近日，MEMS器件可靠性試驗創(chuàng)新聯合體（以下簡稱“聯合體”）成立大會在京召開，智芯公司、北京大學、清華大學、哈工大、北航、中科院微電子所、中科院空天研究院、中電科三十八所等23家單位入選聯合體首批成員單位，國家市場監(jiān)管總局、北京市科委相關領導出席成立大會并講話。

MEMS器件可靠性試驗創(chuàng)新聯合體成立大會

聯合體由中國機械總院集團基礎制造技術研究院（以下簡稱“中機研”）發(fā)起成立，成員單位涵蓋科研院所、高校、企業(yè)等多個領域。聯合體將重點圍繞MEMS器件設計仿真分析、基礎材料研發(fā)、標準工藝設計、測試技術、MEMS器件產品研發(fā)與中試驗證等領域開展技術攻關，加速MEMS器件研發(fā)創(chuàng)新與孵化。未來，聯合體將充分發(fā)揮各成員單位資源優(yōu)勢，以實際行動踐行國資委“要加快發(fā)展戰(zhàn)略性新興產業(yè)，支持中央企業(yè)牽頭建立創(chuàng)新聯合體，加快打造原創(chuàng)技術策源地，強化關鍵核心技術攻關”要求。

之前，智芯公司采集傳感事業(yè)部與中機研等標準機構共同推進中國傳感器與物聯網產業(yè)聯盟能源專委會的標準工作。中機研作為專委會的副理事長單位和標準工作組的組長單位，協同專委會伙伴開展標準預研工作，成熟的標準草案對接不同的標準機構，已發(fā)布4項團標，正在起草4項行標。作為TC336成員單位，智芯公司牽頭TC336能源領域MEMS技術標準研究組工作，組織預研的《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 MEMS磁傳感器技術規(guī)范》、《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術 車規(guī)級MEMS半導體氣體傳感器技術規(guī)范》2項國家標準提案正在國標委立項公示，預計今年5月底正式立項。

MEMS器件可靠性試驗創(chuàng)新聯合體成員單位授牌

下一步，智芯公司將積極參與聯合體建設，深度研究MEMS器件測試技術，實現對MEMS器件在線檢測和封裝后的檢測，并依托聯合體懷柔創(chuàng)新基地重點實驗室及MEMS研發(fā)平臺，面向MEMS器件典型應用場景，開展產品研發(fā)與中試驗證。同時充分聯合各單位開展科技項目合作，加強能源領域傳感器的基礎技術和應用研究，為新型電力系統(tǒng)的建設提供有力支撐。