氣中的氧還是會少量擴(kuò)散到爐內(nèi)。當(dāng)退火爐內(nèi)的氧含量出現(xiàn)異常時(shí)，可能源于以下幾種原因：

（1）預(yù)熱段入口密封棍密封性能不足或密封氮?dú)庑Ч芳眩?/p>

（2）加熱爐輻射管出現(xiàn)燒穿現(xiàn)象，導(dǎo)致加熱段氧氣含量上升；

（3）冷卻段循環(huán)風(fēng)機(jī)入口處及相關(guān)管道閥件存在漏氣現(xiàn)象，如軸承、儀表接口、管道與爐壁法蘭處。

因此在退火爐生產(chǎn)過程中，氣體成份的變化，直接影響產(chǎn)品的品質(zhì)，通常需要采取微量氧氣分析儀，常量氧氣分析儀、露點(diǎn)儀分析儀監(jiān)測工業(yè)過程中的氣氛變化，通過PLC控制連鎖，控制系統(tǒng)進(jìn)行配合后，將成分參數(shù)與其他參數(shù)綜合進(jìn)行分析處理，會更容易提高調(diào)解品質(zhì)，達(dá)到優(yōu)質(zhì)、高產(chǎn)、低耗的目的。通過氧氣分析儀不間斷的測定爐膛內(nèi)的氧氣含量，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，迅速采取相應(yīng)的措施、杜絕事故的發(fā)生。分析系統(tǒng)分別對鍍鋅退火爐的預(yù)熱段、加熱段、噴冷段、的微量水、常量氧、常量氫、微量氧進(jìn)行分析。工采網(wǎng)提供的一款英國SST高溫氧氣分析儀–OXY-Flex供電電壓為24V，有多種輸出∶4~20mA,0~10VRS232，適用于不易接觸到氣體的測星場合或封閉系統(tǒng)，如通風(fēng)管道，煙道和容器里。

普通溫度型氧氣分析儀OXY-FLEX-X系列用來測量空氣或惰性氣體里氧氣濃度，氣體溫度范圍是-100到+250℃;高溫系列氧氣分析儀OXY-FLEX-X-H 系列是用來測量空氣或惰性氣體里氧氣濃度，溫度范圍是-100到+40OC。這類產(chǎn)品特別適用于不易接觸到氣體的測量場合或封閉系統(tǒng)，如通風(fēng)管道，煙道和容器里。其次SST系列氧傳感器并不是直接測量氧氣濃度，而是待測氣體里的氧分壓值。為了直接輸出氧氣濃度，氧氣分析儀OXY-FLEX必須在空氣里或者已知特定參考濃度的氣體里進(jìn)行標(biāo)定。標(biāo)定或重參考可以讓標(biāo)定輸入端連接GND實(shí)現(xiàn)，并監(jiān)測數(shù)字周期輸出狀態(tài)或看板子綠燈狀態(tài)。標(biāo)定過程中，輸出可以自動(dòng)標(biāo)定為一個(gè)固定參考值或通過改變電位器值手動(dòng)標(biāo)定為任何輸出值。固定參考值出廠默認(rèn)為20.7%為普通大氣里標(biāo)定值;標(biāo)定值也可以在已知參考濃度氣體里通過RS232接口設(shè)置標(biāo)定。標(biāo)定值一直保存。再次說明，自動(dòng)或手動(dòng)標(biāo)定可以用戶設(shè)置。正常的標(biāo)定去除了應(yīng)用中和大氣壓力變化所造成的影響，也排除了傳感器工作最初幾百個(gè)小時(shí)內(nèi)可能發(fā)生的漂移問題。

審核編輯 黃宇