近期,武漢新芯向相關(guān)部門提交了三份融資備案申請,即高帶寬存儲器用多晶圓三維集成技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化項目、C2W混合鍵合技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)線建設(shè)項目以及高容值密度深溝槽電容制造工藝技術(shù)研發(fā)項目。
首先,針對高帶寬存儲器用多晶圓三維集成技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化項目,武漢新芯計劃運用三維集成多晶圓堆疊技術(shù)研發(fā)并建立生產(chǎn)線,預(yù)計投入16臺生產(chǎn)設(shè)備以實現(xiàn)每月產(chǎn)量不低于3000片(12英寸)。
其次,在C2W混合鍵合技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)線建設(shè)項目方面,該企業(yè)采用三維集成芯粒與晶圓混合鍵合(C2W)工藝平臺,通過整合獨立制造的芯粒和晶圓,實現(xiàn)三維高密度互連,進一步提高集成芯片的性能優(yōu)異性和良品率。
此外,企業(yè)還規(guī)劃了芯粒與晶圓混合鍵合技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化實施,預(yù)計新增27臺設(shè)備以期達到每月產(chǎn)出3000片(12英寸)的預(yù)期目標。
最后,在高容值密度深溝槽電容制造工藝技術(shù)研發(fā)項目上,武漢新芯計劃利用先進光刻、刻蝕、高級介電常數(shù)介質(zhì)沉積和多層重布線等工藝技術(shù),研發(fā)出具有高電容密度、低漏電流、高擊穿電壓和穩(wěn)定電容值等特性的深溝槽電容產(chǎn)品。旨在推動國產(chǎn)深溝槽電容芯片自給自足,預(yù)計增投14臺設(shè)備可達成每月生產(chǎn)1000片12英寸晶圓的目標。
值得留意的是,2月29日,天眼查顯示武漢新芯發(fā)生多項工商變更,原股東長江存儲科技控股有限責任公司已退出,現(xiàn)新增投資者包括中國互聯(lián)網(wǎng)投資基金(有限合伙)、中銀金融資產(chǎn)投資有限公司、建信金融資產(chǎn)投資有限公司、農(nóng)銀金融資產(chǎn)投資有限公司等。同時,武漢新芯的注冊資本也由約57.82億元增至約84.79億元,漲幅高達46.64%。此外,該公司多位高層也進行了職務(wù)變動。
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