傳感器作為現(xiàn)代信息技術(shù)的基石之一，對于推動國家經(jīng)濟發(fā)展具有重大意義。面對萬物互聯(lián)新時代的到來，傳感器的重要性日益凸顯，尤其是智能傳感器的關(guān)鍵制造技術(shù)——微機電系統(tǒng)（MEMS）。在國家“十四五”規(guī)劃中，明確微機電系統(tǒng)MEMS列為國家重點攻關(guān)與發(fā)展技術(shù)項目。

首家商業(yè)化大規(guī)模MEMS傳感器是加速度計，由美國ADI公司于1991年發(fā)明。約在2000年全球正式進入商業(yè)化階段，但中國由于起步較晚，直到2010年后才漸露頭角?，F(xiàn)在中國領(lǐng)先的MEMS公司皆成立于此段時間之后，如敏芯股份（2007年）深迪半導(dǎo)體（2008年）明皜傳感（2011年）矽?？萍肌⑿緞勇?lián)科（2012年）及納芯微（2013年）等。

這些國內(nèi)優(yōu)秀MEMS企業(yè)得到了資本市場的認可，其中敏芯股份、納芯微、芯動聯(lián)科成功上市，明皜傳感正積極籌備IPO。這些企業(yè)的成長，見證了國產(chǎn)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的崛起。下面詳細介紹一下MEMS技術(shù)在明皜傳感中的應(yīng)用情況，旨在為讀者揭示其背后的創(chuàng)新力量與發(fā)展?jié)摿Α?/p>

明皜傳感致力于實現(xiàn)MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋，在此過程中，一批歸國的華僑華人起到了至關(guān)重要的作用。其中包括明皜傳感創(chuàng)始人之一汪達煒先生。他生于1960年，自幼接受良好教育，曾就讀于加州大學(xué)伯克利分校、斯坦福大學(xué)等頂尖學(xué)府，取得微電機、工程管理等領(lǐng)域的學(xué)位。

學(xué)成歸來后，汪達煒在AMD、朗訊科技等知名企業(yè)任職長達20年。在此期間，他積累了豐富的半導(dǎo)體研發(fā)經(jīng)驗，并且深入理解了國際級半導(dǎo)體巨頭的管理模式。隨后，汪達煒開始投身新技術(shù)研發(fā)，引領(lǐng)團隊研發(fā)出了CMOS圖像傳感器，最終被索尼收購。此外，他還帶領(lǐng)團隊進行DLP芯片研發(fā)，這種芯片以MEMS微鏡為核心，廣泛應(yīng)用于投影儀中。

通過這兩次創(chuàng)業(yè)，汪達煒掌握了大量的CMOS和MEMS技術(shù)與工藝經(jīng)驗，并于2007年創(chuàng)立了明銳光電，致力于MEMS技術(shù)研發(fā)，為日后建立明皜傳感奠定了堅實基礎(chǔ)。