據(jù)韓媒ETNews 12月26日?qǐng)?bào)道，三星電子研發(fā)新型“智能傳感器系統(tǒng)”，旨在精準(zhǔn)控制半導(dǎo)體工藝。此舉將在提升芯片制作良品率與產(chǎn)能效益方面發(fā)揮重要作用。

據(jù)悉，維持半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中等離子體均勻性和密度的精細(xì)控制對(duì)于增強(qiáng)良率至關(guān)重要。三星新版智能傳感器可深入挖掘每個(gè)環(huán)節(jié)如蝕刻、沉積及清洗的工藝效果，確保整個(gè)流程高度科學(xué)、高效。

當(dāng)前，市面上大多數(shù)晶圓智能傳感器源自海外市場(chǎng)，例如美國(guó)等地。為有效應(yīng)對(duì)日漸增長(zhǎng)的產(chǎn)量需求，三星決定采取自主研發(fā)策略，降低對(duì)進(jìn)口傳感器的依靠度。

據(jù)悉，三星電子正在研發(fā)的智能傳感器體積小巧，對(duì)現(xiàn)有設(shè)備占用空間無(wú)顯著影響，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能的有效提升。

此外，三星電子計(jì)劃拓寬該技術(shù)的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用領(lǐng)域，不僅局限于等離子體，還將著手研發(fā)適用于各類(lèi)半導(dǎo)體工藝的SMART傳感器與系統(tǒng)。